×
25.08.2017
217.015.a5da

Многопроходный лазерный усилитель на дисковом активном элементе

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Многопроходный лазерный усилитель на дисковом активном элементе содержит активный элемент и две оптические системы для переноса изображения с лазерного активного элемента обратно на лазерный активный элемент. В усилителе угол отклонения нормали активного элемента от оптической оси первой оптической системы, а также угол между нормалью к лазерному активному элементу и осью второй оптической системы и угол падения входного лазерного излучения на лазерный активный элемент выбраны таким образом, что количество проходов лазерного излучения через активный элемент, полученное при помощи первой оптической системы, уменьшается по сравнению с максимально возможным N. Технический результат заключается в обеспечении устойчивости к вибрациям, повышении порога самовозбуждения, увеличении эффективности извлечения запасённой энергии. 2 ил.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к лазерной технике и может быть использовано для эффективного усиления непрерывного и импульсного лазерного излучения.

Одним из основных направлений развития современного лазеростроения является увеличение средней мощности излучения как в непрерывном, так и в импульсно-периодическом режиме. Одной из главных проблем, ограничивающих среднюю мощность, является тепловыделение в активных элементах, приводящее к негативным тепловым эффектам: тепловая линза и термодеполяризация (см., например, Мезенов, А.В. Термооптика твердотельных лазеров / А.В. Мезенов, Л.Н. Сомс, А.И. Степанов. - Л.: Машиностроение, Ленингр. отд., 1986. - 199 с; Koechner, W. Solid-state laser engineering / W. Koechner. - Berlin:Springer, 1999), а также увеличение средней по объему температуры, следствием чего могут быть расширение и смещение спектральной линии, уменьшение сечения перехода активного элемента (см., например, Bass, M. The temperature dependence of Nd3+ doped solid-state lasers / M. Bass, L. Weichman, S.Vigil, B.K. Brickeen //IEEE J.Quan. Electron. 2003. V. 39. P. 741-748; Rapaport, A. Temperature dependence of the 1.06-mm stimulated emission cross section of neodymium in YAG and in GSGG / A. Rapaport Α., Ζ. Zha, G. Xiao, A. Howard, M.Bass // Appl. Opt. 2002. V. 41. P. 7052.; Dong, J. Dependence of the Yb3+ emission cross section and lifetime on temperature and concentration in yttrium aluminum garnet / J. Dong, M.Bass, Y. Mao, P. Deng, F. Gan // J. Opt. Soc. Am. B. 2003. V. 20. P. 1975). Перспективным решением данной проблемы является использование активных элементов в форме тонких дисков. Большое отношение площади поверхности к объему позволяет эффективно отводить тепло, а небольшая длина взаимодействия излучения с активным элементом уменьшает самофокусировку. Стандартная схема дискового лазера представлена в работе Giesen, A. Scalable concept for diode-pumped high-power solid-state lasers / A Giesen, H Hügel, A Voss, К Wittig, U Brauch, et al. //Appl.Phys. В. 1994. V. 58. P. 365-372. На сегодняшний день получена средняя мощность излучения с одного диска 10 кВт в многомодовом режиме и 4 кВт в одномодовом (Gottwald, Τ Recent developments in high power thin disk lasers at TRUMPF Laser / Τ Gottwald, V Kuhn, SS Schad, С Stolzenburg, A Killi, et al. (2013) // SPIE Security+Defence. 2013).

Одной из основных проблем активных элементов с малым аспектным соотношением (отношением длины к диаметру) является небольшой относительно стержневой геометрии коэффициент усиления излучения за один проход. В связи с этим возникает необходимость разработки различных оптических схем усилителей с большим количеством проходов через активный элемент. Существует целый ряд многопроходных лазерных усилителей, применяемых для решения данной задачи (см., например, Multipass light amplifier: patent US 5546222: H01S 3/23; H01S 5/40; H01S 5/50; H01S 5/00 / H. Plaessmann, W.M. Grossman, Т.E. Olson; Assignee: Lightwave Electronics Corporation (Mountain View, CA). - Appl. No.: 08/079,640; Filed: 18.06.1993; Publ. 13.08.1996. - 30 p., 3 fig. или Laser amplifier system: application WO 2012150257 A1: H01S 3/06; H01S 3/094 / A. Giesen, M. Larionov, K. Schuhmann; Assignee: Deutsches Zentrum Fuer Luft - und Raumfahrt E.V.; Dausinger & Giesen GMBH; Giesen, Adolf.; Larionov, Mikhail,; Schuhmann, Karsten. - Priority number(s): DE 20111075274; Filed: 05.04.2011; Publ. 08.11.2012. - 47 p., 14 fig.)

