×
23.02.2020
220.018.04c2

Микромеханический гироскоп

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
№ охранного документа
0002714870
Дата охранного документа
19.02.2020
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к области точного приборостроения, в частности к вибрационным микромеханическим гироскопам (ММГ), измеряющим угловую скорость. Сущность изобретения заключается в том, что в ММГ со встроенным датчиком температуры, квадратурными электродами и управляемыми источниками напряжения, выходы которых соединены с квадратурными электродами, устройством преобразования сигнала, выход которого соединен с входами управляемых источников напряжения, при этом выход встроенного датчика температуры соединен с входом устройства преобразования сигнала, устройство преобразования сигнала реализует функциональную зависимость напряжения на квадратурных электродах, компенсирующего квадратурную помеху, от выходного сигнала встроенного датчика температуры. Технический результат - повышение точности ММГ. 4 ил.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к области точного приборостроения, в частности к вибрационным микромеханическим гироскопам (ММГ), измеряющим угловую скорость.

В этих ММГ проводящая подвижная масса (ПМ) подвешена к опоре, закрепленной на основании с помощью упругого резонансного подвеса. Электроды, расположенные по разным осям подвеса ПМ, обеспечивают измерение перемещений ПМ и формирование сил (моментов) для управления движениями ПМ, в том числе формирование колебаний ПМ по оси первичных колебаний и измерение перемещений ПМ по оси вторичных колебаний. Для возбуждения колебаний ПМ по оси первичных колебаний в ММГ используется электронный блок, называемый блоком возбуждения первичных колебаний на частоте f1 (у современных ММГ f1>10кГц). Для формирования сил, действующих на ПМ, и измерения перемещений ПМ по оси первичных колебаний применяют электроды, которые имеют форму гребенок, при этом одни электроды расположены на ПМ (подвижные электроды), а другие, неподвижные - на основании. Такие электроды называют гребенчатыми.

Колебания ПМ по оси вторичных колебаний имеют место при действии сил Кориолиса, возникающих при вращении основания ММГ вокруг оси чувствительности ММГ. При этом ось чувствительности и оси первичных и вторичных колебаний ортогональны друг другу. Колебания ПМ, обусловленные силой Кориолиса, содержат информацию об измеряемой ММГ угловой скорости Ω, они являются полезными.

Эти колебания ПМ измеряются с помощью электродов, расположенных по оси вторичных колебаний, изменения емкостей этих электродов преобразуются в канале вторичных колебаний в сигнал, пропорциональный Ω.

Однако на них накладываются вредные колебания ПМ, которые вызываются действующими на ПМ силами, обусловленными погрешностями изготовления чувствительного элемента (ЧЭ) ММГ.

К указанным погрешностям могут быть отнесены отклонения от заданных размеров элементов подвеса ПМ и электродов, наличие остаточного давления в камере ЧЭ и т.д.

Амплитуда вредных колебаний ПМ может значительно превышать амплитуду колебаний ПМ, обусловленных Ω, что затрудняет измерение полезной составляющей колебаний и соответственно снижает точность ММГ. Вредные колебания ПМ, сдвинутые по фазе по отношению к полезным на ±90°, или силы, ортогональные к силе Кориолиса, называют квадратурной помехой. Для ее подавления используются различные способы, в частности, синхронное детектирование сигналов в канале вторичных колебаний. Для синхронного детектирования используют демодулятор с опорным сигналом, фаза которого совпадает с фазой полезного сигнала. В этом случае выделяется амплитуда полезного сигнала, а квадратурный сигнал преобразуется в высокочастотный сигнал, спектр которого начинается с частоты 2f1. Эта составляющая отфильтровывается фильтром низкой частоты. Однако, если фаза опорного сигнала нестабильна, то подавление квадратурного сигнала демодулятором оказывается недостаточным и в высокоточных ММГ применяют дополнительно различные способы компенсации квадратурной помехи.

