×
01.03.2019
219.016.cb1f

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение может применяться в химии и электронике. Кремниевые стержни нагревают до температуры 1100÷1200°С, прокаливают в среде водорода и травят хлористым водородом, образовавшимся в результате реакции тетрахлорида кремния и водорода при мольном соотношении (2÷1):1. При приготовлении парогазовой смеси в испаритель вводят водород, тетрахлорид кремния и трихлорсилан с мольным отношением водорода к хлорсиланам (8÷10):1 и поддерживают давление 0,6÷0,8 МПа. Проводят водородное восстановление при температуре 1100÷1200°С и гидрируют тетрахлорид кремния с образованием в зоне реакции дополнительного количества трихлорсилана. Отходящую парогазовую смесь подвергают ступенчатой конденсации при температуре минус 50÷75°С с выводом хлорсиланов на ректификационное разделение и очистку от высококипящих хлорсиланов. Очищенные хлорсиланы (тетрахлорсилан и трихлорсилан) направляют в испаритель на приготовление парогазовой смеси, а водород и хлористый водород направляют на сорбционное разделение с растворением хлористого водорода в абсорбенте и выделение водорода. Водород после компримирования до 0,8÷1,0 МПа направляют на приготовление парогазовой смеси. Предложенное изобретение позволяет увеличить выход трихлорсилана и поликристаллического кремния при снижении энергозатрат. 1 ил.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к химической технологии, а именно к способам получения поликристаллического кремния из хлорсиланов по замкнутому технологическому циклу с выделением хлорсиланов, водорода, хлористого водорода, полисиланхлоридов.

Известен "Способ получения исходного поликристаллического кремния в виде широких пластин с малой концентрацией примесей" (см. патент RU №2222649 от 27.01.04, МПК7 C01B 33/02), включающий размещение в реакторе химически инертной к пару или парогазовой смеси плоской основы с удельным сопротивление от 1·10-3 до 50 Ом·см, подачу потока моносилана или парогазовой смеси силана с водородом, нагревание основы протекающим током, осаждение на нее кремния. Затем из реактора извлекают плоскую основу и срезают с нее кремний с сохранением осажденного слоя толщиной не менее 2 мм, очищают поверхность среза шлифованием, травлением и отмывкой в деионизованной воде. Для снижения неконтролируемого загрязнения получаемого материала плоские основы предварительно обрабатывают в течение 1 часа при t=1200÷1400°C, после чего покрывают слоем кремния, восстановленного из трихлорсилана водородом, толщиной не менее 1 мм, а в качестве плоских основ для осаждения используют чистые пластины или полосы кремния, срезанные после осаждения, травления и отмывки.

В известном способе не решаются вопросы разделения и использования компонентов парогазовой смеси после осаждения кремния из моносилана или трихлорсилана, не рассмотрены режимы восстановления кремния.

Известен способ (см. патент RU №2136590 от 12.10.98, МПК7 C01B 33/03) получения поликристаллического кремния водородным восстановлением трихлорсилана на кремниевых стержнях, включающий очистку исходных компонентов - водорода и трихлорсилана, приготовления парогазовой смеси для восстановления путем барботажа нагретого водорода через слой трихлорсилана с мольным отношением водорода к трихлорсилану (3,0÷3,5):1.

Отходящую после восстановления парогазовую смесь перед фракционной конденсацией подвергают жидкостному компримированию для создания в системе аппаратов давления, необходимого для рециркуляционной подачи парогазовой смеси в реактор восстановления, при этом жидкостное компримирование проводят с непрерывным отводом образующегося тепла с созданием давления в испарителе 1,2÷4,7 ати, в реакторе восстановления 0,7÷1,2 ати, при вводе на жидкостное компримирование 0,2÷0,3 ати и на выходе из системы конденсации 1,7÷2,0 ати. Полученные после фракционной конденсации хлорсиланы подвергают ректификации с выделением в отдельный продукт трихлорсилана и тетрахлорида кремния. Трихлорсилан возвращают на стадию приготовления парогазовой смеси для восстановления, а тетрахлорид кремния направляют на стадию жидкостного компримирования в качестве рабочей жидкости. Конденсация хлорсиланов и хлористого водорода осуществляется в диапазоне температур от 0 до минус 195°С.

