×
10.10.2019
219.017.d466

Способ защиты структур на основе алюмосиликатного стекла

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к технологии изготовления мощных транзисторных приборов, в частности к способам защиты поверхности полупроводниковой структуры от различных внешних воздействий. Сущность способа защиты структур на основе алюмосиликатного стекла заключается в том, что на чистую поверхность полупроводниковой структуры с p-n-переходом наносят слой на основе алюмосиликатного стекла, состоящего из смеси в состав которого входят: 45±5% окиси кремния -SiO; 15±5% окиси алюминия -AlO; 30±5% окиси бария -ВаО и 0,09±0,01% оксида натрия -NaO. Процесс проводят при рабочей температуре -750±50°С. Толщина стекла составляет 1,0±0,2 мкм. Алюмосиликатные стекла обладают высокими температурами размягчения, низкими диэлектрическими потерями и в некоторых случаях являются конкурентами керамике. Изобретение обеспечивает повышение стабильности приборов и уменьшение температуры и длительности процесса.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к технологии изготовления мощных транзисторных приборов, в частности к способам защиты поверхности полупроводниковой структуры от различных внешних воздействий.

Состояние поверхности полупроводникового материала, на которую имеет выход р-n-перехода, оказывает более сильное влияние на электрические параметры изделий микроэлектроники, чем физические свойства объема полупроводника, в котором расположен p-n-переход. Если часть p-n-перехода, расположенная внутри полупроводникового кристалла, надежно защищена от внешних воздействий окружающей среды, то часть, выходящая на поверхность кристалла, не может без дополнительной защиты противостоять им. При длительной работе прибора происходит изменение состояния поверхности полупроводникового материала, обусловленное характером окружающей среды и ее воздействием. Поэтому от качества защиты поверхности полупроводниковой структуры с p-n-переходом зависят не только электрические параметры готовых изделий, но и их надежность, а также срок службы.

Известны способы защиты, сущность которых состоят в том, что поверхность полупроводникового материала p-n-переходов защищают: вазелином, лаком, эмалями, пленками окислов металлов, боросиликатными и др. стеклами [1].

Основными недостатками этих способов является нестабильность приборов, высокая температура и длительность процесса.

Целью изобретения является достижение стабильности приборов и уменьшение температуры и длительности процесса.

Поставленная цель достигается использованием алюмосиликатного стекла, состоящего из смеси в состав, которого входят: 45±5% окиси кремния -SiO2; 15±5% окиси алюминия -Al2O3; 30±5% окиси бария -ВаО и 0,09±0,01% оксид натрия -Na2O.

Сущность способа заключается в том, что на чистую поверхность полупроводниковой структуры с p-n-переходом наносят алюмосиликатное стекло состоящий из смеси, в состав которого входят пленки на основе алюмосиликатного стекла, состоящего из смеси в состав, которого входят: 45±5% окиси кремния -SiO2; 15±5% окиси алюминия -Al2O3; 30±5% окиси бария -ВаО и 0,09±0,01% оксид натрия - Na2O. Процесс проводят при рабочей температуре -750±50°С. Толщина стекла -1,0±0,2 мкм. Алюмосиликатные стекла обладают высокими температурами размягчения, низкими диэлектрическими потерями и в некоторых случаях являются конкурентами керамике.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

Сущность изобретения подтверждается следующими примерами:

ПРИМЕР 1. Процесс проводят с предварительной очисткой поверхности структуры. На чистую поверхность полупроводниковой структуры с p-n-переходом наносят слой защитного стекла, состоящий из смеси в состав, которого входят которого входят: 45±5% окиси кремния -SiO2; 15±5% окиси алюминия -Al 2О3; 30±5% окиси бария -ВаО и 0,09±0,01% оксид натрия -Na2O. Процесс проводят при рабочей температуре -950±50°С. Толщина стекла -1,6±0,2 мкм.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

ПРИМЕР 2. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят при следующих режимах:

Температура рабочая -850±50°С.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

Толщина стекла -1,4±0,2 мкм.

ПРИМЕР 3. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят при следующих режимах:

Температура рабочая -800±50°.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

Толщина стекла -1,2±0,2 мкм.

ПРИМЕР 4. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят при следующих режимах:

Температура рабочая -750±50°С.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

Толщина стекла -1,0±0,2 мкм.

Таким образом, предлагаемый способ отличается от прототипа тем, что защитный слой на основе алюмосиликатного стекла, состоящего из смеси в состав, которого входят: 45±5% окиси кремния -SiO2; 15±5% окиси алюминия -Al2O3; 30±5% окиси бария -ВаО и 0,09±0,01% оксид натрия -Na2O способствует улучшению стабильности приборов и его надежности, а также уменьшению температуры и длительности процесса. Алюмосиликатные стекла обладают высокими температурами размягчения, низкими диэлектрическими потерями и в некоторых случаях являются конкурентами керамике.