Подробно работа вибрационных ММГ описана в литературе [1, 2]. В работе [2, стр. 101] описаны способы подавления квадратурной помехи, один из которых заключается в формировании постоянного напряжения определенной величины на так называемых квадратурных электродах.

Способы подавления квадратурной помехи в ММГ, в том числе и за счет использования квадратурных электродов, приведены в отечественных и зарубежных публикациях [3-7].

В ММГ RR-типа квадратурные электроды могут представлять собой плоские электроды в виде секторов, частично расположенных над зубцовой зоной гребенчатых электродов или отверстиями в ПМ [3, 4]. В ММГ LL-типа квадратурные электроды выполняются как гребенчатые со смещенными от центрального положения зубцами [5].

Если на квадратурных электродах сформировать компенсирующее напряжение UЭ, то за счет изменения площади перекрытия при колебаниях ПМ вдоль оси первичных колебаний между этими электродами и ПМ происходит изменение электростатической силы с частотой первичных колебаний. Эти изменения в зависимости от положения электродов относительно оси чувствительности находятся в фазе или в противофазе с квадратурной помехой, их амплитуда пропорциональна (UЭ)2 [5]. За счет выбора квадратурных электродов и подбора величины UЭ можно сформировать силы электрического поля FЭ (или моменты), которые находятся в противофазе силам (моментам), вызывающим квадратурную помеху в ММГ, и равны им по амплитуде. В этом случае сила FЭ компенсирует силы, вызывающие появление квадратурной помехи.

Таким образом компенсация квадратурной помехи в описанных выше ММГ, которые являются аналогами предложенного устройства, достигается за счет соединения источника напряжения с квадратурными электродами, при этом величина напряжения, необходимого для подавления квадратурной помехи, выбирается расчетным путем [5, формулы на стр. 10, 11] или экспериментально [фиг. 7 патента 3].

Недостатком аналогов является то, что силы, вызывающие квадратурную помеху в ММГ, могут изменяться при изменении температуры окружающей среды. Это отмечено в работе [2, стр. 101]. Поэтому при выборе фиксированного значения напряжения UЭ компенсация квадратурной помехи во всем диапазоне рабочих температур не обеспечивается, что ухудшает точность ММГ и, соответственно, сужает области применения таких ММГ.

Известны ММГ со встроенным датчиком температуры (ВДТ) и блоком температурной коррекции (БТК) выходного сигнала, на вход которого поступают сигналы с выхода канала вторичных колебаний и ВДТ [8-11]. Сигнал с выхода канала вторичных колебаний помимо сигнала, пропорционального Ω, содержит зависимую от температуры окружающей среды аддитивную составляющую. Эту составляющую после калибровки ММГ, заключающейся в определении этой составляющей при разных угловых скоростях вращения ММГ и температурах окружающей среды, компенсируют с достижимой погрешностью в БТК.

Известен ММГ с квадратурными электродами и соединенными с ними управляемыми источниками напряжения [6], который выбран в качестве прототипа. Входы для управления источниками напряжения в этом ММГ соединены с устройством преобразования сигнала, зависящего в том числе от зазора (d) между квадратурными электродами и ПМ. Изменение квадратурной помехи, обусловленное изменением температуры окружающей среды в этом ММГ, так же, как и в ММГ по патентам [3-5], приводит к ухудшению их точности.

Решаемая техническая проблема - уменьшение влияния изменений температуры окружающей среды на степень подавления квадратурной помехи квадратурными электродами.

Достигаемый технический результат - повышение точности ММГ.

Сущность изобретения заключается в том, что в ММГ со встроенным датчиком температуры, квадратурными электродами и управляемыми источниками напряжения, выходы которых соединены с квадратурными электродами, устройством преобразования сигнала, выход которого соединен со входами управляемых источников напряжения, при этом:

- выход встроенного датчика температуры соединен со входом устройства преобразования сигнала;

- устройство преобразования сигнала реализует функциональную зависимость напряжения на квадратурных электродах, компенсирующего квадратурную помеху, от выходного сигнала встроенного датчика температуры.