Наиболее близким по технической сущности заявляемому изобретению является частный случай реализации многопроходного лазерного усилителя с двойным переносом изображения, описанный в патенте Multi-pass optical system for a pump laser: United States Patent Application 2012/0212804 A1, 23.08.2012, Sarkisyan; Samvel et al. - 80p, FIGS. 49A-C, взятый за прототип.

В данном усилителе при помощи первой оптической системы (фиг. 49, поз. 5701 и 5702) реализуется набор проходов лазерного излучения через активный элемент с базовым количеством проходов лазерного излучения через активный элемент (фиг. 49, поз. 5715-1), определяемым апертурой первой оптической системы и диаметром пучка усиливаемого лазерного излучения (здесь и далее под базовым количеством проходов лазерного излучения через активный элемент подразумевается количество проходов, полученное при помощи только первой оптической системы вплоть до того момента, как излучение попадает во вторую оптическую систему). При помощи второй оптической системы (фиг. 49, поз. 5703 и 5705) удается значительно увеличить количество проходов, насколько это позволяют апертуры первой и второй оптических систем. Основными достоинствами усилителя являются большое количество проходов лазерного излучения через активный элемент, устойчивость к вибрациям и хорошее качество лазерного излучения, достигаемое за счет переноса изображения с активного элемента снова на активный элемент на каждом проходе лазерного излучения через активный элемент. Основным недостатком усилителя является появление эффекта самовозбуждения лазерного усилителя, начиная с некоторого количества проходов лазерного излучения через активный элемент, что не позволяет эффективно извлекать запасенную энергию из активного элемента. При этом еще необходимо отметить, что в предложенной схеме происходит фокусирование излучения параболическим зеркалом (фиг. 49, поз. 5702) на плоское зеркало (фиг. 49, поз. 5705), что на практике приведет к оптическому пробую плоского зеркала и выходу из строя усилителя.

Задачей, на которую направлено изобретение, является создание многопроходного лазерного усилителя на дисковом активном элементе, обладающего устойчивостью к вибрациям и хорошим качеством лазерного излучения, обеспечивающего не меньшее количество проходов, чем прототип, но позволяющего повысить порог самовозбуждения и увеличить эффективность извлечения запасенной энергии.

Технический результат в разработанном многопроходном лазерном усилителе на дисковом активном элементе достигается за счет того, что он содержит активный элемент и две оптические системы для переноса изображения с лазерного активного элемента обратно на лазерный активный элемент с сохранением расходимости и размера пучка лазерного излучения.

Новым в разработанном многопроходном лазерном усилителе на дисковом активном элементе является то, что угол отклонения нормали активного элемента от оптической оси первой оптической системы, а также угол между нормалью к лазерному активному элементу и осью второй оптической системы и угол падения входного лазерного излучения на лазерный активный элемент выбраны таким образом, что количество проходов лазерного излучения через активный элемент, полученное при помощи первой оптической системы, уменьшается по сравнению с максимально возможным Nmax при имеющихся апертурах оптических элементов, составляющих первую оптическую систему для переноса изображения, и данном размере пучка лазерного излучения, причем для четного Nmax количество проходов уменьшается до Nmax/2, а для нечетного Nmax - до (Nmax+1)/2, при этом количество повторений этих проходов, осуществляемое при помощи второй оптической системы, увеличивается в 2 раза.

Сущность изобретения поясняется следующими чертежами.

На фиг. 1 показан пример реализации многопроходного лазерного усилителя согласно п. 1 формулы.

На фиг. 2 показан порядок отражения лазерного излучения от сферических зеркал 2 и 5 на фиг. 1.

Изобретение определяется формулой и не ограничивается приведенным на фиг. 1, 2 примером частной реализации изобретения.

