×
20.03.2013
216.012.3013

Результат интеллектуальной деятельности: ПЛАЗМОННЫЙ ФУРЬЕ-СПЕКТРОМЕТР ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к оптическим методам исследования поверхности металлов и полупроводников. Спектрометр содержит источник объемного излучения, светоделитель, расщепляющий излучение на измерительный и реперный пучки, зеркало, твердотельный проводящий образец с двумя сопряженными скругленным ребром плоскими гранями, размещенный на одной из этих граней элемент преобразования излучения измерительного пучка в поверхностный плазмон (ПП), размещенный на второй грани образца элемент преобразования ПП в объемное излучение, выполненный в виде примыкающего к грани и перемещаемого вдоль трека ПП плоского зеркала, ориентированного перпендикулярно треку и наклонно к грани, второй светоделитель, совмещающий пучки и сопряженный с наклонным зеркалом, перемещаемым вместе со вторым светоделителем вдоль поверхности образца, фокусирующий объектив, фотоприемное устройство, второй объектив, размещенный на пути совмещенных пучков, устройство обработки информации, линию задержки, состоящую из четырех уголковых зеркал, попарно расположенных на пути пучков. Уголковые зеркала, отражающие измерительный пучок, сопряжены с наклонным зеркалом и вторым светоделителем, а источник излучения имеет сплошной спектр. Изобретение направлено на сокращение времени измерений спектра комплексного показателя преломления поверхностных плазмонов. 4 ил.
Основные результаты: Плазмонный фурье-спектрометр терагерцового диапазона, содержащий источник объемного излучения, светоделитель, расщепляющий излучение на измерительный и реперный пучки, зеркало, твердотельный проводящий образец с двумя сопряженными скругленным ребром плоскими гранями, размещенный на одной из этих граней элемент преобразования излучения измерительного пучка в поверхностный плазмон (ПП), размещенный на второй грани образца элемент преобразования ПП в объемное излучение, выполненный в виде примыкающего к грани и перемещаемого вдоль трека ПП плоского зеркала, ориентированного перпендикулярно треку и наклонно к грани, второй светоделитель, совмещающий пучки и сопряженный с наклонным зеркалом, перемещаемым вместе со вторым светоделителем вдоль поверхности образца, фокусирующий объектив и фотоприемное устройство (ФПУ), отличающийся тем, что спектрометр дополнительно содержит второй объектив, размещенный на пути совмещенных пучков, устройство обработки информации, линию задержки, состоящую из четырех уголковых зеркал, попарно расположенных на пути пучков, причем уголковые зеркала, отражающие измерительный пучок, сопряжены с наклонным зеркалом и вторым светоделителем, а источник излучения имеет сплошной спектр.

Изобретение относится к оптическим методам исследования поверхности металлов и полупроводников, а именно к определению спектров комплексной диэлектрической проницаемости или оптических постоянных (показателя преломления n и показателя поглощения k) как самой поверхности, так и ее переходного слоя путем измерения комплексного показателя преломления κ=κ'+i·κ'' (где i - мнимая единица) поверхностных плазмонов (ПП) терагерцового (ТГц) диапазона, и может найти применение в оптике поверхности твердого тела, в инфракрасной (ИК) спектроскопии окисных и адсорбированных слоев, в контрольно-измерительной аппаратуре источников ТГц-излучения.

Оптическая спектроскопия поверхности твердого тела - одна из основных областей применения ПП (Поверхностные поляритоны. Электромагнитные волны на поверхностях и границах раздела сред. / Под ред. В.М.Аграновича и Д.Л.Миллса. - М.: Наука, 1985. - 525 с.). В первых ПП-спектрометрах ИК-диапазона использовали разнесенные вдоль трека ПП-элементы прямого и обратного преобразования объемной волны в поверхностную. С помощью таких устройств непосредственно измеряли длину распространения ПП L в определенном диапазоне длин волн дискретно перестраиваемого лазерного источника излучения (Zhizhin G.N., Yakovlev V.A. Broad-band spectroscopy of surface electromagnetic waves // Physics Reports. - 1990. - v.194. - No. 5/6. - p.281-289). Основной недостаток таких ПП-спектрометров - большая продолжительность измерений и недостаточность объема информации, получаемой в результате измерений L, что позволяет определять только мнимую часть κ'' показателя преломления ПП.