Недостатками известного способа является вывод из технологической схемы тетрахлорида кремния для отвода тепла из компрессора, что снижает суммарное извлечение кремния. Конденсация хлорсиланов и выделение из парогазовой смеси хлористого водорода с помощью жидкого азота требует больших энергетических затрат.

Аналогом заявленного изобретения по совокупности признаков является «Способ получения поликристаллического кремния (см. патент RU №2278075 от 27.01.2006, МПК C01B 33/03), включающий приготовление исходной парогазовой смеси путем барботажа водорода через слой трихлорсилана при поддержании в испарителе постоянной температуры и давления, компримирования компонентов отходящей из реактора восстановления парогазовой смеси с созданием давления в замкнутой системе аппаратов, обеспечивающих рециркуляцию непрореагировавших трихлорсилана и водорода, фракционную конденсацию хлорсиланов и хлористого водорода, разделение ректификацией трихлорсилана и тетрахлорида кремния из продуктов конденсации, разделение газообразных компонентов хлористого водорода и водорода, синтез трихлорсилана из полученного тетрахлорида кремния и рециркуляцию синтезированного трихлорсилана на стадию приготовления парогазовой смеси для его восстановления до поликристаллического кремния. При приготовлении исходной парогазовой смеси в испарителе поддерживают температуру и давление, соответствующие получению мольного соотношения водорода и трихлорсилана (3,6÷6,0):1, отходящую после восстановления трихлорсилана парогазовую смесь охлаждают до температуры минус 45÷47°С с конденсацией основного количества тетрахлорида кремния, частично трихлорсилана и других хлорсиланов, компримирование отходящей парогазовой смеси после отделения конденсата тетрахлорида кремния ведут до давления 7,5÷8,0 ати при поддержании температуры минус 45÷47°С с конденсацией основного количества тетрахлорида кремния и других хлорсиланов, из полученного после ректификации тетрахлорида кремния гидрированием водородом получают трихлорсилан. Процесс гидрирования ведут при приготовлении исходной смеси в испарителе путем барботажа водорода через слой тетрахлорида кремния при температуре и давлении, обеспечивающих получение мольного отношения водорода и тетрахлорида кремния (1÷3):1, затем последовательно осуществляют разделение компонентов отходящей после гидрирования парогазовой смеси, сначала конденсируют тетрахлорид кремния и возвращают его на стадию приготовления исходной смеси для гидрирования, затем парогазовую смесь компримируют, конденсируют трихлорсилан и возвращают на стадию приготовления исходной смеси для водородного восстановления поликристаллического кремния из трихлорсилана. Хлористый водород выделяют абсорбцией трихлорсиланом и направляют на получение трихлорсилана. Водород выделяют адсорбцией на активированном угле и возвращают на приготовление исходящей смеси для гидрирования тетрахлорида кремния водородом, гидрирование и разделение компонентов отходящей после гидрирования парогазовой смеси проводят в едином рециркуляционном контуре, для создания которого исходный и регенерированный водород направляют в испаритель под давлением, создаваемым в системе аппаратов компримированием отходящей после гидрирования парогазовой смеси.

К причинам, препятствующим достижению указанного ниже технического результата при использовании известного способа, относятся сравнительно низкий выход трихлорсилана при гидрировании тетрахлорида кремния, повышенные энергозатраты на конденсацию и ректификацию хлорсиланов.

Целью изобретения является повышение выхода трихлорсилана в процессе получения поликристаллического кремния и снижение энергозатрат.

Технический результат заключается во введении тетрахлорида кремния в зону реакции с последующим образованием дополнительного количества трихлорсилана и увеличением выхода кремния при совмещении в одном аппарате процессов восстановления кремния и гидрирования тетрахлорида кремния.

