×
20.01.2015
216.013.1fce

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДВУХСТОРОННЕЙ ГИБКОЙ ПЕЧАТНОЙ ПЛАТЫ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к области приборостроения и радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибких печатных плат, применяемых при изготовлении вторичных преобразователей микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления и других изделий. Технический результат - повышение точности позиционирования, идентичность получения элементов двух гибких печатных плат, их дальнейшее совмещение и соединение для получения двухсторонней гибкой печатной платы и сокращение технологического цикла - достигается тем, что в способе изготовления двухсторонней гибкой печатной платы, заключающемся в том, что на металлическую пластину с обеих сторон наносят слой алюминия и далее с обеих сторон наносят металлорезистивное электропроводящее покрытие, проводят фотолитографию с обеих сторон, метки переходных отверстий являются зеркальным отражением обеих сторон, далее стравливают одновременно с обеих сторон алюминиевое покрытие, а затем с обеих сторон отделяют гибкие печатные платы от металлической пластины и соединяют их между собой слоем полимера.
Основные результаты: Способ изготовления двухсторонней гибкой печатной платы, состоящий из последовательного нанесения на металлическую пластину путем термораспада алюминиевого покрытия, металлорезистивных никелевого или кобальтового покрытия и электропроводящего - медного или молибденового, формирования фотолитографией рисунка электропроводящей схемы с последующим покрытием полимерной пленкой и отделением полученной гибкой печатной платы от металлической пластины, отличающийся тем, что на металлическую пластину с обеих сторон наносят слой алюминия и далее с обеих сторон наносят металлорезистивное электропроводящее покрытие, проводят фотолитографию с обеих сторон, причем метки переходных отверстий являются зеркальным отражением обеих сторон, стравливают одновременно с обеих сторон алюминиевое покрытие, а затем с обеих сторон отделяют гибкие печатные платы от металлической пластины и соединяют их между собой слоем полимера.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к области приборостроения и радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибких печатных плат, применяемых при изготовлении вторичных преобразователей микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления и других изделий.

Известен способ изготовления печатных плат на основе субтрактивного изготовления печатных плат, заключающийся в том, что сначала металлическую катаную фольгу плакируют полимерной пленкой либо полимерную пленку термически припрессовывают к фольге. Затем методом фотопечати получают изображение электропроводящего рисунка печатной схемы. На участках, незащищенных фоторезистом, металлическую фольгу стравливают и получают электропроводящую печатную схему. Затем удаляют фоторезист, промывают и высушивают диэлектрическое основание и получают гибкую печатную плату [1].

Недостатком этого способа является изготовление печатной электропроводящей схемы путем травления металла фольги. При этом из-за бокового травления увеличивается зазор между смежными проводниками, что требует увеличения ширины печатного проводника. Это затрудняет изготовление печатной платы высокого класса.

Известен также способ изготовления гибкой печатной платы, принятый нами за прототип, заключающийся в нанесении на металлическую пластину технологического алюминиевого слоя, затем металлорезистивного и электропроводящего [2]. Затем проводят формирование рисунка электропроводящей схемы фотолитографией. С незащищенных участков электропроводящей схемы стравливают медь и получают медную печатную схему, на поверхность которой наносят тонкий слой полимера и полимеризуют, отделяют металлическую пластину путем растворения алюминиевого слоя в 10-15% растворе щелочи и получают гибкую печатную плату. Затем две односторонние гибкие платы соединяют между собой слоем полимера.

Недостатком этого способа является низкая производительность, так как необходимо на каждой плате проводить совмещение, травление и так далее. И для получения двухсторонних плат не обеспечивается единый технологический цикл, так как операции проводятся отдельно на каждой подложке. А это приводит к тому, что неточное позиционирование элементов в итоге проявляется при окончательной сборке двухсторонней платы в браке изделия.

Задачей, на решение которой направлено изобретение, является повышение точности позиционирования, идентичность получения элементов двух гибких печатных плат, их дальнейшее совмещение и соединение для получения двухсторонней гибкой печатной платы и сокращение технологического цикла.

Поставленная задача достигается тем, что в способе изготовления гибкой печатной платы, состоящем из последовательного нанесения на металлическую пластину путем термораспада алюминиевого покрытия, металлорезистивных никелевого или кобальтового покрытия и электропроводящего медного или молибденового, формирования фотолитографией рисунка электропроводящей схемы с последующим покрытием полимерной пленкой и отделением полученной гибкой печатной платы от пластины, на металлическую пластину с обеих сторон наносят слой алюминия и далее с обеих сторон наносят металлорезистивное электропроводящее покрытие, проводят фотолитографию с обеих сторон, причем метки переходных отверстий являются зеркальным отражением обеих сторон, стравливают одновременно с обеих сторон алюминиевое покрытие, а затем с обеих сторон отделяют гибкие печатные платы от металлической пластины и соединяют их между собой слоем полимера.