Использование в ПП-спектроскопии плавно перестраиваемых по частоте лазеров на свободных электронах позволило повысить соотношение сигнал/шум (Zhizhin G.N., Alieva E.V., Kuzik L.A., Yakovlev V.A., Shkrabo D.M. Van der Meer A.F.G., Van der Wiel M.J. Free-electron laser for infrared SEW characterization surfaces of conducting and dielectric solids and nm films on them // Applied Physics (A), 1998, v.67, p.667-673). Применение интерференционной методики определения κ' наряду с определением κ'' по измеренной величине L повысило информативность метода ПП-спектроскопии, поскольку появилась возможность путем решения дисперсионного уравнения ПП рассчитать два параметра переходного слоя (например, его толщину и показатель преломления) или комплексную диэлектрическую проницаемость материала образца.

Известен плазменный спектрометр ТГц-диапазона для определения диэлектрической проницаемости проводящих материалов, содержащий перестраиваемый по частоте источник монохроматического излучения, светоделитель, расщепляющий падающее излучение на измерительный и реперный пучки, зеркало, элемент преобразования излучения измерительного пучка в ПП, твердотельный образец с плоской поверхностью, элемент преобразования ПП в объемное излучение, непрозрачную заслонку, перекрывающую реперный пучок при регистрации интенсивности излучения измерительного пучка, светоделитель, совмещающий измерительный и реперный пучки, регулируемый компенсатор, фокусирующий объектив и фотоприемное устройство (Жижин Г.Н., Никитин А.К., Рыжова Т.Н. Способ определения диэлектрической проницаемости металлов в инфракрасном диапазоне спектра. // Патент РФ на изобретение №2263923, Бюл. №31 от 10.XI.2005 г.). Основным недостатком известного устройства является низкая точность определения комплексного показателя преломления ПП (из-за неоднозначности фазы объемной волны, излучаемой с различных участков элемента преобразования ПП в объемное излучение) и большая продолжительность измерений.

Наиболее близким по технической сущности к заявляемому устройству является плазменный спектрометр ТГц-диапазона, предназначенный для исследования проводящей поверхности и содержащий перестраиваемый по частоте источник монохроматического излучения, светоделитель, расщепляющий падающее излучение на измерительный и реперный пучки, регулируемый поглотитель излучения реперного пучка, зеркало, элемент преобразования излучения измерительного пучка в ПП, твердотельный проводящий образец с двухгранной поверхностью, элемент преобразования ПП в объемное излучение, непрозрачную заслонку, снабженную осью вращения, светоделитель, совмещающий измерительный и реперный пучки, фокусирующий объектив и фотоприемное устройство (ФПУ), причем элементы преобразования излучения в ПП и обратно размещены на разных гранях образца, сопряженных скругленным ребром, а элементом преобразования ПП в объемное излучение служит плоское зеркало, примыкающее к поверхности образца, ориентированное наклонно к ней, сопряженное со вторым светоделителем и перемещаемое вместе с последним вдоль поверхности образца (Жижин Г.Н., Никитин А.К., Балашов А.А., Рыжова Т.А. Плазменный спектрометр ТГц-диапазона для исследования проводящей поверхности. // Патент РФ на изобретение №2318192, Бюл. №6 от 27.02.2008 г.). Основным недостатком известного устройства является большая продолжительность измерений, обусловленная раздельностью процедур определения κ' и κ'' на дискретных частотах излучения источника.

