×
10.10.2019
219.017.d444

Способ защиты кремниевых структур на основе свинцово-силикатного стекла

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, в частности к способам защиты поверхности кремниевой структуры от различных воздействий. Сущность способа защиты кремниевых структур на основе свинцово-силикатного стекла заключается в том, что на чистую поверхность кремниевой структуры наносят слой свинцово-силикатного стекла, состоящего из смеси, в состав которой входит: 50±5% окиси свинца - PbO; 30±5% окиси кремния - SiO; 8±2% окиси алюминия - AlO и 13±2% оксида лития - LiO. Процесс проводят при рабочей температуре - 700±50°С. Толщина слоя стекла составляет 0,8±0,2 мкм. Изобретение обеспечивает уменьшение температуры и длительности процесса.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов, в частности к способам защиты поверхности кремниевой структуры от различных воздействий. Если часть p-n-перехода, расположенная внутри полупроводникового кристалла, надежно защищена от внешних воздействий окружающей среды, то часть, выходящая на поверхность кристалла, не может без дополнительной защиты противостоять им. Поэтому от качества защиты поверхности полупроводниковой структуры с p-n-переходом зависят не только электрические параметры готовых изделий, но и их надежность, а также срок службы.

Известны способы защиты, сущность которых состоят в том, что поверхность кремниевой структуры защищают: эмалями, пленками окислов различных металлов, боросиликатными и др. стеклами [1].

Основными недостатками этих способов является высокая температура и длительность процесса.

Целью изобретения является достижение уменьшение температуры и длительности процесса.

Поставленная цель достигается использованием свинцово-силикатного стекла, состоящего из смеси в состав, которого входят: 50±5% окиси свинца -PbO; 30±5% окиси кремния -SiO2; 8±2% окиси алюминия -Al2O3 и 13±2% оксид лития -LiO.

Сущность способа заключается в том, что на чистую поверхность кремниевой структуры наносят слой свинцово-силикатного стекла, состоящего из смеси в состав, которого входят: 50±5% окиси свинца -PbO; 30±5% окиси кремния -SiO2; 8±2% окиси алюминия -Al2O3 и 13±2% оксид лития -LiO. Процесс проводят при рабочей температуре -700±50°С. Толщина стекла -0,8±0,2 мкм.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

Сущность изобретения подтверждается следующими примерами:

ПРИМЕР 1. Процесс проводят с предварительной очисткой поверхности кремниевой структуры в смеси «Каро» и перекисно-аммиачном (ПАР) растворе с последующей отмывкой в деионизованной воде при расходе воды 400÷600 л/ч. После чего проводят сушку в центрифуге. На чистую поверхность кремниевой структуры наносят слой защитного стекла, состоящий из смеси, в состав которого входят: 50±5% окиси свинца -PbO; 30±5% окиси кремния -SiO2; 8±2% окиси алюминия -Al2O3 и 13±2% оксид лития -LiO. Процесс проводят при рабочей температуре -1000±50°С. Толщина стекла -1,4±0,2 мкм.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

ПРИМЕР 2. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят при следующих режимах:

Температура рабочая -900±50°С.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

Толщина стекла -1,2±0,2 мкм.

ПРИМЕР 3. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят при следующих режимах:

Температура рабочая -800±50°.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

Толщина стекла -1,0±0,2 мкм.

ПРИМЕР 4. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят при следующих режимах:

Температура рабочая -700±50°С.

Контроль осуществляется с помощью микроскопа МИИ-4.

Толщина стекла -0,8±0,2 мкм.

Таким образом, предлагаемый способ отличается от прототипа тем, что защитный слой на основе свинцово-силикатного стекла, состоящего из смеси в состав, которого входят: 50±5% окиси свинца -PbO; 30±5% окиси кремния -SiO2; 8±2% окиси алюминия -Al2O3 и 13±2% оксид лития -LiO. Процесс проводят при рабочей температуре -700±50°С. Толщина стекла -0,8±0,2 мкм и способствует улучшению надежности приборов, а также уменьшению температуры и длительности процесса.

ЛИТЕРАТУРА

1. А.И. Курносов, В.В. Юдин. Технология производства полупроводниковых приборов. -М.: «Высшая школа». 1980. с. 400.