Предлагаемое устройство может быть применено как в ММГ RR-, так и LL-типа.

На фиг. 1 приведена блок-схема предлагаемого ММГ RR-типа, на фиг. 2 - LL-типа, описанный в патенте [5].

На фиг. 1 и 2 приняты следующие обозначения:

1 - основание, на которое подвешена ПМ;

2 - упругий резонансный подвес (далее - упругий подвес);

3 - источник переменного напряжения, подаваемого на ПМ (далее - ИПН);

4 - ПМ;

5, 6 - неподвижные гребенчатые электроды датчика угла/датчика перемещения;

7, 8 - неподвижные гребенчатые электроды датчика момента/датчика силы;

9, 10 - неподвижные плоские электроды датчика угла, расположенные на крышке ММГ над ПМ (далее - измерительные электроды);

11, 12 - неподвижные плоские электроды датчика угла, расположенные на крышке ММГ частично над зубцовой зоной ПМ (далее - первая пара квадратурных электродов);

13 - управляемый источник напряжения (УИН);

14 - устройство возбуждения первичных колебаний (УВПК);

15 - канал вторичных колебаний (КВК), включающий в себя преобразователь емкость-напряжение и демодулятор;

16 - датчик температуры, встроенный в ММГ (ВДТ);

17 - устройство преобразования сигнала, реализующее зависимость напряжения на квадратурных электродах, компенсирующего квадратурную помеху, от выходного сигнала ВДТ (далее - УПС);

18, 19 - вторая пара квадратурных электродов;

U0 - напряжение питания управляемого источника напряжения;

UКВ - напряжение, компенсирующее квадратурную помеху;

UВЫХ - выходной сигнал ММГ.

Квадратурные электроды ЧЭ LL-типа (11, 12 и 18, 19 на фиг. 2), в отличие от ЧЭ RR-типа, являются гребенчатыми. У квадратурных электродов 11, 12 зубцы на ПМ 4 смещены от центрального положения вверх по вертикали, а у электродов 18, 19 - вниз по вертикали. В зависимости от фазы квадратурной помехи с элементом 13 могут быть соединены либо электроды 12, 18, либо 11, 19.

ПМ 4 может совершать колебания вдоль оси X (ось первичных колебаний) и оси Y (ось вторичных колебаний).

На фиг. 3 приведены экспериментально полученные зависимости квадратурной помехи от температуры окружающей среды, измеряемой с помощью ВДТ, для двух ММГ RR-типа отечественной разработки.

На фиг. 3 обозначены:

q - квадратурная помеха;

Т - температура, измеренная с помощью ВДТ;

q(T) - зависимость квадратурной помехи от температуры окружающей среды;

1 - зависимость q(T) для первого ММГ;

2 - зависимость q(T) для второго ММГ.

На фиг. 4 приведены экспериментально полученные зависимости изменения фазы опорного сигнала демодулятора (входящего в состав КВК 15, на фиг. не показан) от температуры окружающей среды для двух ММГ RR-типа отечественной разработки, в котором элементы 14, 15 реализованы за счет использования специализированной интегральной схемы, описанной в [13].

На фиг. 4 обозначены:

Δϕ - сдвиг фазы опорного сигнала демодулятора;

Т - температура, измеренная с помощью ВДТ;

Δϕ(Т) - зависимость сдвига фазы опорного сигнала демодулятора от температуры;

1 - зависимость Δϕ(Т) для первого ММГ;

2 - зависимость Δϕ(Т) для второго ММГ.

К основанию 1 с помощью упругого подвеса 2, выполненного в виде торсионов, подвешена проводящая ПМ 4, которая выполнена в виде диска, часть секторов которого выполнена в виде гребенок. ПМ 4 может перемещаться как вокруг оси, перпендикулярной к плоскости диска (ось первичных колебаний X), так и вокруг горизонтальной оси (ось вторичных колебаний Y).