Технический результат изобретения направлен на сокращение времени измерений спектра комплексного показателя преломления поверхностных плазмонов (κ=κ'+i·κ''), направляемых исследуемой поверхностью образца.

Технический результат достигается тем, что плазменный Фурье-спектрометр терагерцового диапазона, содержащий источник объемного излучения, светоделитель, расщепляющий излучение на измерительный и реперный пучки, зеркало, твердотельный проводящий образец с двумя сопряженными скругленным ребром плоскими гранями, размещенный на одной из этих граней элемент преобразования излучения измерительного пучка в поверхностный плазмон (ПП), размещенный на второй грани образца элемент преобразования ПП в объемное излучение, выполненный в виде примыкающего к грани и перемещаемого вдоль трека ПП плоского зеркала, ориентированного перпендикулярно треку и наклонно к грани, второй светоделитель, совмещающий пучки и сопряженный с наклонным зеркалом, перемещаемым вместе со вторым светоделителем вдоль поверхности образца, фокусирующий объектив и фотоприемное устройство (ФПУ), дополнительно содержит второй объектив, размещенный на пути совмещенных пучков, устройство обработки информации, линию задержки, состоящую из четырех уголковых зеркал, попарно расположенных на пути пучков, причем уголковые зеркала, отражающие измерительный пучок, сопряжены с наклонным зеркалом и вторым светоделителем, а источник излучения имеет сплошной спектр.

Сокращение времени измерений достигается в результате совмещения процедур определения κ' и κ'' при их одновременном выполнении для всех частот рабочего диапазона за счет использования широкополосного источника излучения и введения в состав спектрометра линии задержки и устройства обработки информации, способного выполнять полное Фурье-преобразование регистрируемой интерферограммы.

Изобретение поясняется чертежами: на фиг.1 приведена схема заявляемого устройства, на фиг.2 представлена центральная часть интерферограммы, регистрируемой в рассматриваемом примере применения заявляемого устройства, на фиг.3 изображен спектр κ'(σ) и на фиг.4 - спектр κ''(σ), рассчитанные с использованием интерферограмм, зарегистрированных в рассматриваемом примере применения заявляемого устройства при расстояниях пробега ПП, равных a1=1,0 см и a2=1,5 см; здесь σ=1/λ - волновое число (см-1).

Спектрометр содержит: 1 - источник p-поляризованного широкополосного излучения; 2 - светоделитель, расщепляющий пучок падающего излучения на измерительный и реперный пучки; 3 - фокусирующий объектив; 4 - элемент преобразования объемного излучения измерительного пучка в ПП; 5 - твердотельный проводящий образец, имеющий две плоские смежные грани, сопряженные скругленным ребром, на одной из которых размещен элемент 4, а на другой - элемент для преобразования ПП в объемное излучение, выполненный в виде примыкающего к грани подвижного плоского зеркала 6, ориентированного перпендикулярно измерительному пучку и наклонно к грани; 7, 8 - уголковые отражатели, расположенные на пути измерительного пучка и обеспечивающие когерентность монохроматических компонент в пучках; 9 - светоделитель, совмещающий измерительный и реперный пучки, 10 - платформа, перемещаемая вдоль трека ПП и содержащая элементы 6, 7, 8 и 9; 11, 12 - уголковые отражатели, расположенные на пути реперного пучка и обеспечивающие возможность регулировки разности оптических путей пучков; 13 - объектив, фокусирующий излучение совмещенных пучков на ФПУ 14, электрические сигналы с которого поступают на устройство обработки информации 15, способное выполнять полное Фурье-преобразование интерферограммы, регистрируемой ФПУ 14 при перемещении уголкового отражателя 8 (или 12).