Указанный технический результат достигается при использовании заявляемого способа получения поликристаллического кремния, включающего приготовление парогазовой смеси трихлорсилана и водорода в испарителе под давлением посредством барботажа водорода через слой трихлорсилана, водородное восстановление на кремниевых стержнях, конденсацию парогазовой смеси, ректификацию хлорсиланов, разделение водорода и хлористого водорода. Кремниевые стержни нагревают до температуры 1100÷1200°С, прокаливают в среде водорода и травят хлористым водородом, образовавшимся в результате реакции тетрахлорида кремния и водорода при мольном отношении (2÷1):1. При приготовлении парогазовой смеси в испаритель вводят водород, тетрахлорид кремния и трихлорсилан с мольным отношением водорода к хлорсиланам (8÷10):1 и поддерживают давление 0,6÷0,8 МПа. Водородное восстановление проводят при температуре 1100÷1200°С, гидрируют тетрахлорид кремния с образованием в зоне реакции дополнительного количества трихлорсилана. Ступенчатую конденсацию отходящей из реактора газовой смеси проводят при температуре минус 50÷75°С с выводом хлорсиланов на ректификационное разделение и очистку от высококипящих хлорсиланов. Очищенные хлорсиланы направляют в испаритель на приготовление парогазовой смеси. Водород и хлористый водород, образовавшиеся в процессе реакции водородного восстановления хлорсиланов, направляют на сорбционное разделение с растворением хлористого водорода в абсорбенте, выводом его из процесса и выделением водорода, который после компримирования до 0,85÷1,0 МПа направляют на приготовление парогазовой смеси.

При исследовании отличительных признаков способов получения поликристаллического кремния не выявлено каких-либо известных аналогичных решений, касающихся их использования или реализации путем проведения реакции восстановления из трихлорсилана водородом и гидрирования тетрахлорида кремния до трихлорсилана в одном реакторе.

Проведенный заявителем анализ уровня развития техники по имеющимся патентным и научно-техническим источникам информации позволил установить, что аналог, характеризующийся признаками, идентичным всем существенным признакам изобретения, заявителем не обнаружен.

Определение из выявленных аналогов прототипа как наиболее близкого по совокупности существенных по отношению к усматриваемому заявителем техническому результату отличительных признаков в заявленном способе, изложенных в формуле изобретения по мнению заявителя позволяет сделать вывод о соответствии данного изобретения условию «новизна».

Результаты дополнительного поиска известных решений для выявления признаков, совпадающих с отличительными признаками заявленного способа, показали, что заявленное изобретение не вытекает для специалиста явным образом из известного уровня техники, поскольку из определенного заявителем уровня техники не выявлено влияние преобразований, предусматриваемых существенными признаками заявленного изобретения, на достижения технического результата. Поэтому заявитель предполагает соответствие данного изобретения критерию «изобретательский уровень».

Пример осуществления способа.

На чертеже представлена блок-схема производства поликристаллического кремния по предлагаемому способу.

В реактор (3) устанавливают кремниевые стержни, затем подают водород, прошедший редуцирование (9) до требуемого давления и прокаливают стержни при температуре 1100÷1200°С в течение одного часа. После прокаливания стержней производят их травление хлористым водородом, образовавшимся в результате реакции взаимодействия тетрахлорида кремния и водорода при мольном отношении (1÷2):1 при температуре 1100÷1200°С. В реакторе водородного восстановления (3) на разогретых до температуры 1100÷1200°С кремниевых стержнях производят гидрирование тетрахлорида кремния до трихлорсилана с последующим образованием дихлорида кремния, его разложение и осаждение поликристаллического кремния на кремниевых стержнях. Восстановление трихлорсилана и гидрирование тетрахлорида кремния производят в реакторе (3) с водоохлаждаемыми стенками водой с температурой 90÷95°С, которая циркулирует в замкнутом контуре. Отходящая из реактора (3) парогазовая смесь перед блоком конденсации (4) предварительно охлаждается водой в теплообменнике, затем охлаждение до минус 75°С достигается за счет последовательного охлаждения теплообменников блока этиленгликолем до температуры минус 15°С, минус 40, и фреоном минус 30 до температуры минус 80°С. Указанные теплоносители охлаждаются соответствующими холодильными машинами. Сконденсированные хлорсиланы при температуре минус 50÷75°С и давлении 0,6÷0,8 МПа направляют на ректификацию (5) с разделением и очисткой их от высококипящих хлорсиланов. Очищенные хлорсиланы после компримирования (6) возвращаются на установку водородного восстановления. Отходящая из блока конденсация парогазовая смесь, состоящая в основном из водорода и хлористого водорода, направляется на абсорбер (7) установки регенерации водорода для выделения водорода из парогазовой смеси с последующим возвратом его в технологическую схему получения поликристаллического кремния после компримирования (8). Очищенный трихлорсилан и тетрахлорид кремния под давлением 0,6÷0,8 МПа направляют в испаритель (2) для приготовления исходной парогазовой смеси. Указанное давление обеспечивают компрессором (1) или подачей газообразного азота под давлением 0,6÷0,8 МПа в емкость с трихлорсиланом или тетрахлоридом кремния, где происходит выдача хлорсиланов.