В общем случае предлагаемый многопроходный лазерный усилитель на дисковом активном элементе (по п. 1 формулы) содержит активный элемент 1 и две оптические системы для переноса изображения с активного элемента обратно на активный элемент с сохранением расходимости и размера пучка лазерного излучения. Таким образом, в общем случае вид и количество оптических элементов, составляющих упомянутые оптические системы, могут быть разными, главное, чтобы они осуществляли перенос изображения с активного элемента обратно на активный элемент с сохранением расходимости и размера пучка лазерного излучения. Поэтому удобнее рассматривать предлагаемое изобретение на примере его частной реализации.

Пример частной реализации многопроходного усилителя по п. 1 формулы показан на фиг. 1. Первая оптическая система образована сферическими зеркалами 2 и 3 и плоским зеркалом 4. Сферические зеркала 2 и 3 с радиусом кривизны R1, расположенные на расстоянии R1 друг от друга, являются телескопом, осуществляющим перенос изображения с активного элемента 1 на плоское зеркало 4. Для этого расстояния между активным элементом 1 и сферическим зеркалом 2, а также сферическим зеркалом 3 и плоским зеркалом 4 равны R1/2. Вторая оптическая система образована сферическими зеркалами 5 и 6 и плоским зеркалом 7. Сферические зеркала 5 и 6 с радиусом кривизны R2, расположенные на расстоянии R2 друг от друга, являются телескопом, осуществляющим перенос изображения с активного элемента 1 на плоское зеркало 7. Для этого расстояния между активным элементом 1 и сферическим зеркалом 5, а также сферическим зеркалом 6 и плоским зеркалом 7 равны R2/2.

В общем случае вместо приведенного в примере набора зеркал могут быть использованы другие оптические системы для переноса изображения с активного элемента 1 обратно на него без изменения размера пучка лазерного излучения. При этом расходимость лазерного излучения, отраженного от активного элемента 1 в любой из телескопов, и излучения, пришедшего назад из телескопа, должны совпадать. Например, плоские зеркала 4 и 7 могут стоять вплотную к телескопам и фактически отсутствовать в схеме.

Особенность предлагаемого оптического усилителя по п. 1 формулы состоит в уменьшении базового количества проходов лазерного излучения через активный элемент 1 от максимально возможного Nmax до Nmax/2 раз в случае четного Nmax и до (Nmax+1)/2 раз в случае нечетного Nmax и соответствующем увеличении количества повторений базового количества проходов лазерного излучения через активный элемент 1 в 2 раза при помощи второй оптической системы (смотри фиг. 1, 2). Таким образом, общее количество проходов лазерного излучения через активный элемент 1 получается таким же, как в многопроходном лазерном усилителе-прототипе, и хотя количество базовых проходов не является максимально возможным, однако при этом апертуры оптических элементов опять-таки используются наиболее эффективно. Данный усилитель отличается от прототипа большим углом отклонения нормали активного элемента 1 от оптической оси телескопа на базе сферических зеркал 2 и 3 и порядком отражения лазерного излучения от оптических элементов, что позволяет рассчитывать на повышение порога самовозбуждения усилителя и, соответственно, более эффективное извлечение запасенной в активном элементе 1 энергии.

Многопроходный лазерный усилитель на дисковом активном элементе, представленный на фиг. 1, работает следующим образом.