Неподвижные электроды 5-8 представляют собой гребенчатые электроды, часть из которых используется при формировании датчика угла ПМ 4 (элементы 7, 8), а другие - в качестве датчика момента (элементы 5, 6). Эти электроды соединены с УВПК 14.

Источник переменного напряжения 3 соединен с ПМ 4.

Входы канала вторичных колебаний 15 соединены с измерительными электродами 9, 10, и одним из выходов УВПК 14.

Измерительные электроды 9, 10 расположены симметрично относительно горизонтальной оси. Они соединены со входами преобразователя емкость-напряжение (на фиг. 1 не показан), входящего в состав КВК 15. Варианты построения канала вторичных колебаний достаточно подробно описаны в разных публикациях, например, в [1, 2, 8].

Выход УИН 13 соединен с квадратурными электродами 11, 12.

Выход ВДТ 16 через УПС 17 соединен со входом управления УИН 13. Предложенное устройство работает следующим образом: Через межэлектродные емкости, образованные ПМ 4 и электродами 7-10 проходит ток, величина которого определяется напряжением и частотой ИПН 3 и величинами межэлектродных емкостей, которые зависят от положения ПМ 4. Эти токи преобразуются УВПК 14 в моменты, вызывающие колебания ПМ 4 вокруг оси первичных колебаний, а в КВК 15 при вращении основания с угловой скоростью Ω в сигнал, пропорциональный Ω.

Для подавления квадратурной помехи на квадратурных электродах 11, 12 с помощью УИН 13 увеличивают напряжение, наблюдая сигнал на выходе преобразователя емкость-напряжение КВК 15 при Ω=0. Если при этом амплитуда наблюдаемого сигнала падает, продолжают эту процедуру до тех пор, пока амплитуда не начнет возрастать, а фаза сигнала изменится на противоположную. Значение напряжения на электродах 11 и 12, соответствующее минимуму наблюдаемого сигнала, является компенсационным напряжением.

Если при увеличении напряжения на квадратурных электродах 11, 12 сигнал на выходе преобразователя емкость-напряжение возрастает, то необходимо подключить выход УИН 13 к другой паре квадратурных электродов, 18 и 19, расположенных симметрично электродам 11, 12 относительно оси Y.

Задавая температуру окружающей среды, например, при установке ММГ в термокамере, измеряя сигнал на выходе ВДТ 16 (UТ) и повторяя описанную выше процедуру определения компенсационного напряжения UЭ, можно получить данные, необходимые для определения зависимости напряжений, компенсирующих квадратурную помеху от выходного сигнала ВДТ 16: UЭ=f(UТ). УПС 17, реализующее эту зависимость, может быть сформировано с помощью цифровых (например, микроконтроллера с цифро-аналоговым преобразователем) или аналоговых элементов [12].

При изменении температуры окружающей среды соответствующее изменение сигнала на выходе ВДТ 16 приводит к такому изменению сигнала на выходе УПС 17, которое формирует напряжение на квадратурных электродах, соответствующее значению, при котором квадратурная помеха компенсируется.

Анализ экспериментально полученных зависимостей q(T) и Δϕ(Т), приведенных на фиг. 3, 4 демонстрирует, что:

- изменение квадратурной помехи q(T) в рабочем диапазоне температур может составлять ≈10% от ее среднего уровня. Это показывает, что подавление квадратурной помехи фиксированным значением компенсационного напряжения на квадратурных электродах недостаточно эффективно;

- с учетом изменения Δϕ на уровне 0,5-1° составляющая выходного сигнала ММГ, обусловленная квадратурной помехой, может быть оценена величиной 0,5-1°/с. Погрешность ММГ (нестабильность нулевого сигнала) при изменении температуры окружающей среды в диапазоне 125°С, оказывается на три порядка больше, чем погрешность при постоянной температуре.

