×
10.01.2013
216.012.1a11

СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ БИОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
№ охранного документа
0002472165
Дата охранного документа
10.01.2013
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров и других характеристик объектов, преимущественно в биологии, с одновременным оптическим наблюдением объекта в проходящем через объект свете. СЗМ содержит предметный стол инвертированного оптического микроскопа и измерительную головку, включающую основание с опорами для установки на предметный стол, блок XYZ сканирования с установленными на нем зондовым датчиком, лазером и фотоприемником, оптические компоненты для направления лазерного луча на зондовый датчик и от зондового датчика на фотоприемник, а также юстировочные элементы. Юстировочные элементы установлены на основании с возможностью осуществления параллельного сноса лазерного луча. Технический результат - возможность использовать для оптического наблюдения систему освещения с повышенной апертурой, повышение скорости сканирования. 6 з.п. ф-лы, 6 ил.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) рельефа, линейных размеров и других характеристик объектов, преимущественно в биологии, с одновременным оптическим наблюдением объекта в проходящем через объект свете.

Известен СЗМ, совмещенный с инвертированным оптическим микроскопом (ИОМ) [1]. В конструкции этого СЗМ используется вертикально расположенный трубчатый сканер, в результате чего непосредственное освещение исследуемого образца сверху становится невозможным. Для освещения образца сверху вместо штатного конденсора ИОМ приходится использовать боковой ввод света с использованием системы зеркал, при этом увеличивается расстояния от осветителя (конденсора) до образца. В результате система освещения образца сверху становится низкоапертурной. Это приводит к ухудшению разрешения ИОМ и ухудшению его функциональности. Соответственно, с одной стороны, ухудшаются функциональные характеристики СЗМ, поскольку затрудняется выбор объекта сканирования на оптическом изображении, например, из-за невозможности использования метода фазового контраста. С другой стороны, ухудшается общая применимость СЗМ, т.к. для пользователя очень часто важно получение не только СЗМ, но и оптического изображения тоже, поскольку и то и другое изображения являются взаимно дополняющими.

Известен также СЗМ, совмещенный с ИОМ [2-3], который включают в себя Z-сканер с установленными на нем держателем зонда, лазером, фотоприемником, оптическими системами регистрации и юстировки. В состав СЗМ входит также и вертикально расположенный оптический микроскоп с системой освещения через объектив.

Недостатком такого СЗМ, совмещенного с ИОМ, также является использование в оптической системе ИОМ нештатной низкоапертурной системы освещения сверху исследуемого образца. Это приводит к ухудшению разрешения ИОМ и ухудшению его функциональности. Как и в рассмотренном выше примере, ухудшается также и функциональность СЗМ. Кроме того, недостатком такого СЗМ является раздельность систем сканирования - сканирование по координате Z осуществляется сканером, а по координатам XY - образцом. Для биологических применений весьма существенным является размещение образцов в жидкостных ячейках с системами терморегуляции, перфузии жидкости и смены газовой атмосферы. При этом жидкостные ячейки становятся достаточно тяжелыми, что ограничивает скорости XY сканирования, поскольку из-за повышенной весовой нагрузки резонансная частота сканера уменьшается.

Известен также СЗМ, совмещенный с ИОМ [4], содержащий основание с установленным на нем XYZ сканером, при этом основание и сканер имеют центральное отверстие для доступа к образцу освещения от конденсора. На XYZ сканере, в свою очередь, установлены лазер, держатель зонда, фотодиод, оптические элементы системы регистрации изгибов кантилевера и юстировочные устройства.

Указанное устройство выбрано в качестве прототипа предложенного решения. Ему присущ существенный недостаток - оптические системы юстировки расположены на сканере, что понижает его резонансные частоты и, соответственно, ограничивает скорости сканирования.

Особенно это сказывается при необходимости использовании автоматизированных систем юстировки. Навешивание на сканер нескольких двигателей существенно увеличивает весовую нагрузку и, соответственно, уменьшает скорости сканирования. Юстировка требуется, например, при первичной установке зонда, при смене зондового датчика или рабочего кантилевера, или в процессе измерений, в частности при изменениях температуры, когда происходит температурный изгиб кантилевера и нужно проводить юстировку системы регистрации. Необходимость автоматизации связана с необходимостью упрощения системы управления СЗМ, в частности, для операторов с недостаточным опытом или недостатком технического образования.

Технический результат данного изобретения заключается в расширении функциональных возможностей и увеличении скорости сканирования.