В случае отсутствия тепловой линзы в активном элементе 1 на него падает входящий коллимированный пучок лазерного излучения, проходящий над сферическим зеркалом 2. Далее излучение отражается на сферическое зеркало 2, далее на сферическое зеркало 3, далее на плоское зеркало 4. При этом пучок снова становится коллимированным, а на плоском зеркале 4 появляется изображение пучка, отраженного от активного элемента 1. После отражения от плоского зеркала 4 излучение отражается от сферических зеркал 3 и 2 и попадает снова на активный элемент 1. Таким образом, мы получаем реализуемую с помощью первой оптической системы многопроходную схему, в которой в течение нескольких проходов лазерное излучение всегда приходит в одну и ту же область на активном элементе 1 с одним и тем же профилем и коллимированное. На фиг. 2 показан порядок отражения лазерного излучения от сферических зеркал 2 и 5, приведенных на фиг. 1. В данном примере реализуется три базовых прохода лазерного излучения через активный элемент 1 ((Nmax+1)/2=3), пока лазерное излучение не выйдет над сферическим зеркалом 2 и не попадет на сферическое зеркало 5 (цифра 5 на фиг. 2). После отражения от сферических зеркал 5 и 6 коллимированное лазерное излучение попадает на зеркало 7 с переносом изображения пучка лазерного излучения, отраженного от активного элемента 1. Отражаясь далее от сферических зеркал 6 и 5, лазерное излучение снова попадает в многопроходную схему, но в другом месте над сферическим зеркалом 2 (цифра 6 на фиг. 2). После следующих трех базовых проходов лазерного излучения через активный элемент 1 лазерное излучение снова попадает на сферическое зеркало 5 (цифра 11 на фиг. 2), дважды проходит через телескоп на базе сферических зеркал 5 и 6 и возвращается в многопроходную схему (цифра 12 на фиг. 2). После следующих трех базовых проходов лазерного излучения через активный элемент 1 лазерное излучение снова попадает на сферическое зеркало 5 (цифра 17 на фиг. 2), дважды проходит через телескоп на базе сферических зеркал 5 и 6 и возвращается в многопроходную схему (цифра 18 на фиг. 2). После следующих трех базовых проходов лазерного излучения через активный элемент 1 лазерное излучение снова попадает на сферическое зеркало 5 (цифра 23 на фиг. 2), дважды проходит через телескоп на базе сферических зеркал 5 и 6 и возвращается в многопроходную схему (цифра 24 на фиг. 2). После следующих трех базовых проходов лазерного излучения через активный элемент 1 лазерное излучение покидает усилитель.

Усилитель по п. 1, приведенный в примере, может быть модифицирован для случая наличия тепловой линзы в активном элементе 1, что характерно при работе с высокой средней мощностью лазерного излучения. Для этого достаточно нужным образом подобрать расходимость входного лазерного излучения и заменить плоские зеркала 4 и 7 на сферические. Схема прохождения излучения через оптические элементы при этом не изменится.

Из приведенного примера частной реализации изобретения видно, что при помощи выбора необходимых углов между нормалью к активному элементу 1 и осями оптических систем, переносящих изображение, а также углов падения излучения на активный элемент 1 можно изменить порядок отражения лазерного излучения от оптических элементов, увеличив базовое количество отражений от активного элемента 1 в сколько угодно большое количество раз, ограниченное лишь габаритами оптических элементов, составляющих оптические системы для переноса изображения, и диаметром пучка лазерного излучения. При этом предлагаемое устройство обладает устойчивостью к вибрациям, хорошим качеством лазерного излучения, поскольку осуществляется перенос изображения с лазерного активного элемента обратно на лазерный активный элемент, и обладает высоким порогом самовозбуждения, что позволяет увеличить эффективность извлечения запасенной энергии.

Таким образом, предлагаемый многопроходный лазерный усилитель на дисковом активном элементе обладает всеми достоинствами прототипа, но при этом позволяет повысить порог самовозбуждения и увеличить эффективность извлечения запасенной энергии.

Многопроходный лазерный усилитель на дисковом активном элементе, содержащий активный элемент и две оптические системы для переноса изображения с лазерного активного элемента обратно на лазерный активный элемент с сохранением расходимости и размера пучка лазерного излучения, отличающийся тем, что угол отклонения нормали активного элемента от оптической оси первой оптической системы, а также угол между нормалью к лазерному активному элементу и осью второй оптической системы и угол падения входного лазерного излучения на лазерный активный элемент выбраны таким образом, что количество проходов лазерного излучения через активный элемент, полученное при помощи первой оптической системы, уменьшается по сравнению с максимально возможным N при имеющихся апертурах оптических элементов, составляющих первую оптическую систему для переноса изображения, и данном размере пучка лазерного излучения, причем для четного N количество проходов уменьшается до N/2, а для нечетного N - до (N+1)/2, при этом количество повторений этих проходов, осуществляемое при помощи второй оптической системы, увеличивается в 2 раза.
Многопроходный лазерный усилитель на дисковом активном элементе
Многопроходный лазерный усилитель на дисковом активном элементе
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-10 of 37 items.
27.05.2013
№216.012.4491