Гибкие печатные платы эффективны с точки зрения сокращения пространства для разводки и повышения ее надежности как в авиационно-космической электронной аппаратуре, так и в малых портативных электронных устройствах. Двухсторонние гибкие печатные платы могут иметь полную толщину менее 50 мкм, включая защитный слой. Точность позиционирования на плате достигается за счет минимальной ширины коммутационных дорожек - 50 мкм, а также минимального диаметра переходных отверстий - 40 мкм. Гибкие печатные платы дают возможность использования групповых методов сборки и монтажа изделий, что значительно сокращает технологический цикл их изготовления.

Способ осуществляется следующим образом. Предварительно на двухсторонней установке экспонирования совмещают два фотошаблона для одной и другой стороны, то есть осуществляют прецизионное позиционирование будущих поверхностей плат. Далее на поверхность листа из нержавеющей стали вначале наносят с обеих сторон алюминиевое покрытие путем термораспада триизобутилалюминия. После нанесния алюминиевого покрытия на той же установке путем термораспада дициклопентодиенильных соединений никеля или кобальта получают паяющееся никелевое или кобальтовое покрытие. После формирования защитного рельефа пленочным фоторезистом на не закрытые фоторезистом участки наносят гальваническое медное покрытие. После чего пленочный фоторезист удаляется, а полученная электросхема покрывается полиимидом с двух сторон. После удаления промежуточного алюминиевого покрытия с обеих сторон и проведения фотолитографии по никелевому покрытию получают две гибкие печатные платы.

Конструктивно коммутационная печатная плата представляет собой основание из двухстороннего фольгированного безадгезивного полиимидного материала MCF 5000 (толщина полиимида 25 мкм и 12 мкм медная фольга) с рисунком медной коммутации и далее поверх защитные слои полиимида, без коммутационных медных дорожек. При формировании многослойной структуры соединение слоев, технологическое и коммутационное, осуществляется посредством вакуумной пайки припоем ПОС-61 через расположенные с шагом 2 мм по площади платы переходные сквозные отверстия диаметром 200 мкм.

Предлагаемый способ позволяет изготавливать двухсторонние печатные платы с высокой точностью позиционирования одиночных печатных плат друг относительно друга, изготавливать элементы, идентичные по геометрическим размерам с обеих сторон, так как процесс обработки проводится одновременно на одной подложке в одинаковых условиях обработки.

Источники информации

1. Гаврюшин Н.Н. Методы изготовления печатных плат и кабелей. Ж.: Зарубежная радиоэлектроника: Радио и связь, 1985, №5, стр.54-63.

2. Патент РФ №2277764 (прототип).

Способ изготовления двухсторонней гибкой печатной платы, состоящий из последовательного нанесения на металлическую пластину путем термораспада алюминиевого покрытия, металлорезистивных никелевого или кобальтового покрытия и электропроводящего - медного или молибденового, формирования фотолитографией рисунка электропроводящей схемы с последующим покрытием полимерной пленкой и отделением полученной гибкой печатной платы от металлической пластины, отличающийся тем, что на металлическую пластину с обеих сторон наносят слой алюминия и далее с обеих сторон наносят металлорезистивное электропроводящее покрытие, проводят фотолитографию с обеих сторон, причем метки переходных отверстий являются зеркальным отражением обеих сторон, стравливают одновременно с обеих сторон алюминиевое покрытие, а затем с обеих сторон отделяют гибкие печатные платы от металлической пластины и соединяют их между собой слоем полимера.
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-10 of 29 items.
10.02.2013
№216.012.24c2

Способ получения газопоглощающей структуры

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой активного металла либо сплава с развитой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474912
Дата охранного документа: 10.02.2013
10.09.2013
№216.012.68db

Чувствительный элемент микромеханического акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений. Чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, содержит центральную площадку, соединенную со стеклянной подложкой, на которых...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492490
Дата охранного документа: 10.09.2013
27.10.2013
№216.012.7aef

Чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических компенсационных акселерометрах. Чувствительный элемент содержит инерционную массу, упругие элементы, катушку обратной связи, проводящие дорожки для электрической связи катушек обратной связи со схемой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002497133
Дата охранного документа: 27.10.2013
10.05.2014
№216.012.c1dd

Микромеханический акселерометр

Изобретение может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический акселерометр содержит чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, внешнюю рамку с закрепленным на ней...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515378
Дата охранного документа: 10.05.2014
27.06.2014
№216.012.d606

Способ изготовления гибкой микропечатной платы

Изобретение относится к области приборостроения и радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибких микропечатных плат, применяемых при изготовлении вторичных преобразователей микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления и других изделий....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002520568
Дата охранного документа: 27.06.2014
20.07.2014
№216.012.e24c