Таким образом, заявленный способ получения поликристаллического кремния обеспечивает по сравнению с известными реакциями: увеличение выхода трихлорсилана и поликристаллического кремния на 20÷25%; снижение энергозатрат в 1,5÷1,7 раз на отвод тепла при конденсации хлорсиланов; снижение энергопотребления в 1,4÷1,5 раза при ректификации; снижаются потери хлорсиланов и сокращается количество циклов и объем используемых хлорсиланов, что приводит к снижению потребления на 18÷20% исходного трихлорсилана при получении поликристаллического кремния.

Способполученияполикристаллическогокремния,включающийприготовлениепарогазовойсмеситрихлорсиланаиводородависпарителеподдавлениемпосредствомбарботажаводородачерезслойтрихлорсилана,водородноевосстановлениенакремниевыхстержнях,конденсациюпарогазовойсмеси,ректификациюхлорсиланов,разделениеводородаихлористоговодорода,отличающийсятем,чтокремниевыестержнинагреваютдотемпературы1100÷1200°С,азатемпроизводятпрокалкуихвсредеводорода,травлениехлористымводородом,образовавшимсяврезультатереакциитетрахлоридакремнияиводородапримольномсоотношении(2÷1):1,приприготовлениипарогазовойсмесивиспарительвводятводород,тетрахлоридкремнияитрихлорсилан,которыеобеспечиваютмольноесоотношениеводородаихлорсиланов(8÷10):1иподдерживаютдавление0,6÷0,8МПа,водородноевосстановлениепроводятпритемпературе1100÷1200°С,гидрируюттетрахлоридкремниясобразованиемвзонереакциидополнительногоколичестватрихлорсилана,проводятступенчатуюконденсациюотходящейизреакторапарогазовойсмесипритемпературеминус50÷75°С,свыводомхлорсилановнаректификационноеразделениеиочисткуотвысококипящиххлорсиланов,которыевыводятизпроцесса,очищенныетрихлорсиланитетрахлоридкремниянаправляютвиспарительнаприготовлениепарогазовойсмеси,аводородихлористыйводород,образовавшийсявпроцессереакцииводородноговосстановленияхлорсилановигидрированиятетрахлоридакремния,направляютнасорбционноеразделениесрастворениемхлористоговодородавабсорбентеивыделениемводорода,которыйпослекомпримированиядо0,85÷1,0МПанаправляютнаприготовлениепарогазовойсмеси.
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-10 of 68 items.
10.02.2013
№216.012.24b6

Способ отбора проб радиоактивного осадка из емкостей-хранилищ и устройство для его осуществления

Группа изобретений относится к атомной промышленности и предназначена для отбора проб осадка высокого уровня активности из емкостей-хранилищ радиоактивных отходов радиохимических производств. Способ отбора проб радиоактивного осадка из емкостей-хранилищ включает бескерновое бурение скважины,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474900
Дата охранного документа: 10.02.2013
20.03.2013
№216.012.304c

Чехол для размещения и хранения отработавших тепловыделяющих сборок реактора ввэр-1000