Указанный результат достигается за счет того, что в сканирующем зондовом микроскопе для биологических применений, содержащем предметный стол инвертированного оптического микроскопа и измерительную головку, включающую основание с опорами для установки на предметный стол, блок XYZ сканирования с установленными на нем зондовым датчиком, лазером и фотоприемником, оптические компоненты для направления лазерного луча на зондовый датчик и от зондового датчика на фотоприемник, а также юстировочные элементы, упомянутые юстировочные элементы установлены на основании с возможностью осуществления параллельного сноса лазерного луча.

Вариант - блок XYZ сканирования выполнен в виде Z привода, установленного на XY приводе, зондовый датчик закреплен на Z приводе, а лазер и фотоприемник установлены на XY приводе, при этом оптические компоненты, связывающие лазер с зондовым датчиком и зондовый датчик с фотоприемником, установлены таким образом, что лазерные лучи, связывающие оптические компоненты, закрепленные на Z приводе, и оптические компоненты, закрепленные на XY приводе, распространяются вертикально.

Вариант - юстировочные элементы снабжены моторизованными приводами.

Вариант - по крайней мере один из юстировочных элементов выполнен в виде прозрачной плоскопараллельной пластинки, установленной с возможностью изменения угла наклона к проходящему лазерному лучу.

Вариант - по крайней мере один из юстировочных элементов выполнен в виде двух параллельных зеркал (перископной системы) с изменяемым расстоянием между ними.

Вариант - блок XYZ сканирования выполнен в виде Z привода, установленного на XY приводе, зондовый датчик закреплен на Z приводе, фотоприемник установлен на XY приводе, при этом оптические компоненты, связывающие зондовый датчик с фотоприемником, установлены таким образом, что лазерный луч, связывающий зондовый датчик и оптические компоненты, установленные на XY приводе, распространяется вертикально, а лазер установлен на компенсирующем приводе, установленном на XY приводе.

Вариант - блок XYZ сканирования выполнен в виде Z привода, установленного на XY приводе, зондовый датчик закреплен на Z приводе, лазер установлен на XY приводе, при этом оптические компоненты, связывающие зондовый датчик с лазером, установлены таким образом, что лазерный луч, связывающий зондовый датчик и оптические компоненты, установленные на XY приводе, распространяется вертикально, а фотоприемник установлен на компенсирующем приводе, установленном на XY приводе.

На фиг.1 изображен сканирующий зондовый микроскоп для биологических применений.

На фиг.2 схематически изображен вариант сканирующего зондового микроскопа для биологических применений, в котором XYZ сканер выполнен составным.

На фиг.3 схематически изображен вариант выполнения юстировочного элемента в виде плоскопараллельной пластинки.

На фиг.4 схематически изображен вариант выполнения юстировочного элемента в виде перископной системы, состоящей из двух зеркал.

На фиг.5 схематически изображен вариант сканирующего зондового микроскопа для биологических применений, в котором XYZ сканер выполнен составным, а лазер установлен на дополнительном компенсирующем приводе.

На фиг.6 схематически изображен вариант сканирующего зондового микроскопа для биологических применений, в котором XYZ сканер выполнен составным, а фотоприемник установлен на дополнительном компенсирующем приводе.

Сканирующий зондовый микроскоп для биологических применений (фиг.1) содержит основание 1, моторизованные стойки 2 [5] для установки основания 1 на предметный стол 3 с образцом 4, закрепленным с помощью пружинных лапок (не показано) и расположенным над объективом ИОМ 5. На основании 1 установлен сканер 6, на котором закреплены лазер 7, держатель 8 с установленным на нем зондовым датчиком 9, и позиционно-чувствительный фотоприемник 10. Лазер 7 оптически сопряжен с зондовым датчиком 9 посредством закрепленных на сканере зеркал 11, 12, 13. Зондовый датчик 9 оптически сопряжен с фотоприемником 10 посредством светоделителя 14, выполненного в виде куб-призмы и закрепленного на сканере 6. Зеркала 11, 12, 13 и светоделитель 14 могут быть объединены в первом оптическом блоке 15, установленном на сканере 6. Крепление этих элементов в блоке 15 условно не показано. Закрепление элементов на фиг.1 относительно друг друга с целью упрощения чертежей не показано. Металлические элементы закрепляют винтами, а оптические и металлические - клеевым соединением. На фиг.1 показаны также юстировочные элементы 16, 17 и 18, 19 с приводами 20, 21 и 22, 23, установленными на основании 1.