ЛИТЕРАТУРА

1. А.И. Курносов, В.В. Юдин. Технология производства полупроводниковых приборов. - М.: «Высшая школа». 1980. с. 400.

Способ защиты структур на основе алюмосиликатного стекла, включающий защиту поверхности кристаллов р-n переходов, отличающийся тем, что на поверхность полупроводниковой структуры наносят слой на основе алюмосиликатного стекла, состоящего из смеси, в состав которого входят: 45±5% окиси кремния - SiO; 15±5% окиси алюминия - AlO; 30±5% окиси бария - ВаО и 0,09±0,01% оксида натрия - NaO, процесс проводят при рабочей температуре -750±50°С, где толщина стекла составляет 1,0±0,2 мкм.
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 11-20 of 42 items.
10.05.2018
№218.016.48c1

Способ производства пюре из моркови

Изобретение относится к пищевой промышленности, в частности к консервированию пюре из моркови. Сырье после сортировки, мойки и очистки разваривают в СВЧ-поле частотой 2400±50 МГц в течение 2-3 мин. Затем сырье измельчают, подогревают до 80°С, смешивают с остальными компонентами, гомогенизируют,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651300
Дата охранного документа: 19.04.2018
10.05.2018
№218.016.48c6

Устройство для получения пресной воды из атмосферного воздуха в районах с высокой интенсивностью приливов и отливов

Изобретение относится к устройствам для получения пресной воды из водяных паров, содержащихся в окружающем атмосферном воздухе, и может быть использовано для получения пресной воды преимущественно в прибрежной с морями местности с высокой интенсивностью приливов и отливов. Устройство содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651296
Дата охранного документа: 19.04.2018
10.05.2018
№218.016.48e2

Устройство для получения пресной воды из атмосферного воздуха

Изобретение относится к устройствам для получения пресной воды из водяных паров, содержащихся в окружающем атмосферном воздухе, и может быть использовано для получения пресной воды преимущественно в прибрежной с морями местности. Устройство содержит охлаждаемую перегородку, разделяющую зону...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651298
Дата охранного документа: 19.04.2018
10.05.2018
№218.016.48eb

Термоэлектрический интенсификатор теплопередачи между потоками сред с различной температурой

Изобретение относится к термоэлектрической технике. Устройство состоит из термоэлектрической батареи, составленной из идентичных по размерам и физическим свойствам термоэлементов, обе поверхности которой находятся на некотором расстоянии (зазоре) от стенок транспортных зон с движущимися в них...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651112
Дата охранного документа: 18.04.2018
10.05.2018
№218.016.490b

Устройство для получения пресной воды из атмосферного воздуха в районах с высокой интенсивностью приливов и отливов

Изобретение относится к устройствам для получения пресной воды из водяных паров, содержащихся в окружающем атмосферном воздухе, и может быть использовано для получения пресной воды преимущественно в прибрежной с морями местности с высокой интенсивностью приливов и отливов. Устройство содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651297
Дата охранного документа: 19.04.2018
10.05.2018
№218.016.4931

Термоэлектрический интенсификатор теплопередачи между потоками сред с различной температурой

Изобретение относится к термоэлектрической технике. Устройство состоит из термоэлектрической батареи, составленной из идентичных по размерам и физическим свойствам термоэлементов, питаемой источником электрической энергии, обе поверхности которой находятся на некотором расстоянии от стенок...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651096
Дата охранного документа: 18.04.2018
10.05.2018
№218.016.4aa1

Термоэлектрический интенсификатор теплопередачи между потоками сред с различной температурой

Изобретение относится к термоэлектрической технике. Устройство состоит из термоэлектрической батареи, составленной из идентичных по размерам и физическим свойствам термоэлементов, питаемой источником электрической энергии, обе поверхности которой находятся на некотором расстоянии (зазоре) от...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651700
Дата охранного документа: 23.04.2018
10.05.2018
№218.016.4f69

Способ определения объема заколонных каверн

Изобретение относится к области капитального и текущего ремонта нефтяных и газовых скважин, а именно к ремонтно-изоляционным работам в эксплуатационных газовых скважинах. Техническим результатом является повышение оперативности и точности определения объема заколонных каверн в промысловых...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002652772
Дата охранного документа: 28.04.2018
15.03.2019
№219.016.dfd5