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к средствам для хранения отработавших тепловыделяющих сборок (ОТВС), а более конкретно - к средствам для хранения дефектных ОТВС реактора ВВЭР-1000 и предназначено для использования в хранилищах отработанного ядерного топлива на заводах по...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002477899
Дата охранного документа: 20.03.2013
20.08.2013
№216.012.620e

Способ обращения с отработавшим ядерным топливом реактора рбмк-1000 и устройства для его осуществления

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к обращению с отработавшим ядерным топливом (ОЯТ), а более конкретно к загрузке, транспортированию, выгрузке и размещению ампул с пучками тепловыделяющих элементов реактора РБМК-1000 в пеналах сухого хранилища. Технический результат -...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490734
Дата охранного документа: 20.08.2013
20.08.2013
№216.012.6210

Устройство для размыва осадков и перемешивания

Изобретение относится к атомной промышленности в части переработки радиоактивных отходов, а именно к устройствам для размыва струями жидкости и растворения пульп и осадков, скопившихся на дне емкостей-хранилищ жидких радиоактивных отходов высокого уровня активности, перевода нерастворимой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002490736
Дата охранного документа: 20.08.2013
27.08.2013
№216.012.65ac

Способ обращения с отработавшим ядерным топливом реактора рбмк-1000 и устройства для его осуществления

Группа изобретений относится к ядерной технике, в частности к обращению с отработавшим ядерным топливом, а именно к загрузке, транспортированию, выгрузке и размещению ампул с пучками тепловыделяющих элементов (ПТ) реактора РБМК-1000 в пеналах сухого хранилища. Технический результат - повышение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002491665
Дата охранного документа: 27.08.2013
20.09.2013
№216.012.6d43

Оборотный пенал временного хранения ампул с пучками отработавших тепловыделяющих элементов

Изобретение относится к атомной энергетике, в частности к средствам для обеспечения безопасности при перегрузке ампул, загруженных пучками отработавших тепловыделяющих элементов (твэлов) реактора РБМК-1000, и предназначено для использования в «сухом» хранилище отработавшего ядерного топлива....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002493622
Дата охранного документа: 20.09.2013
20.09.2013
№216.012.6d44

Пульсационный клапанный погружной насос

Изобретение относится к атомной промышленности в части переработки радиоактивных отходов, а именно к устройствам для растворения и размыва струями осадка. В пульсационном клапанном погружном насосе, включающем корпус, пульсопровод, впускной шаровой клапан с ограничителем подъема шара,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002493623
Дата охранного документа: 20.09.2013
27.11.2013
№216.012.863e

Устройство для подъема и перемещения ампул с пучками отработавших тепловыделяющих элементов

Изобретение относится к ядерной технике, в частности к средствам для обеспечения безопасности при перегрузке ампул с пучками отработавших тепловыделяющих элементов (твэлов) реактора РБМК-1000 в пеналы, и предназначено для использования в камере комплектации пеналов (ККП) сухого хранилища или на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002500044
Дата охранного документа: 27.11.2013
27.11.2013
№216.012.863f

Герметичный пенал хранения ампул с пучками отработавших тепловыделяющих элементов

Изобретение относится к атомной энергетике, в частности к средствам для хранения отработавших ядерных топливных элементов реактора РБМК-1000, а более конкретно к средствам для обеспечения безопасности при перегрузке ампул, загруженных пучками отработавших тепловыделяющих элементов (твэлов)...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002500045
Дата охранного документа: 27.11.2013
27.01.2014
№216.012.9ce5

Ампула для отработавшей тепловыделяющей сборки

Изобретение относится к атомной энергетике, в частности к обращению с отработавшим ядерным топливом, а более конкретно к ампуле, в которой размещаются пучки твэлов отработавшей тепловыделяющей сборки реактора РБМК-1000, для последующего размещения и транспортировки в транспортном упаковочном...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002505871
Дата охранного документа: 27.01.2014
Showing 1-10 of 45 items.
10.02.2013
№216.012.24b1

Способ экстракционной переработки высокоактивных отходов с фракционированием радионуклидов