- характер зависимостей q(T) показывает, что они могут быть аппроксимированы в УПС с погрешностью на уровне 1%. Это позволяет за счет реализации зависимости q(T) в УПС 17 снизить остаточное изменение квадратурной помехи в диапазоне рабочих температур до величины 0,005-0,01%, то есть снизить погрешность ММГ (нестабильность нулевого сигнала) на 2 порядка. Таким образом, за счет сохранения высокого уровня подавления помехи при работе ММГ в широком диапазоне температур, достигается повышение точности ММГ.

Заявленный технический результат подтверждается расчетным путем, проведенном при оценке составляющих погрешностей ММГ, полученных при экспериментальных исследованиях образцов датчиков.

Литература

1. Распопов В.Я. Микромеханические приборы: Учебное пособие / Тула: Гриф и К., 476 с.

2. Acar С., Shkel A., MEMS Vibratory Gyroscopes: Structural Approaches to Improve Robustness, Springer, 2008, 262 pp.

3. Патент РФ №2344374.

4. Патент РФ №2320962.

5. Патент США №8104364.

6. Патент РФ №2626570.

7. Беляева Т.А. Методы компенсации квадратурной помехи в микромеханическом гироскопе RR-типа / Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук, ОАО "Концерн "ЦНИИ "Электроприбор", 126 с, Санкт-Петербург, 2009, инв. №141187.

8. В.Г. Пешехонов и др. Результаты испытаний установочной партии микромеханических гироскопов rr-типа / Гироскопия и навигация, №1 (72), 2011, стр. 37-48.

9. P. Prikhodko et al. Compensation of drifts in high-Q MEMS gyroscopes using temperature self-sensing, Sens.Actuators A: Phys. (2013), http://dx.doi.org/10.1016/j.sna2012.12.024.

10. Некрасов Я.А., Моисеев H.B., Люкшонков P. Г., Павлова СВ., Улучшение эксплуатационных характеристик отечественного микромеханического гироскопа RR-типа / XXI Санкт-Петербургская международная конференция по интегрированным навигационным системам, 2014, стр. 226-235.

11. Результаты исследования МЭМС-гироскопа с температурной самокомпенсацией / Некрасов Я.А., Люкшонков Р. Г. // XX II Санкт-Петербургская международная конференция по интегрированным навигационным системам, 2015 г - С288 - 293.

12. Справочник по нелинейным схемам: Проектирование устройств на базе аналоговых функциональных модулей и интегральных схем. Под ред. Шейнголд Д.Х. / М.: Мир, 1977.

13. A. Ismail et al A HIGH PERFORMANCE MEMS BASED DIGITAL-OUTPUT GYROSCOPE. Transducers, 2013, Barcelona, 16-20 June 2013.

Микромеханический гироскоп, содержащий опору на основании, к которой на упругом резонансном подвесе подвешена проводящая подвижная масса, способная совершать колебания в двух взаимно перпендикулярных направлениях по осям первичных и вторичных колебаний, соединенные с устройством возбуждения первичных колебаний гребенчатые электроды, канал вторичных колебаний с измерительными электродами, расположенными по оси вторичных колебаний, квадратурные электроды, управляемый источник напряжения, соединенный с квадратурными электродами, встроенный датчик температуры, устройство преобразования сигнала, выход которого соединен с входом управляемого источника напряжения, отличающийся тем, что выход встроенного датчика температуры соединен с входом устройства преобразования сигнала, которое реализует определяемую экспериментально зависимость напряжения на квадратурных электродах, компенсирующего квадратурную помеху, от выходного сигнала встроенного датчика температуры.
Микромеханический гироскоп
Микромеханический гироскоп
Микромеханический гироскоп
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-10 of 87 items.
27.06.2015
№216.013.5a2b