Спектрометр работает следующим образом. Широкополосное излучение источника 1 направляют на светоделитель 2, расщепляющий падающее излучение на измерительный и реперный пучки. Излучение измерительного пучка фокусируется объективом 3 на элемент 4, преобразующий излучение в набор ПП с различными частотами. ПП пробегают до скругленного ребра (радиус закругления R>10λ), образованного двумя смежными плоскими гранями образца 5, преодолевают это ребро (с некоторыми радиационными потерями) и продолжают распространяться по второй грани до элемента 6, осуществляющего обратное преобразование набора ПП в объемные волны и направляющего их на пару зеркал 7 и 8. Пройдя эти зеркала, излучение измерительного пучка поступает на светоделитель 9, размещенный вместе с зеркалами 6, 7 и 8 на платформе 10. На другую сторону светоделителя 9 поступает излучение реперного пучка, прошедшего через вторую пару зеркал 11 и 12 линии задержки. Светоделитель 9 совмещает пучки и направляет их через объектив 13 на ФПУ 14, которое регистрирует интерференционный сигнал, являющийся функцией расстояния между парой зеркал 7 и 8 или 11 и 12, изменяемого по определенному закону во времени. Совокупность этих сигналов, называемых интерферограммой, подвергается устройством 15 полному Фурье-преобразованию. При этом расстояние между парой зеркал следует изменять таким образом, чтобы экстремальные значения оптической разности хода ±Δℓmax интерферирующих пучков удовлетворяло критерию требуемого спектрального разрешения: δσ≈1/(2·|Δℓmax|). Тогда число разрешаемых спектральных точек N=σmax/δσ, где σmax - максимальное волновое число излучения источника.

Функция автокорреляции Iинт(Δℓ) (интерферограмма) пучков, зависящая от расстояния а, описывается выражением:

где Iconst - постоянное слагаемое интерферограммы, независящее от Δℓ;

ΔIинт(Δℓ) - интерференционный член, подвергаемый полному Фурье-преобразованию и вычисляемый по формуле:

α, α - модули коэффициентов преобразования объемной волны в ПП и обратно;

- спектральная плотность излучения на входе интерферометра;

k- волновое число компоненты излучения с частотой ν в вакууме;

- показатель преломления ПП на частоте ν;

а - длина пробега ПП;

φ0Аν - начальная разность фаз пучков спектральной компоненты с частотой ν при минимальной разности оптических путей пучков, включающая в себя фазы коэффициентов преобразования.

В силу ограниченности реального спектра излучения максимальной частотой νmax интеграл в формуле для расчета ΔIинт заменяется согласно теореме отсчетов Котельникова (Лебедько Е.Г. Математические основы передачи информации. / С.-Петербург: ГУИТМО, 2010. - с.63) суммой интенсивностей дискретных монохроматических компонент с частотами νj по точкам отсчетов j=0, 1, 2, …, N на оси частот:

где Δℓm - m-ное значение Δℓ (m=0, 1, 2, …, N); N - оптимальное число точек отсчетов, равное разрешающей способности Фурье-спектрометра:

где |Δℓmax| - максимальное смещение отражателя 8 (или 12); с - скорость света в вакууме.

Применение обратного полного Фурье-преобразования к интерферограмме ΔIинт(Δℓm) позволяет найти комплексный спектр излучения на ФПУ 14, описываемый суммой косинусного Сνj, и синусного Sνj, Фурье-преобразований интерферограммы (2):

Из комплексного спектра (4) можно выделить составляющие его амплитудный Аνj и фазовый φνj спектры:

где ; Arctg(x) - главное значение арктангенса в диапазоне -π/2≤х≤π2; φ0Aνj - значение фазы комплексной аппаратной функции устройства на частоте νj.

Спектры Аνj и φνj содержат наряду с информацией о характеристиках ПП также и информацию о комплексной аппаратной функции прибора, модуль которой определяется амплитудными множителями I0νj, α1νj, α2νj, а аргумент - фазовыми слагаемыми φ0Aνj. Вклад всех этих аппаратных параметров можно исключить, выполнив измерения при двух различных расстояниях (a1 и а2) пробега ПП. Располагая двумя наборами спектров Аνj и φνj, можно определить спектры и , используя следующие соотношения:

где Δa=a2-a1, a индексы а1 и a2 означают значения индексируемых величин при соответствующих длинах пробега ПП.