Управление стойками 2, сканером 6 и приводами 20-23 осуществляется с помощью блока управления 24.

В качестве ИОМ могут быть использованы инвертированные микроскопы Nikon, ZEISS, Olympus и др. [6] Для осуществления процедуры подвода зонда к образцу моторизованные стойки 2 выполнены микровинтовыми [7] и снабжены приводами на основе шаговых двигателей, например, фирмы FAULHABER [8]. Аналогичные приводы используются и в качестве приводов 20-23 юстировочных элементов 16-19. Зондовые датчики 9 являются стандартными СЗМ датчиками, выполненными на основе кремния или нитрида кремния [9, 10]. Крепятся они к держателю 8 с помощью пружинных зажимов (подробней см. в [11]). В качестве XYZ сканеров может быть использован, например, XYZ сканер с центральным отверстием фирмы PI [12].

В другом варианте (фиг.2) XYZ сканер выполнен составным - Z привод 25 установлен на XY приводе 26, при этом держатель 8 крепится на приводе 25 (изображено условно), к нему же крепятся зеркала 11 и 12 (для упрощения рисунка крепления зеркал 11, 12 показаны условно в виде второго оптического блока 27), а светоделитель 14 и зеркало 13 закреплены на XY приводе 26 (для упрощения рисунка крепления зеркала 13 и светоделителя 14 показаны условно в виде третьего оптического блока 28). Особенность этого варианта выполнения заключается также в том, что лучи от зеркала 13 на зеркало 12 и от зондового датчика 9 на светоделитель 14 распространяются вертикально, так что в процессе сканирования, когда расстояния между зондовым датчиком 9 и светоделителем 14, а также между зеркалами 13 и 12 изменяются, общая юстировка системы лазер 7, зондовый датчик 9 и фотоприемник 10 не нарушается. Составной сканер может быть выполнен, например, на основе XY сканера с центральным отверстием, например, фирмы PI [13], на котором устанавливается сканер с платформой для Z-перемещений, например сканер Р-753 фирмы PI [14].

Возможен вариант выполнения юстировочных элементов, в котором юстировочные элементы 16 и 18 выполнены в виде прозрачных плоскопараллельных пластинок (фиг.3), а юстировочные элементы 17 и 19 - в виде перископных систем (фиг.4). На фиг.3 показана плоскопараллельная пластинка 16, закрепленная в держателе 29, установленном на приводе 20, выполненном в виде шагового двигателя с редуктором 30 [8], с помощью которого изменяется угол наклона плоскопараллельной пластинки 16 по отношению к лазерному лучу. На фиг.4 показан юстировочный элемент 17 в виде перископной системы, состоящей из неподвижного 31 и подвижного 32 зеркал. Неподвижное зеркало 31 установлено на кронштейне 33, закрепленном на шаговом двигателе с редуктором 34. Подвижное зеркало 32 закреплено на держателе 35, установленном на микровинтовом преобразователе 36, который преобразует в линейное перемещение вращение вала шагового двигателя с редуктором 34 (см. подробнее в [7, 8]).

Существует также вариант (фиг.5), в котором XYZ сканер выполнен составным - Z привод 25 установлен на XY приводе 26, при этом держатель 8 крепится на приводе 25, лазер 7 закреплен на компенсирующем приводе 37, а светоделитель 14 и зеркало 13 закреплены на XY приводе 26 (для упрощения рисунка крепления зеркала 13 и светоделителя 14 показаны условно в виде третьего оптического блока 28). Особенность этого варианта выполнения заключается также в том, что лучи от зондового датчика 9 на светоделитель 14 распространяются вертикально, а от зеркала 38 на зондовый датчик 9 наклонно, так что в процессе сканирования, когда расстояния между зондовым датчиком 9 и светоделителем 14 изменяются, для сохранения юстировки системы лазер 7, зондовый датчик 9 и фотоприемник 10 одновременно с вертикальными перемещениями зондового датчика 9 с помощью привода 26 для устранений перемещений лазерного пятна по зондовому датчику 9 производят синхронные перемещения лазера 7 с помощью компенсирующего привода 37. Составной сканер может быть выполнен, например, на основе XY сканера с центральным отверстием, например, фирмы PI [13], на котором устанавливается сканер с платформой для Z-перемещений, например сканер Р-753 фирмы PI [14], компенсирующий привод 37 может быть выполнен, например, на основе пьезопривода PL055.30 фирмы PI [15].