Способ защиты кремниевых структур на основе свинцово-силикатного стекла, отличающийся тем, что на поверхность кремниевой структуры наносят слой на основе свинцово-силикатного стекла, состоящего из смеси, в состав которой входит: 50±5% окиси свинца - PbO; 30±5% окиси кремния - SiO; 8±2% окиси алюминия - AlO и 13±2% оксид лития - LiO, при температуре - 700±50°С, где толщина стекла - 0,8±0,2 мкм.
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-10 of 42 items.
25.08.2017
№217.015.b64e

Способ производства морковного сока

Изобретение предназначено для использования в пищевой промышленности, а именно для производства консервированного сока из моркови. Способ включает предварительный нагрев измельченного сырья в СВЧ-камере в течение 1,0-1,5 мин до 90-95°С, с последующей протиркой, смешиванием с сахарным сиропом,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002614811
Дата охранного документа: 29.03.2017
25.08.2017
№217.015.b666

Способ производства компота из вишни с ксилитом

Изобретение относится к пищевой промышленности, а именно к консервированию компота из вишни с ксилитом. Способ характеризуется тем, что банки с расфасованными и залитые сиропом плодами помещают в СВЧ-камеру и в течение 1,5-2,0 мин нагревают СВЧ-энергией частотой 2400±50 МГц до 82-83°С. После...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002614810
Дата охранного документа: 29.03.2017
26.08.2017
№217.015.ded4

Способ производства компота из айвы

Способ относится к консервной промышленности. Плоды после расфасовки в банки подвергают нагреву в течение 100 с посредством циклической подачи перегретого водяного пара температурой 105-110°C в банки. Продолжительность циклов подачи пара и его выдержки составляет 10 с и 10 с соответственно....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002624945
Дата охранного документа: 11.07.2017
26.08.2017
№217.015.dee5

Способ производства компота из яблок

Способ относится к консервной промышленности. Плоды после расфасовки в банки подвергают нагреву в течение 100 с посредством циклической подачи перегретого водяного пара температурой 105-110°C в банки. Продолжительность циклов подачи пара и его выдержки составляет 10 с и 10 с соответственно....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002624946
Дата охранного документа: 11.07.2017
26.08.2017
№217.015.dee9

Способ производства компота из черешни

Способ относится к консервной промышленности. Плоды после расфасовки в банки подвергают нагреву в течение 100 с посредством циклической подачи перегретого водяного пара температурой 105-110°C в банки. Продолжительность циклов подачи пара и его выдержки составляет 10 с и 10 с соответственно....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002624943
Дата охранного документа: 11.07.2017
26.08.2017
№217.015.deff

Способ производства компота из яблок

Изобретение относится к консервной промышленности, а именно к способам производства компота из яблок в банках СКО 1-82-500. Способ характеризуется тем, что плоды после мойки, инспекции, калибровки, резки и очистки расфасовывают в банки и заливают сиропом. Затем банки с продуктом помещают в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002624955
Дата охранного документа: 11.07.2017
26.08.2017
№217.015.ec1e

Способ производства компота из черешни

Изобретение относится к пищевой промышленности, а именно к консервированию компота из черешни. Способ характеризуется тем, что банки с расфасованными и залитыми сиропом плодами помещают в СВЧ-камеру и в течение 1,5-2,0 мин нагревают СВЧ-энергией частотой 2400±50 МГц до 82-83°С. После чего...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002628446
Дата охранного документа: 16.08.2017
20.01.2018
№218.016.137a

Устройство контроля солеотложения

Изобретение относится к теплоэнергетике и может быть использовано для определения толщины солеотложения в оборудовании химических, нефтехимических предприятий, а также тепловых, геотермальных, атомных энергоустановок. Устройство включает цилиндрический корпус с резьбой, внутри которого...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634553
Дата охранного документа: 31.10.2017
13.02.2018
№218.016.1e9d

Способ испытания балок на действие сосредоточенного изгибающего момента

Изобретение относится к способам испытания балок. Сущность: изготавливается рычажная установка привариванием к металлической стойке металлических кронштейнов, на концах кронштейнов вырезаются овальные отверстия и устанавливаются валы со шкивами, рычажная установка жестко закрепляется в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002641015
Дата охранного документа: 15.01.2018
10.05.2018
№218.016.4870