В качестве примера применения заявляемого устройства рассмотрим возможность определения с его помощью спектра комплексного показателя преломления ПП, возбуждаемых в планарной структуре "золото - слой ZnS (1,0 мкм) - воздух" излучением в диапазоне 100-200 см-1.

На фиг.2 представлена наблюдаемая в этом случае интерферограмма, полученная с абсолютным разрешением σmax/N=0,05 см-1 для a=1,0 см; где Imax соответствует динамическому диапазону устройства. Для иных значений а вид интерферограммы качественно не отличается от приведенной на фиг.2.

На фиг.3 изображен спектр к'(σ) и на фиг.4 - спектр к''(σ), рассчитанные по формулам (7) и (8) с использованием интерферограмм, зарегистрированных при a1=l,0 см и а2=1,5 см. Выбор значений а1 и а2 сделан с учетом условия a1, a2≤Lmin (Lmin=1,8 см - длина распространения ПП на максимальной частоте излучения, равной 200 см-1), обеспечивающего возможность регистрации сигнала.

Размытие спектров у границ рабочего диапазона обусловлено эффектом Гиббса при математической обработке интерферограмм.

Таким образом, применение в заявляемом устройстве широкополосного источника, линии задержки, дополнительного фокусирующего объектива и устройства обработки информации, способного выполнять полное Фурье-преобразование, позволяет сократить время измерений при прочих равных условиях в N раз (где N - число точек отсчетов на измеренных спектрах).

Плазмонный фурье-спектрометр терагерцового диапазона, содержащий источник объемного излучения, светоделитель, расщепляющий излучение на измерительный и реперный пучки, зеркало, твердотельный проводящий образец с двумя сопряженными скругленным ребром плоскими гранями, размещенный на одной из этих граней элемент преобразования излучения измерительного пучка в поверхностный плазмон (ПП), размещенный на второй грани образца элемент преобразования ПП в объемное излучение, выполненный в виде примыкающего к грани и перемещаемого вдоль трека ПП плоского зеркала, ориентированного перпендикулярно треку и наклонно к грани, второй светоделитель, совмещающий пучки и сопряженный с наклонным зеркалом, перемещаемым вместе со вторым светоделителем вдоль поверхности образца, фокусирующий объектив и фотоприемное устройство (ФПУ), отличающийся тем, что спектрометр дополнительно содержит второй объектив, размещенный на пути совмещенных пучков, устройство обработки информации, линию задержки, состоящую из четырех уголковых зеркал, попарно расположенных на пути пучков, причем уголковые зеркала, отражающие измерительный пучок, сопряжены с наклонным зеркалом и вторым светоделителем, а источник излучения имеет сплошной спектр.
ПЛАЗМОННЫЙ ФУРЬЕ-СПЕКТРОМЕТР ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА
ПЛАЗМОННЫЙ ФУРЬЕ-СПЕКТРОМЕТР ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА
ПЛАЗМОННЫЙ ФУРЬЕ-СПЕКТРОМЕТР ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА
ПЛАЗМОННЫЙ ФУРЬЕ-СПЕКТРОМЕТР ТЕРАГЕРЦОВОГО ДИАПАЗОНА
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 31-40 из 41.
20.01.2016
№216.013.a3f7

Инфракрасный амплитудно-фазовый плазмонный спектрометр

Изобретение относится к инфракрасной (ИК) спектроскопии поверхности металлов и полупроводников, а именно к определению амплитудно-фазовых спектров как самой поверхности, так и ее переходного слоя, путем измерения характеристик направляемых этой поверхностью поверхностных плазмонов (ПП)....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002573617
Дата охранного документа: 20.01.2016
12.01.2017
№217.015.63fd