В другом варианте с составным XYZ сканером (фиг.6) на компенсирующем приводе 39 закреплен фотоприемник 10. В вариантах с компенсирующими приводами (фиг.5 и фиг.6) уменьшена весовая нагрузка на Z-привод 25 за счет исключения из оптической системы зеркал 11 и 12, что дает возможность повысить быстродействие Z-привода 25 и, соответственно, улучшить функциональные характеристики СЗМ. При этом вариант с наклонным падением лазерного луча на зондовый датчик 9, изображенный на фиг.5, предпочтительнее, когда необходимо минимизировать засветку объекта измерения 4 лазерным излучением, а вариант с вертикальным падением лазерного луча на зондовый датчик 9 позволяет минимизировать длину оптического пути от лазера 7 до образца 4.

В варианте по фиг.1 устройство работает следующим образом. При необходимости произвести юстировку, например, вследствие замены зондового датчика 9, путем перемещения подвижного зеркала 30 (см. фиг.4) с помощью линейного привода 22 осуществляется наведение луча от лазера 7 на кантилевер зондового датчика 9. Далее, с помощью юстировочного элемента 18 (плоскопараллельной пластинки, вращаемой в вертикальной плоскости с помощью привода вращения 22), осуществляется наведение лазерного луча на кончик кантилевера зондового датчика 9. Аналогично, с помощью юстировочных элементов 17 и 16 отраженный от кантилевера зондового датчика 9 и проходящий через светоделитель 14 луч выводится в центр позиционно-чувствительного фотоприемника 10. Управление приводами юстировочных элементов осуществляется с помощью блока управления 24, с помощью которого по сигналу от позиционно-чувствительного фотоприемника 10 с использованием специальных алгоритмов осуществляется наведение лазерного луча на зондовый датчик и отраженного луча на фотоприемник. После этого осуществляется сканирование поверхности образца 4, при этом по командам от блока управления 24 осуществляется развертка по XY координатам и отслеживание поверхности образца 4 по Z координате [16].

Такое выполнение сканирующего зондового микроскопа позволяет проводить сканирование с повышенными скоростями, поскольку уменьшена весовая нагрузка на сканер за счет установки юстировочных элементов на неподвижном основании, при этом возможно использование системы прямого освещения образца с использованием высокоапертурного конденсора. Это позволяет получать оптическое изображение с высоким разрешением и проводить более качественный и осмысленный выбор области сканирования на образце, что повышает функциональные возможности прибора.

В варианте по фиг.2 процесс юстировки производится аналогично способу, рассмотренному выше. Отличие - в процессе сканирования, которое может производиться с большими скоростями, поскольку весовая нагрузка на Z-привод 25 сканера уменьшена - на нем установлены только держатель зонда 8 и оптический блок 27. Это позволяет еще больше повысить скорость сканирования, поскольку именно Z-привод 25 является наиболее скоростным и лимитирующим скорость сканирования.

В вариантах с компенсирующими приводами (фиг.5 и фиг.6) уменьшена весовая нагрузка на Z-привод 25 за счет исключения из оптической системы зеркал 11 и 12, что дает возможность повысить быстродействие Z-привода 25 и, соответственно, улучшить функциональные характеристики СЗМ. При этом вариант с наклонным падением лазерного луча на зондовый датчик 9, изображенный на фиг.5, предпочтительнее, когда необходимо минимизировать засветку объекта измерения 4 лазерным излучением, а вариант с вертикальным падением лазерного луча на зондовый датчик 9 позволяет минимизировать длину оптического пути от лазера 7 до образца 4 и, соответственно, улучшить условия фокусировки лазерного пятна на зондовом датчике 9.

ЛИТЕРАТУРА

1. RU 2180726, 2002.

2. US Patent N6,677,567, 13.01.2004.

3. http://parkafm.com/New_html/product/down_file.php?filename=XE-150.pdf

4. US Pat. Appl. N 20060168703, 27.07.2006.

5. http://www.ntmdt.ru/data/media/Files/products/solver/smena.pdf

6. http://www.ipk.com/nanowizard2.download.l7a34e7664e55b871ad8ae750 93743d0.pdf

7. RU 2255321,2005.

8. http://www.micromo.com/uploadpk/AM 1020-pdf

9. http://www.ntmdt-tips.com/catalog/golden/contact/products.html

10. http://probe. olympus-global. com/en/en/specwedgeE. html

11.http://www.jpk.com/nanowizard-ii-accessories.354.html?prodview=detail&id:=361

12. http://www.physikinstrumente.com/en/pdf/P517_Datasheet.pdf

13. http://www.physikinstrumente.com/en/pdf/P541_2SL_Datasheet.pdf

14. http://www.physikinstrumente.com/en/pdf/P753_JDatasheet.pdf

15.http://www.physikinstrumente.com/en/pdf/PicmaChips_Datasheet.pdf

16. В.Л.Миронов. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Москва: Техносфера, 2004.


СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ БИОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ БИОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ БИОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ БИОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ БИОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП ДЛЯ БИОЛОГИЧЕСКИХ ПРИМЕНЕНИЙ
Источник поступления информации: Роспатент

Показаны записи 31-40 из 46.
25.08.2017
№217.015.be64

Сканирующий зондовый микроскоп для оптической спектрометрии

Изобретение предназначено для оптической микроскопии и спектрометрии комбинационного рассеяния, люминесценции или флуоресценции с использованием зондового датчика в качестве оптической антенны. Микроскоп содержит основание 1, измерительную головку 2, зондовый датчик 3, держатель зондового...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002616854
Дата охранного документа: 18.04.2017
25.08.2017
№217.015.c115

Нестационарная перископическая антенная система

Изобретение относится к антенной технике и может быть использовано при создании антенных систем в радиосвязи и радиолокации. Антенная система состоит из опоры со свободным центром, излучателя, расположенного внутри опоры со свободным центром, переизлучателя, установленного на опоре и имеющего...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002617517
Дата охранного документа: 25.04.2017
26.08.2017
№217.015.d450

Антенная система с механическим сканированием диаграммы направленности

Изобретение относится к антенной технике и может быть использовано при создании антенных систем в радионавигации и радиолокации. Технический результат предлагаемого изобретения - уменьшение потерь, СВЧ сигнала, упрощение конструкции и увеличение надежности при сохранении малой инерционности...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002622226
Дата охранного документа: 13.06.2017
26.08.2017
№217.015.e44f

Антенная система вторичного радиолокатора

Изобретение относится к антенной технике и может быть использовано при создании антенных систем во вторичной радиолокации. Антенная система вторичного радиолокатора состоит из основной антенны канала запроса, антенны канала подавления боковых лепестков, установленной вне основной антенны канала...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002626221
Дата охранного документа: 24.07.2017
26.08.2017
№217.015.ed14

Устройство углового сканирования

Изобретение относится к точной механике и может быть использовано для углового перемещения отражающего элемента. Сущность изобретения заключается в том, что устройство углового сканирования содержит корпус 1, на котором закреплен пьезоэлектрический элемент 3 посредством первого конца 4...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002628673
Дата охранного документа: 21.08.2017
19.01.2018
№218.015.ff98

Устройство механического перемещения для сканирующего зондового микроскопа

Изобретение относится к точной механике и может быть использовано для сближения зонда и образца в сканирующей зондовой микроскопии. Сущность изобретения заключается в том, что в устройстве механического перемещения для сканирующего зондового микроскопа, содержащем основание 1, СЗМ головку 2,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629538
Дата охранного документа: 29.08.2017
19.01.2018
№218.015.ffa6

Мощный полупроводниковый фазовращатель

Изобретение относится к технике сверхвысоких частот (СВЧ) и может быть использовано для скачкообразного изменения фазы проходящего СВЧ-сигнала в фидерных трактах различного назначения, в частности при создании фазированных антенных решеток. Согласно изобретению в мощном полупроводниковом...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629536
Дата охранного документа: 29.08.2017
10.05.2018
№218.016.446e

Устройство для формирования многокаскадной стационарной радиолокационной станции с беззатененной зоной обзора окружающей поверхности

Изобретение относится к области радиолокации, в частности к радиолокационным станциям (РЛС) освещения обстановки. Достигаемые технические результаты - расширение возможностей применения за счет установки ретрансляторов не только на вершинах препятствий, вызывающих затенение целей, в линию,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002649850
Дата охранного документа: 05.04.2018
10.05.2018
№218.016.458c

Радиолокационная система метрового и низкочастотной части дециметрового диапазонов волн с системой опознавания

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в радиолокационных системах (РЛС), состоящих из активного первичного локатора преимущественно метрового и низкочастотной части дециметрового диапазонов волн и наземного радиозапросчика (вторичного радиолокатора) с системой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002650198
Дата охранного документа: 11.04.2018
03.07.2018
№218.016.69d3

Способ формирования и устройство многокаскадной стационарной радиолокационной станции с беззатененной зоной обзора окружающей поверхности