Способ измерения физической неэлектрической величины

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при разработке и производстве измерительных преобразователей неэлектрических величин типа датчиков угловых скоростей, датчиков линейных, угловых ускорений и т.д. Согласно заявленному изобретению преобразуют измеряемую...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002554624
Дата охранного документа: 27.06.2015
27.06.2015
№216.013.5a2f

Способ выставки осевого зазора в газодинамическом подвесе оси вращения ротора гиромотора

Изобретение относится к области прецизионного приборостроения и может быть использовано при разработке и производстве гиромоторов с газодинамическим подвесом оси вращения ротора, состоящего из двух полусферических опорных узлов, каждый из которых содержит опору и фланец. Технический результат -...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002554628
Дата охранного документа: 27.06.2015
27.06.2015
№216.013.5a32

Стенд для выработки угловых колебаний в двух плоскостях

Предложенное изобретение используется для оценки динамических погрешностей микромеханических и других малогабаритных инерциальных систем. Заявленный стенд предназначен для выработки угловых колебаний в двух плоскостях, изменяющихся по гармоническому закону в расширенном частотном диапазоне,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002554631
Дата охранного документа: 27.06.2015
10.07.2015
№216.013.5e5e

Устройство для напыления тонкопленочных покрытий на сферические роторы электростатического гироскопа

Изобретение относится к устройствам для напыления покрытий на сферические роторы электростатических гироскопов и может быть использовано в точном приборостроении. Устройство содержит вакуумную камеру, внутри которой размещены источник распыления и механизм вращения ротора в виде двух рамок,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002555699
Дата охранного документа: 10.07.2015
27.07.2015
№216.013.6863

Способ обнаружения и сопровождения целей циклически работающей системой наблюдения, состоящей из нескольких разнородных приемных каналов

Изобретение относится к области создания систем наблюдения, состоящих из нескольких разнородных приемных каналов. Существо предлагаемого изобретения состоит в том, что если условию идентичности наблюдаемой и комплексной цели удовлетворяет несколько комплексных целей, то из них выбирается та,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002558276
Дата охранного документа: 27.07.2015
20.08.2015
№216.013.72fc

Микромеханический вибрационный гироскоп

Изобретение относится к области точного приборостроения и может быть использовано при создании таких средств измерения угловой скорости движения основания, как вибрационные гироскопы. Микромеханический вибрационный гироскоп содержит основание, инерционный диск, имеющий одинаковую толщину и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002561006
Дата охранного документа: 20.08.2015
10.12.2015
№216.013.96cb

Способ определения погрешностей двухстепенного поплавкового гироскопа с газодинамическим подвесом ротора гиромотора

Изобретение относится к области прецизионного приборостроения и может быть использовано при разработке и производстве двухстепенных поплавковых гироскопов с газодинамическим подвесом оси вращения ротора гиромотора. Технический результат - повышение точности. Для этого в известном способе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002570223
Дата охранного документа: 10.12.2015
20.03.2016
№216.014.ca96

Способ бесплатформенной инерциальной навигации на микромеханических чувствительных элементах

Изобретение относится к навигационной технике, а именно к способам бесплатформенной инерционной навигации малогабаритных движущихся объектов. Способ бесплатформенной инерциальной навигации заключается в том, что на борту подвижного объекта устанавливают микромеханические гироскопы и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002577567
Дата охранного документа: 20.03.2016
10.06.2016
№216.015.4665

Способ изготовления ротора электростатического гироскопа

Изобретение относится к области прецизионного приборостроения и может быть использовано при производстве электростатических гироскопов. Способ изготовления ротора электростатического гироскопа содержит этапы, на которых: формируют из сплошной заготовки сферическую поверхность ротора, выполняют...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586396
Дата охранного документа: 10.06.2016
20.08.2016
№216.015.4bcf

Двухстепенной поплавковый гироскоп

Изобретение относится к области прецизионного приборостроения и может быть использовано при разработке и производстве двухстепенных поплавковых гироскопов. Двухстепенной поплавковый гироскоп содержит корпус с двумя торцевыми крышками, цилиндрическую поплавковую гирокамеру, установленную в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002594628
Дата охранного документа: 20.08.2016
Showing 1-10 of 24 items.
27.06.2013
№216.012.518b