Способ получения изотопно-обогащенного германия

Изобретение относится к технологии получения изотопно-обогащенного германия и может быть использовано для производства полупроводниковых приборов, детекторов ядерно-физических превращений, в медико-биологических исследованиях материалов. Способ включает плазмохимическое разложение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002483130
Дата охранного документа: 27.05.2013
10.06.2013
№216.012.49f1

Поляризационная аподизирующая диафрагма

Изобретение относится к устройствам для регулирования интенсивности света и может быть использовано для формирования требуемого пространственного профиля лазерного излучения. Устройство содержит магнитооптический элемент, помещенный в поляризационный селектор. Неоднородность магнитного поля...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002484509
Дата охранного документа: 10.06.2013
27.07.2013
№216.012.5b18

Электрически управляемый модулятор-калибратор миллиметрового диапазона длин волн

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в качестве меры шумовой температуры при точных измерениях малых уровней шумовой температуры источников сигналов, а также для встроенного контроля в радиосистемах различного назначения. Достигаемый технический результат - обеспечение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002488941
Дата охранного документа: 27.07.2013
10.08.2013
№216.012.5d67

Способ получения пластины комбинированного поликристаллического и монокристаллического алмаза

Изобретение относится к технологии химического осаждения из газовой фазы алмазных пленок и может быть использовано, например, для получения алмазных подложек, в которых монокристаллический и поликристаллический алмаз образует единую пластину, используемую в технологии создания электронных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002489532
Дата охранного документа: 10.08.2013
10.12.2013
№216.012.8a1b

Радиолокационный способ определения параметров крупномасштабного волнения водной поверхности

Использование: изобретение относится к методам определения параметров волнения водной поверхности и может быть использовано в метеорологии и океанологии для мониторинга состояния приповерхностного слоя Мирового океана. Сущность: радиолокационный способ определения параметров крупномасштабного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002501037
Дата охранного документа: 10.12.2013
10.02.2014
№216.012.9f9a

Способ определения параметра оптической анизотропии сигма материала кубического монокристалла, относящегося к классу симметрии m3m, или 432

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для определения параметра оптической анизотропии кубических кристаллов, относящихся к классу m3m, или 432 симметрии. Первый вариант включает измерение распределения локальной степени деполяризации при двух...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002506566
Дата охранного документа: 10.02.2014
10.05.2014
№216.012.c12e

Устройство получения томографических флуоресцентных изображений

Изобретение относится к медицине, в частности к медицинской диагностике, и может быть использовано для получения двумерных и трехмерных (томографических) флуоресцентных изображений диагностируемого объекта. Устройство содержит источник зондирующего излучения в полосе поглощения флуорофора,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515203
Дата охранного документа: 10.05.2014
20.07.2014
№216.012.e13b

Способ получения направленного экстремального ультрафиолетового (эуф) излучения для проекционной литографии высокого разрешения и источник направленного эуф излучения для его реализации

Изобретение относится к источникам получения направленного (сформированного) мягкого рентгеновского излучения, или, что то же самое, экстремального ультрафиолетового излучения (ЭУФ) с длиной волны 13,5 нм или 6,7 нм, применяемым в настоящее время или в ближайшей перспективе в проекционной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002523445
Дата охранного документа: 20.07.2014
27.08.2014
№216.012.effe

Компенсатор термонаведенной деполяризации в поглощающем оптическом элементе лазера

Изобретение относится к оптической технике. Компенсатор термонаведенной деполяризации γ включает в себя расположенный на оптической оси компенсирующий оптический элемент, установленный за поглощающим оптическим элементом. При этом компенсирующий оптический элемент изготовлен из материала,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002527257
Дата охранного документа: 27.08.2014
10.01.2015
№216.013.1ad4

Способ определения состояния кубита

Изобретение относится к компьютерным системам, в частности к квантовым компьютерам и оптическим логическим элементам, и может быть использовано для полного определения состояния кубита. Техническим результатом является повышение точности измерений, сокращение времени измерения. Способ,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002538296
Дата охранного документа: 10.01.2015
Showing 1-10 of 44 items.
27.05.2013
№216.012.4491

