Аннотация:
Электрохимическая ячейка для легирования полупроводникового материала индием, включающая анод, выполненный из индийсодержащего материала, мембрану, выполненную из твердоэлектролитного материала на основе индия, и катод, выполненный из бинарного либо тройного полупроводникового материала, расположенные в контакте друг с другом, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности дозирования, в качестве анода использован антимонид индия, а в качестве твердоэлектролитного материала использованы системы InS-InCl, InCl-CdCl следующего состав, мол.%:
а) система InS-InCl:
б) система InCl-CdCl:
причем система InCl-CdCl расположена в контакте с катодом.