Устройство для получения пресной воды из атмосферного воздуха

Изобретение относится к устройствам для получения пресной воды из водяных паров, содержащихся в окружающем атмосферном воздухе, и может быть использовано для получения пресной воды преимущественно в прибрежной с морями местности. Устройство содержит охлаждаемую перегородку, разделяющую зону...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002651294
Дата охранного документа: 19.04.2018
Showing 1-10 of 128 items.
10.10.2013
№216.012.7182

Реанимационный комплекс для новорожденных

Изобретение относится к медицине, в частности к неонатологии, и предназначено для проведения мероприятий по восстановлению жизненно важных функций новорожденных. Техническим результатом является повышение эффективности проведения восстановительных процедур новорожденного за счет обеспечения его...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002494715
Дата охранного документа: 10.10.2013
20.02.2014
№216.012.a1e2

Устройство для получения талой воды

Изобретение относится к устройствам для получения талой воды, в частности для получения талой воды из морской методом вымораживания. Устройство включает корпус, в котором размещены термостатированная рабочая емкость с крышкой и отверстием для слива воды, внутри рабочей емкости находится сетка с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507157
Дата охранного документа: 20.02.2014
20.02.2014
№216.012.a3aa

Каскадное светоизлучающее термоэлектрическое устройство

Изобретение относится к системам охлаждения и теплоотвода, например к устройствам для охлаждения компьютерного процессора. Технический результат - получение сверхнизких температур в процессе охлаждения и теплоотвода. Это достигается тем, что применяются светоизлучающие термомодули....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507613
Дата охранного документа: 20.02.2014
20.02.2014
№216.012.a3bd

Светотранзистор с высоким быстродействием

Изобретение относится к электронным компонентам микросхем. Светотранзистор с высоким быстродействием, выполненный в виде биполярного транзистора с p-n-p или n-p-n-структурой, согласно изобретению в нем p-n-переход, на котором электроны переходят из p зоны в n зону, сформирован в виде...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507632
Дата охранного документа: 20.02.2014
27.07.2014
№216.012.e3f3

Способ изготовления бсит-транзистора с охранными кольцами

Использование: для изготовления БСИТ-транзистора с охранными кольцами. Сущность изобретения заключается в том, что выполняют формирование в полупроводниковой подложке на эпитаксиальном обедненном слое первый тип проводимости, формирование защитного фоторезистивного слоя, формирование карманов...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002524145
Дата охранного документа: 27.07.2014
27.07.2014
№216.012.e3f5

Способ защиты поверхности кристаллов p-n переходов

Изобретение относится к технологии изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем, в частности к способам защиты кристаллов p-n-переходов. Техническим результатом изобретения является достижение стабильности и уменьшение температуры и длительности процесса. В способе защиты...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002524147
Дата охранного документа: 27.07.2014
27.07.2014
№216.012.e542

Тепловая труба с применением трубчатых оптоволоконных структур

Изобретение относится к устройствам для отвода тепла от компонентов радиоэлектроники с высокой мощностью тепловыделений, в частности к тепловым трубам, и может использоваться в различных областях электронной промышленности. Тепловая труба с применением трубчатых оптоволоконных структур,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002524480
Дата охранного документа: 27.07.2014
27.11.2014
№216.013.0b48

Способ стерилизации абрикосов в абрикосовом соке с мякотью

Изобретение относится к консервной промышленности и может быть использовано при стерилизации фруктовых диетических консервов «Абрикосы в абрикосовом соке с мякотью» в банках 1-82-500. Способ характеризуется тем, что после закатки банки устанавливают в носитель, обеспечивающий механическую...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534296
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0bdc

Способ удаления окисла с поверхности кремниевых пластин

Изобретение относится к технологии изготовления силовых кремниевых транзисторов, в частности к способам обработки обратной стороны кремниевых пластин перед процессом напыления. Изобретение обеспечивает полное удаление остатков окисла с поверхности кремниевых пластин, уменьшение времени...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534444
Дата охранного документа: 27.11.2014
27.11.2014
№216.013.0be1

Способ формирования контакта к коллекторной области кремниевого транзистора

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. Изобретение обеспечивает уменьшение температуры посадки кристалла на основание корпуса, повышение надежности контакта кристалла с основанием корпуса и применение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534449
Дата охранного документа: 27.11.2014
+ добавить свой РИД