Изобретение относится к области ядерной энергетики, а именно к области переработки отработавшего ядерного топлива. Способ экстракционной переработки высокоактивных отходов с фракционированием радионуклидов, включающий обработку растворов высокоактивных отходов гидроксидами или карбонатами...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474895
Дата охранного документа: 10.02.2013
10.02.2013
№216.012.24b4

Способ переработки оксалатных маточных растворов и пульпообразных отходов, содержащих трансурановые элементы

Изобретение относится к области переработки жидких и пульпообразных радиоактивных отходов (РАО), образующихся при регенерации облученного ядерного топлива (ОЯТ), и может быть использовано в радиохимической промышленности. Способ переработки оксалатных маточных растворов радиохимического...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474898
Дата охранного документа: 10.02.2013
10.02.2013
№216.012.24b6

Способ отбора проб радиоактивного осадка из емкостей-хранилищ и устройство для его осуществления

Группа изобретений относится к атомной промышленности и предназначена для отбора проб осадка высокого уровня активности из емкостей-хранилищ радиоактивных отходов радиохимических производств. Способ отбора проб радиоактивного осадка из емкостей-хранилищ включает бескерновое бурение скважины,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474900
Дата охранного документа: 10.02.2013
20.02.2013
№216.012.26cb

Способ получения поликристаллического кремния

Изобретение относится к технологии полупроводниковых материалов и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния. Способ включает приготовление парогазовой смеси (ПГС) из хлорсиланов и водорода в испарителе под давлением посредством барботажа водорода через слой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475451
Дата охранного документа: 20.02.2013
10.12.2013
№216.012.8a60

Способ дезактивации материалов

Изобретение относится к ядерной технике и технологии, к дезактивации различных материалов, загрязненных радионуклидами. В заявленном способе дезактивацию проводят в две стадии: на первой стадии в разогретую до 110°C камеру дезактивации с загрязненными материалами подают пар, активированный...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002501106
Дата охранного документа: 10.12.2013
10.04.2014
№216.012.afce

Контейнер для транспортирования отработавшего ядерного топлива

Изобретение относится к контейнерам для транспортирования и временного хранения отработавшего ядерного топлива (ОЯТ) атомных электростанций (АЭС) в виде отработавших тепловыделяющих сборок (ОТВС). Контейнер содержит металлический корпус, включающий комингс с закрепленными на нем днищем и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002510721
Дата охранного документа: 10.04.2014
20.04.2014
№216.012.b8d0

Способ экстракционного извлечения урана и плутония

Изобретение относится к области ядерной энергетики, в частности к области переработки отработавшего ядерного горючего, и может быть использовано в технологической схеме переработки ОЯТ. В заявленном изобретении извлечение урана и плутония в раствор трибутилфосфата в инертном разбавителе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002513040
Дата охранного документа: 20.04.2014
20.05.2014
№216.012.c338

Способ извлечения металлов из силикатных шлаков

Изобретение относится к способу извлечения металлов, в частности редкоземельных металлов и марганца, из силикатных шлаков. Способ включает измельчение шлака и выщелачивание. Для предотвращения образования нефильтруемых пульп, обусловленных гелеобразованием кремнекислоты, шлак предварительно...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515735
Дата охранного документа: 20.05.2014
20.09.2014
№216.012.f466

Способ кристаллизационного выделения и очистки гексагидрата нитрата уранила и устройство для его осуществления

Изобретение относится к технологии кристаллизационного выделения и очистки продуктов. Заявленный способ кристаллизационного выделения и очистки гексагидрата нитрата уранила включает непрерывную кристаллизацию гексагидрата нитрата уранила из концентрированного азотнокислого раствора нитрата...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002528399
Дата охранного документа: 20.09.2014
27.12.2014
№216.013.1399

Чехол для размещения и хранения отработавших тепловыделяющих сборок реактора рбмк-1000

Изобретение относится к ядерной технике, а именно к дистанционирующим устройствам, в которых размещаются изделия с установленными в них разделанными на пучки отработавшими топливными элементами (ПТ) реактора РБМК-1000 во время их транспортирования и хранения в контейнерах. Чехол предназначен...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002536441
Дата охранного документа: 27.12.2014
+ добавить свой РИД