Способ увеличения длины распространения инфракрасных монохроматических поверхностных электромагнитных волн по плоской металлической поверхности

Изобретение относится к области информационно-коммуникационных технологий и касается способа увеличения длины распространения инфракрасных монохроматических поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ) по плоской металлической поверхности. Способ включает в себя нанесение на поверхность слоя...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002589465
Дата охранного документа: 10.07.2016
13.01.2017
№217.015.7cce

Способ раздвоения плазмон-поляритонного канала связи терагерцового диапазона

Изобретение относится к области средств коммуникации. Способ раздвоения плазмон-поляритонного канала связи терагерцового диапазона включает создание основного и вторичных каналов на индивидуальных плоскогранных подложках с прямоугольными ребрами, размещение в основном канале неоднородности в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002600575
Дата охранного документа: 27.10.2016
25.08.2017
№217.015.b6c1

Устройство для обнаружения неоднородностей на плоских гранях потока однотипных проводящих изделий в инфракрасном излучении

Изобретение относится к оптическим методам контроля качества поверхности металлов и полупроводников, а именно к инфракрасной (ИК) амплитудной рефлектометрии. Устройство содержит источник p-поляризованного монохроматического излучения, два элемента преобразования излучения в ПЭВ, приемник...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002614660
Дата охранного документа: 28.03.2017
26.08.2017
№217.015.e196

Способ управления спектром пучка широкополосного терагерцевого излучения

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается способа управления спектром пучка широкополосного терагерцевого излучения. Способ включает в себя размещение на пути пучка излучения селективно поглощающего фильтра в виде поверхности проводящей пластины, придание излучению...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002625635
Дата охранного документа: 17.07.2017
26.08.2017
№217.015.e19a

Устройство для промера распределения поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны над её треком

Изобретение относится к области исследования поверхности металлов и полупроводников и касается устройства для промера распределения поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) над ее треком. Устройство содержит источник монохроматического излучения, элемент преобразования...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002625641
Дата охранного документа: 17.07.2017
19.01.2018
№218.016.0193

Статическое устройство для определения распределения интенсивности поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны вдоль её трека

Изобретение относится к области оптических измерений и касается статического устройства для определения распределения интенсивности поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) вдоль ее трека. Устройство включает в себя источник монохроматического излучения, первый фокусирующий...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629909
Дата охранного документа: 04.09.2017
19.01.2018
№218.016.01d2

Способ определения показателя преломления монохроматической поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона

Изобретение относится к области оптических измерений и касается способа определения показателя преломления монохроматической поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона. Способ включает в себя генерацию волны на плоской поверхности образца, размещение на пути волны плоского...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629928
Дата охранного документа: 04.09.2017
20.01.2018
№218.016.119b

Способ определения диэлектрической проницаемости металла в терагерцовом диапазоне спектра

Изобретение относится к области оптических измерений и касается способа определения диэлектрической проницаемости металла в терагерцовом диапазоне спектра. Способ включает в себя возбуждение зондирующим пучком поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) на плоской поверхности металлического...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634094
Дата охранного документа: 23.10.2017
17.02.2018
№218.016.2acd

Способ генерации непрерывного широкополосного инфракрасного излучения с регулируемым спектром

Изобретение относится к области оптики и касается способа генерации непрерывного широкополосного инфракрасного излучения с регулируемым спектром. Способ включает в себя нагрев металлического тела, содержащего две смежные плоские грани, генерацию оптическими фононами тела на одной из граней...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002642912
Дата охранного документа: 29.01.2018
Показаны записи 31-40 из 58.
10.09.2015
№216.013.7603

Способ регулирования интенсивности инфракрасной поверхностной электромагнитной волны на плоскогранной структуре