Способ получения изотопно-обогащенного германия

Изобретение относится к технологии получения изотопно-обогащенного германия и может быть использовано для производства полупроводниковых приборов, детекторов ядерно-физических превращений, в медико-биологических исследованиях материалов. Способ включает плазмохимическое разложение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002483130
Дата охранного документа: 27.05.2013
10.06.2013
№216.012.49f1

Поляризационная аподизирующая диафрагма

Изобретение относится к устройствам для регулирования интенсивности света и может быть использовано для формирования требуемого пространственного профиля лазерного излучения. Устройство содержит магнитооптический элемент, помещенный в поляризационный селектор. Неоднородность магнитного поля...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002484509
Дата охранного документа: 10.06.2013
27.07.2013
№216.012.5b18

Электрически управляемый модулятор-калибратор миллиметрового диапазона длин волн

Изобретение относится к радиотехнике и может быть использовано в качестве меры шумовой температуры при точных измерениях малых уровней шумовой температуры источников сигналов, а также для встроенного контроля в радиосистемах различного назначения. Достигаемый технический результат - обеспечение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002488941
Дата охранного документа: 27.07.2013
10.08.2013
№216.012.5d67

Способ получения пластины комбинированного поликристаллического и монокристаллического алмаза

Изобретение относится к технологии химического осаждения из газовой фазы алмазных пленок и может быть использовано, например, для получения алмазных подложек, в которых монокристаллический и поликристаллический алмаз образует единую пластину, используемую в технологии создания электронных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002489532
Дата охранного документа: 10.08.2013
27.09.2013
№216.012.701d

Способ измерения объема сосуда и устройство для его осуществления

Способ измерения объема сосуда заключается в том, что изменяют объем сосуда на величину ΔV и определяют изменение давления газа в сосуде до и после изменения объема, на основании которых определяют искомый объем сосуда V. При этом предварительно выравнивают давление в герметично закрытом сосуде...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002494352
Дата охранного документа: 27.09.2013
10.12.2013
№216.012.8a1b

Радиолокационный способ определения параметров крупномасштабного волнения водной поверхности

Использование: изобретение относится к методам определения параметров волнения водной поверхности и может быть использовано в метеорологии и океанологии для мониторинга состояния приповерхностного слоя Мирового океана. Сущность: радиолокационный способ определения параметров крупномасштабного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002501037
Дата охранного документа: 10.12.2013
10.02.2014
№216.012.9f9a

Способ определения параметра оптической анизотропии сигма материала кубического монокристалла, относящегося к классу симметрии m3m, или 432

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для определения параметра оптической анизотропии кубических кристаллов, относящихся к классу m3m, или 432 симметрии. Первый вариант включает измерение распределения локальной степени деполяризации при двух...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002506566
Дата охранного документа: 10.02.2014
10.05.2014
№216.012.c12e

Устройство получения томографических флуоресцентных изображений

Изобретение относится к медицине, в частности к медицинской диагностике, и может быть использовано для получения двумерных и трехмерных (томографических) флуоресцентных изображений диагностируемого объекта. Устройство содержит источник зондирующего излучения в полосе поглощения флуорофора,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515203
Дата охранного документа: 10.05.2014
20.07.2014
№216.012.e13b

Способ получения направленного экстремального ультрафиолетового (эуф) излучения для проекционной литографии высокого разрешения и источник направленного эуф излучения для его реализации

Изобретение относится к источникам получения направленного (сформированного) мягкого рентгеновского излучения, или, что то же самое, экстремального ультрафиолетового излучения (ЭУФ) с длиной волны 13,5 нм или 6,7 нм, применяемым в настоящее время или в ближайшей перспективе в проекционной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002523445
Дата охранного документа: 20.07.2014
27.08.2014
№216.012.effe

Компенсатор термонаведенной деполяризации в поглощающем оптическом элементе лазера

Изобретение относится к оптической технике. Компенсатор термонаведенной деполяризации γ включает в себя расположенный на оптической оси компенсирующий оптический элемент, установленный за поглощающим оптическим элементом. При этом компенсирующий оптический элемент изготовлен из материала,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002527257
Дата охранного документа: 27.08.2014
+ добавить свой РИД