Нанокомпозитная газопоглощающая структура и способ ее получения

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой нанокомпозитную газопоглощающую структуру и способ ее получения, предназначенную для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002523718
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.08.2014
№216.012.ea03

Способ сборки чувствительного элемента микромеханического датчика

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов, применяемых при изготовлении микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления. Задачей, на решение которой направлено изобретение, является...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002525715
Дата охранного документа: 20.08.2014
27.11.2014
№216.013.0ba8

Лезвие офтальмохирургическое

Изобретение относится к офтальмологии и может быть использовано для проведения микрохирургических операций. Лезвие офтальмохирургическое содержит корпус с основанием из монокристаллического кремния и режущую кромку. Основание корпуса и режущая кромка порыты слоями нитрида кремния толщиной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534392
Дата охранного документа: 27.11.2014
10.01.2015
№216.013.1b50

Устройство контроля герметичности микроструктур

Изобретение относится к технике контроля герметичности микроэлектромеханических и микроэлектронных устройств, для функционирования которых требуется герметичный корпус с внутренней полостью. Сущность: устройство включает камеру экспозиции микроструктур в пробном газе, спектрометр, работающий в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002538420
Дата охранного документа: 10.01.2015
27.01.2015
№216.013.207f

Способ изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур

Изобретение относится к изготовлению конструктивных элементов микромеханических приборов на кремниевых монокристаллических подложках. Изобретение обеспечивает снижение трудоемкости изготовления и повышение качества структур. Способ изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002539767
Дата охранного документа: 27.01.2015
Showing 1-10 of 36 items.
10.02.2013
№216.012.24c2

Способ получения газопоглощающей структуры

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой способ получения газопоглощающей структуры для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Газопоглощающая структура представляет собой слой активного металла либо сплава с развитой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002474912
Дата охранного документа: 10.02.2013
10.09.2013
№216.012.68db

Чувствительный элемент микромеханического акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в микромеханических датчиках линейных ускорений. Чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, содержит центральную площадку, соединенную со стеклянной подложкой, на которых...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492490
Дата охранного документа: 10.09.2013
27.10.2013
№216.012.7aef

Чувствительный элемент микромеханического компенсационного акселерометра

Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических компенсационных акселерометрах. Чувствительный элемент содержит инерционную массу, упругие элементы, катушку обратной связи, проводящие дорожки для электрической связи катушек обратной связи со схемой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002497133
Дата охранного документа: 27.10.2013
10.05.2014
№216.012.c1dd

Микромеханический акселерометр

Изобретение может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический акселерометр содержит чувствительный элемент, выполненный из монокристаллического кремния низкой проводимости, внешнюю рамку с закрепленным на ней...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515378
Дата охранного документа: 10.05.2014
27.06.2014
№216.012.d606

Способ изготовления гибкой микропечатной платы

Изобретение относится к области приборостроения и радиоэлектроники и может быть использовано при изготовлении гибких микропечатных плат, применяемых при изготовлении вторичных преобразователей микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления и других изделий....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002520568
Дата охранного документа: 27.06.2014
20.07.2014
№216.012.e24c

Нанокомпозитная газопоглощающая структура и способ ее получения

Изобретение относится к вакуумной технике и представляет собой нанокомпозитную газопоглощающую структуру и способ ее получения, предназначенную для поддержания вакуума в различных приборах, в том числе микроэлектромеханических системах. Нанокомпозитная газопоглощающая структура представляет...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002523718
Дата охранного документа: 20.07.2014
20.08.2014
№216.012.ea03

Способ сборки чувствительного элемента микромеханического датчика

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов, применяемых при изготовлении микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления. Задачей, на решение которой направлено изобретение, является...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002525715
Дата охранного документа: 20.08.2014
27.11.2014
№216.013.0ba8

Лезвие офтальмохирургическое

Изобретение относится к офтальмологии и может быть использовано для проведения микрохирургических операций. Лезвие офтальмохирургическое содержит корпус с основанием из монокристаллического кремния и режущую кромку. Основание корпуса и режущая кромка порыты слоями нитрида кремния толщиной...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534392
Дата охранного документа: 27.11.2014
10.01.2015
№216.013.1b50

Устройство контроля герметичности микроструктур

Изобретение относится к технике контроля герметичности микроэлектромеханических и микроэлектронных устройств, для функционирования которых требуется герметичный корпус с внутренней полостью. Сущность: устройство включает камеру экспозиции микроструктур в пробном газе, спектрометр, работающий в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002538420
Дата охранного документа: 10.01.2015
27.01.2015
№216.013.207f

Способ изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур

Изобретение относится к изготовлению конструктивных элементов микромеханических приборов на кремниевых монокристаллических подложках. Изобретение обеспечивает снижение трудоемкости изготовления и повышение качества структур. Способ изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002539767
Дата охранного документа: 27.01.2015
+ добавить свой РИД