Изобретение относится к области информационно-коммуникационных технологий и касается способа регулирования интенсивности инфракрасной поверхностной электромагнитной волны на плоскогранной структуре. Способ включает в себя преобразование на ребре структуры поверхностной электромагнитной волны в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002561800
Дата охранного документа: 10.09.2015
20.01.2016
№216.013.a3f7

Инфракрасный амплитудно-фазовый плазмонный спектрометр

Изобретение относится к инфракрасной (ИК) спектроскопии поверхности металлов и полупроводников, а именно к определению амплитудно-фазовых спектров как самой поверхности, так и ее переходного слоя, путем измерения характеристик направляемых этой поверхностью поверхностных плазмонов (ПП)....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002573617
Дата охранного документа: 20.01.2016
12.01.2017
№217.015.63fd

Способ увеличения длины распространения инфракрасных монохроматических поверхностных электромагнитных волн по плоской металлической поверхности

Изобретение относится к области информационно-коммуникационных технологий и касается способа увеличения длины распространения инфракрасных монохроматических поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ) по плоской металлической поверхности. Способ включает в себя нанесение на поверхность слоя...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002589465
Дата охранного документа: 10.07.2016
13.01.2017
№217.015.7cce

Способ раздвоения плазмон-поляритонного канала связи терагерцового диапазона

Изобретение относится к области средств коммуникации. Способ раздвоения плазмон-поляритонного канала связи терагерцового диапазона включает создание основного и вторичных каналов на индивидуальных плоскогранных подложках с прямоугольными ребрами, размещение в основном канале неоднородности в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002600575
Дата охранного документа: 27.10.2016
25.08.2017
№217.015.b6c1

Устройство для обнаружения неоднородностей на плоских гранях потока однотипных проводящих изделий в инфракрасном излучении

Изобретение относится к оптическим методам контроля качества поверхности металлов и полупроводников, а именно к инфракрасной (ИК) амплитудной рефлектометрии. Устройство содержит источник p-поляризованного монохроматического излучения, два элемента преобразования излучения в ПЭВ, приемник...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002614660
Дата охранного документа: 28.03.2017
26.08.2017
№217.015.e196

Способ управления спектром пучка широкополосного терагерцевого излучения

Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается способа управления спектром пучка широкополосного терагерцевого излучения. Способ включает в себя размещение на пути пучка излучения селективно поглощающего фильтра в виде поверхности проводящей пластины, придание излучению...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002625635
Дата охранного документа: 17.07.2017
26.08.2017
№217.015.e19a

Устройство для промера распределения поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны над её треком

Изобретение относится к области исследования поверхности металлов и полупроводников и касается устройства для промера распределения поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) над ее треком. Устройство содержит источник монохроматического излучения, элемент преобразования...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002625641
Дата охранного документа: 17.07.2017
19.01.2018
№218.016.0193

Статическое устройство для определения распределения интенсивности поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны вдоль её трека

Изобретение относится к области оптических измерений и касается статического устройства для определения распределения интенсивности поля инфракрасной поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) вдоль ее трека. Устройство включает в себя источник монохроматического излучения, первый фокусирующий...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629909
Дата охранного документа: 04.09.2017
19.01.2018
№218.016.01d2

Способ определения показателя преломления монохроматической поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона

Изобретение относится к области оптических измерений и касается способа определения показателя преломления монохроматической поверхностной электромагнитной волны инфракрасного диапазона. Способ включает в себя генерацию волны на плоской поверхности образца, размещение на пути волны плоского...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629928
Дата охранного документа: 04.09.2017
20.01.2018
№218.016.119b

Способ определения диэлектрической проницаемости металла в терагерцовом диапазоне спектра

Изобретение относится к области оптических измерений и касается способа определения диэлектрической проницаемости металла в терагерцовом диапазоне спектра. Способ включает в себя возбуждение зондирующим пучком поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) на плоской поверхности металлического...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634094
Дата охранного документа: 23.10.2017
+ добавить свой РИД