Дощатоклееная подкрановая балка

Изобретение относится к области строительства, а именно к несущим продольным элементам каркаса промышленных и сельскохозяйственных зданий с мостовыми кранами. Дощатоклееная подкрановая балка с вклеенной продольной и наклонной арматурой в верхнем поясе и приопорных частях, а также арматурой,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002681892
Дата охранного документа: 13.03.2019
26.05.2019
№219.017.6145

Устройство для остановки кровотечения

Изобретение относится к медицинской технике, в частности к устройствам для остановки кровотечения. Устройство содержит источник холода в виде емкости, разделенной на две камеры тонкой, разрушающейся при механическом воздействии перегородкой, одна из камер заполнена водой, в которой размещены...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002689021
Дата охранного документа: 23.05.2019
Showing 11-20 of 128 items.
27.11.2014
№216.013.0c1c

Конденсационный шкаф рэа

Изобретение относится к системам отвода тепла от компьютерного оборудования, смонтированного внутри серверных или монтажных шкафов, в частности к конденсационному шкафу. Технический результат - обеспечение эффективности отвода тепла из объема шкафа. Достигается тем, что в конденсационном шкафу,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534508
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.01.2015
№216.013.2105

Термоэлектрический массажер

Изобретение относится к медицине, в частности к терапевтическим устройствам, предназначенным для стимуляции роста волос и лечения заболеваний кожи волосистой части головы. Термоэлектрический массажер состоит из алюминиевого корпуса с ручкой, в которой выполнены полость для размещения источника...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002539901
Дата охранного документа: 27.01.2015
10.02.2015
№216.013.21cc

Способ стерилизации персиков в персиковом соке с мякотью

Изобретение относится к пищевой промышленности. Способ включает трехступенчатый нагрев консервов в воде температурой 60, 80 и 100°C соответственно 5, 5 и 15-20 мин с последующим трехступенчатым охлаждением в воде в течение 5, 5 и 7 мин, при этом нагрев и охлаждение при температурах воды 60 и 80...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002540105
Дата охранного документа: 10.02.2015
20.02.2015
№216.013.2b7e

Способ формирования эмиттерной области транзистора

Изобретение относится к технологии полупроводниковых приборов и, в частности, может быть использовано для глубокой диффузии фосфора при формировании диффузионных кремниевых структур. Способ диффузии фосфора из твердого планарного источника включает формирование диффузионных кремниевых структур...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002542591
Дата охранного документа: 20.02.2015
20.02.2015
№216.013.2b7f

Выпрямитель переменного напряжения

Изобретение относится к электронике, в частности к средствам выпрямления переменного электрического напряжения. Целью изобретения является увеличение значения постоянного напряжения, генерируемого устройством. Выпрямитель переменного напряжения состоит из омической области, на которую подается...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002542592
Дата охранного документа: 20.02.2015
20.02.2015
№216.013.2b8d

Выпрямитель переменного напряжения

Изобретение относится к электронике, в частности к средствам выпрямления переменного электрического напряжения. Целью изобретения является увеличение значения постоянного напряжения, генерируемого устройством. Выпрямитель переменного напряжения состоит из омической области, на которую подается...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002542606
Дата охранного документа: 20.02.2015
20.02.2015
№216.013.2b8f

Выпрямитель переменного напряжения

Изобретение относится к электронике, в частности к средствам выпрямления переменного электрического напряжения. Целью изобретения является увеличение значения постоянного напряжения, генерируемого устройством. Выпрямитель переменного напряжения состоит из омической области, на которую подается...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002542608
Дата охранного документа: 20.02.2015
20.02.2015
№216.013.2b90

Выпрямитель переменного напряжения

Изобретение относится к электронике, в частности к средствам выпрямления переменного электрического напряжения. Целью изобретения является увеличение значения постоянного напряжения, генерируемого устройством. Выпрямитель переменного напряжения состоит из омической области, на которую подается...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002542609
Дата охранного документа: 20.02.2015
20.02.2015
№216.013.2b97

Выпрямитель переменного напряжения

Изобретение относится к электронике, в частности к средствам выпрямления переменного электрического напряжения. Целью изобретения является увеличение значения постоянного напряжения, генерируемого устройством. Выпрямитель переменного напряжения состоит из омической области, на которую подается...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002542616
Дата охранного документа: 20.02.2015
27.02.2015
№216.013.2c9b

Энергоэффективное охлаждающее устройство

Изобретение относится к системам охлаждения и теплоотвода, например к устройствам для охлаждения компонентов электронной аппаратуры. Технический результат - повышение энергоэффективности системы охлаждения. Устройство содержит светоизлучающий термомодуль с линейным расположением p-n-переходов,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002542887
Дата охранного документа: 27.02.2015
+ добавить свой РИД