Измеритель угловой скорости

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. Измеритель угловой скорости содержит два микромеханических гироскопа (ММГ), акселерометр и устройство преобразования сигналов. Устройство преобразования сигналов включает в себя...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002486468
Дата охранного документа: 27.06.2013
27.06.2013
№216.012.518c

Способ подавления ложного сигнала в измерителе угловой скорости с микромеханическими гироскопами

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа. Для измерителя угловой скорости вибрационные микромеханические гироскопы выбираются с разными резонансными частотами подвеса инерционной массы по оси первичных колебаний, а в качестве...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002486469
Дата охранного документа: 27.06.2013
20.03.2014
№216.012.ad10

Способ фотометрического определения железа (ii) в растворах чистых солей

Настоящее изобретение относится к области аналитической химии, а именно к фотометрическому методу анализа, и может быть использовано для определения содержания железа (II) в растворах чистых солей, содержащих железо (II) в очень малой концентрации. Способ включает переведение железа (II) в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002510019
Дата охранного документа: 20.03.2014
10.04.2014
№216.012.b35b

Способ фотометрического определения железа (ii)

Изобретение относится к области аналитической химии, а именно фотоколориметрическому методу анализа, и может быть использовано для определения содержания железа (II) в экстракте хвои ели, содержащей железо (II) в очень малой концентрации. Способ включает переведение его в комплексное соединение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002511631
Дата охранного документа: 10.04.2014
20.10.2014
№216.012.fead

Способ фотометрического определения железа (iii) в растворах чистых солей

Изобретение относится к аналитической химии, а именно к фотометрическому определению малых концентраций железа (III) в растворах чистых солей. Способ включает переведение железа (III) в комплексное соединение с органическим реагентом и поверхностно-активным веществом в слабокислой среде...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002531053
Дата охранного документа: 20.10.2014
10.12.2014
№216.013.0ef7

Микромеханический гироскоп

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа, в которых для повышения точности используется термокомпенсация. Устройство содержит чувствительный элемент (ЧЭ) с резонансным подвесом инерционной массы, электроды, расположенные...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002535248
Дата охранного документа: 10.12.2014
20.06.2015
№216.013.576c

Способ фотометрического определения хрома (iii) в растворах чистых солей

Изобретение относится к области аналитической химии, а именно к фотометрическому методу анализа, и может быть использовано для определения содержания хрома (III) в растворах чистых солей, содержащих хром (III) в малой концентрации. В способе фотометрического определения хрома (III) в растворах...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002553910
Дата охранного документа: 20.06.2015
10.10.2015
№216.013.814e

Способ измерения добротности резонансного контура и устройство для его реализации

Изобретение относится к измерительной технике. Способ измерения добротности резонансного контура заключается в возбуждении колебаний за счет положительной обратной связи в контуре, стабилизации этих колебаний за счет введения отрицательной обратной связи по их амплитуде с помощью схемы...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002564699
Дата охранного документа: 10.10.2015
20.03.2016
№216.014.cd39

Способ настройки фазы опорного сигнала демодулятора выходного тракта микромеханического гироскопа

Изобретение относится к микромеханическим датчикам скорости вращения, в которых используется эффект Кориолиса, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. Способ настройки фазы опорного сигнала демодулятора выходного тракта микромеханического гироскопа заключается в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002577369
Дата охранного документа: 20.03.2016
26.08.2017
№217.015.e463

Микромеханический гироскоп rr-типа

Изобретение относится к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. Сущность изобретения заключается в том, что в ММГ с квадратурными электродами и источниками напряжения, соединенными с ними, введены последовательно сумматор и делитель, обеспечивающие компенсацию изменений зазора, и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002626570
Дата охранного документа: 28.07.2017
+ добавить свой РИД