Изобретение относится к радиолокационным станциям (РЛС) освещения обстановки. Технический результат - определение количества и азимутальных координат целей, находящихся в области тени на одинаковых расстояниях от антенны РЛС. Указанный результат достигается тем, что антенну обзорной РЛС...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002659406
Дата охранного документа: 02.07.2018
Показаны записи 31-40 из 50.
26.08.2017
№217.015.e44f

Антенная система вторичного радиолокатора

Изобретение относится к антенной технике и может быть использовано при создании антенных систем во вторичной радиолокации. Антенная система вторичного радиолокатора состоит из основной антенны канала запроса, антенны канала подавления боковых лепестков, установленной вне основной антенны канала...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002626221
Дата охранного документа: 24.07.2017
26.08.2017
№217.015.ed14

Устройство углового сканирования

Изобретение относится к точной механике и может быть использовано для углового перемещения отражающего элемента. Сущность изобретения заключается в том, что устройство углового сканирования содержит корпус 1, на котором закреплен пьезоэлектрический элемент 3 посредством первого конца 4...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002628673
Дата охранного документа: 21.08.2017
19.01.2018
№218.015.ff98

Устройство механического перемещения для сканирующего зондового микроскопа

Изобретение относится к точной механике и может быть использовано для сближения зонда и образца в сканирующей зондовой микроскопии. Сущность изобретения заключается в том, что в устройстве механического перемещения для сканирующего зондового микроскопа, содержащем основание 1, СЗМ головку 2,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629538
Дата охранного документа: 29.08.2017
19.01.2018
№218.015.ffa6

Мощный полупроводниковый фазовращатель

Изобретение относится к технике сверхвысоких частот (СВЧ) и может быть использовано для скачкообразного изменения фазы проходящего СВЧ-сигнала в фидерных трактах различного назначения, в частности при создании фазированных антенных решеток. Согласно изобретению в мощном полупроводниковом...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002629536
Дата охранного документа: 29.08.2017
10.05.2018
№218.016.446e

Устройство для формирования многокаскадной стационарной радиолокационной станции с беззатененной зоной обзора окружающей поверхности

Изобретение относится к области радиолокации, в частности к радиолокационным станциям (РЛС) освещения обстановки. Достигаемые технические результаты - расширение возможностей применения за счет установки ретрансляторов не только на вершинах препятствий, вызывающих затенение целей, в линию,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002649850
Дата охранного документа: 05.04.2018
10.05.2018
№218.016.458c

Радиолокационная система метрового и низкочастотной части дециметрового диапазонов волн с системой опознавания

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в радиолокационных системах (РЛС), состоящих из активного первичного локатора преимущественно метрового и низкочастотной части дециметрового диапазонов волн и наземного радиозапросчика (вторичного радиолокатора) с системой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002650198
Дата охранного документа: 11.04.2018
10.05.2018
№218.016.4ae1

Вращающееся соединение

Изобретение относится к области радиолокационной техники, в частности к устройствам антенно-фидерной системы, используемым для передачи сверхвысокочастотной энергии между неподвижной частью радиолокационной станции (РЛС), например стационарными (неподвижными) передатчиками, приемниками, и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651614
Дата охранного документа: 23.04.2018
03.07.2018
№218.016.69d3

Способ формирования и устройство многокаскадной стационарной радиолокационной станции с беззатененной зоной обзора окружающей поверхности

Изобретение относится к радиолокационным станциям (РЛС) освещения обстановки. Технический результат - определение количества и азимутальных координат целей, находящихся в области тени на одинаковых расстояниях от антенны РЛС. Указанный результат достигается тем, что антенну обзорной РЛС...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002659406
Дата охранного документа: 02.07.2018
25.08.2018
№218.016.7f26

Устройство подвижки

Устройство подвижки относится к точной механике и может быть использовано для перемещения образцов по двум или трем координатам, например, в зондовой микроскопии. Сущность изобретения заключается в том, что в устройстве подвижки каретка 10 упруго сопряжена с переходным элементом 9 по координате...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002664783
Дата охранного документа: 22.08.2018
06.12.2018
№218.016.a402

Способ измерения угла места радиолокационных целей, находящихся на больших углах места

Изобретение относится к радиолокации и может быть использовано в радиолокационных станциях (РЛС) с фазированной антенной решеткой. Технический результат предлагаемого изобретения - однозначное измерение угла места радиолокационных целей, находящихся на больших углах места при малой ширине...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002674007
Дата охранного документа: 04.12.2018
+ добавить свой РИД