×
27.11.2014
216.013.0bdc

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ОКИСЛА С ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к технологии изготовления силовых кремниевых транзисторов, в частности к способам обработки обратной стороны кремниевых пластин перед процессом напыления. Изобретение обеспечивает полное удаление остатков окисла с поверхности кремниевых пластин, уменьшение времени обработки и снижение стоимости процесса. В способе обработки кремниевых пластин перед напылением удаление окисла с поверхности кремниевых пластин проводят в растворе, содержащем бифторид аммония (NHHF) и деионизованную воду (HO) в соотношении NHHF:НO=1:26, время обработки составляет не более 10 секунд при комнатной температуре.
Основные результаты: Способ обработки кремниевых пластин перед напылением, включающий травление кремния с полным удалением остатков окисла с поверхности кремниевых пластин перед напылением обратной стороны, отличающийся тем, что в качестве травителя используется раствор, в состав которого входят бифторид аммония и деионизованная вода, компоненты раствора выбираются в следующем соотношении:NHHF:HO = 1:26,время обработки остатков окисла с кремниевых пластин при этом составляет не более 10 секунд при комнатной температуре.

Изобретение относится к технологии изготовления силовых кремниевых транзисторов, в частности к способам обработки обратной стороны кремниевых пластин перед напылительными процессами, травлении кремния с удалением остатков окисла.

Известны способы обработки кремниевых пластин: в кислотах, щелочных растворах при температуре 90-100°C и др. [1].

Основным недостатком этих способов является неполное удаление окислов, высокотемпературная обработка.

Известен способ обработки кремниевых пластин, сущность которого заключается в удалении окисла в травителе, состоящем из плавиковой кислоты (HF) и деионизованной воды (Н2О), при комнатной температуре раствора [2].

Основным недостатком этих способов является использование агрессивной плавиковой кислоты, длительность процесса обработки.

Целью изобретения является полное удаление остатков окисла с поверхности кремниевых пластин перед напылительными процессами, уменьшение времени обработки кремниевых пластин и снижение стоимости данного процесса.

Поставленная цель достигается тем, что удаление окисла при травлении кремния происходит за счет использования раствора, в состав которого входят бифторид аммония (NH4HF2), деионизованная вода (Н2О) в следующих соотношениях:

NH4HF22О=1: 26.

Сущность способа заключается в том, что с поверхности подложки происходит полное удаление окисла в травителе, состоящем из бифторида аммония и деионизованной воды, при комнатной температуре раствора. Процесс удаления окисла считается законченным в том случае, когда раствор скатывается с поверхности кремниевых пластин. Реакция обработки поверхности кремниевых пластин протекает с большой скоростью, длительность процесса составляет не более 10 секунд. При этом не происходит ухудшения качества поверхности кремния.

Сущность изобретения подтверждается следующими примерами:

ПРИМЕР 1. Процесс проводят на установке химической обработки в одной ванне с последующей отмывкой в деионизованной воде при соотношении компонентов:

NH4HF22О=1:35.

Температура раствора комнатная. Время обработки 60 секунд. Процент выхода годных кристаллов составляет 94%.

ПРИМЕР 2. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке химической обработки в одной ванне с последующей отмывкой в деионизованной воде при соотношении компонентов:

NH4HF22O=1:30.

Температура раствора комнатная. Время обработки равно 40 секунд. Процент выхода годных кристаллов составляет 97%.

ПРИМЕР 3. Способ осуществляют аналогично примеру 1. Процесс проводят на установке химической обработки в одной ванне с последующей отмывкой в деионизованной воде при соотношении компонентов:

NH4HF2:H2O=1:26.

Температура раствора комнатная. Время обработки равно 10 секунд. Процент выхода годных кристаллов составляет 99%.

Таким образом, предлагаемый способ по сравнению с прототипами обеспечивает удаление остатков окисла, способствует улучшению адгезии, благодаря которой увеличивается процент выхода годных кристаллов - с 94% до 99%.

ЛИТЕРАТУРА

1. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М: «Высшая школа», 1986, с. 177-178.

2. Патент №2352021, Н01L 21/306, 10.04.2009.

Источник поступления информации: Роспатент

Showing 161-170 of 176 items.
26.08.2017
№217.015.e959

Термоэлектрическое устройство для проведения тепловых косметологических процедур

Изобретение относится к медицинской технике. Термоэлектрическое устройство для проведения тепловых косметологических процедур содержит основание из высокотеплопроводного материала в виде маски, повторяющей контуры лица человека с отверстиями в области глаз, носа и рта. Основание со стороны...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002627798
Дата охранного документа: 11.08.2017
26.08.2017
№217.015.ea8f

Антенна в форме уголкового отражателя сверхвысокочастотного диапазона с p-i-n-диодами для передачи дискретной информации

Изобретение относится к радиотехнике, в частности к конструкции пассивных антенн сверхвысокочастотного диапазона, предназначенных для отражения электромагнитных колебаний в широком диапазоне частот. Техническим результатом является организация передачи дискретной информации при помощи включения...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002627983
Дата охранного документа: 14.08.2017
26.08.2017
№217.015.ec1e

Способ производства компота из черешни

Изобретение относится к пищевой промышленности, а именно к консервированию компота из черешни. Способ характеризуется тем, что банки с расфасованными и залитыми сиропом плодами помещают в СВЧ-камеру и в течение 1,5-2,0 мин нагревают СВЧ-энергией частотой 2400±50 МГц до 82-83°С. После чего...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002628446
Дата охранного документа: 16.08.2017
29.12.2017
№217.015.f9b3

Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для контрастной термоодонтометрии с воздушным охлаждением

Изобретение относится к медицинской технике и может быть использовано в стоматологии. Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для контрастной термоодонтометрии с воздушным охлаждением содержит воздействующий элемент с термоэлектрической системой изменения температуры воздействия и блок...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002639991
Дата охранного документа: 25.12.2017
20.01.2018
№218.016.1350

Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для массажа шейно-воротниковой зоны

Изобретение относится к медицинской технике. Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для массажа шейно-воротниковой зоны содержит гибкое упруго-деформируемое основание с возможностью облегания шейно-воротниковой зоны. Основание выполнено в виде эластичной прослойки, на которой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634551
Дата охранного документа: 31.10.2017
20.01.2018
№218.016.1464

Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для массажа шейно-воротниковой зоны

Изобретение относится к медицинской технике. Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для массажа шейно-воротниковой зоны содержит гибкое упруго-деформируемое основание с возможностью облегания шейно-воротниковой зоны. Основание выполнено в виде эластичной прослойки, на которой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634688
Дата охранного документа: 02.11.2017
20.01.2018
№218.016.1467

Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для массажа шейно-воротниковой зоны

Изобретение относится к медицинской технике. Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для массажа шейно-воротниковой зоны содержит гибкое упруго-деформируемое основание с возможностью облегания шейно-воротниковой зоны. Основание выполнено в виде эластичной прослойки, на которой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634687
Дата охранного документа: 02.11.2017
20.01.2018
№218.016.14f7

Устройство для отвода теплоты от элементов рэа, работающих в режиме повторно-кратковременных тепловыделений

Изобретение относится к области охлаждения элементов радиоэлектронной аппаратуры (РЭА). Технический результат - повышение интенсивности отвода теплоты от плавящегося вещества во время паузы в работе элемента РЭА. Достигается тем, что устройство содержит тонкостенный металлический контейнер,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634928
Дата охранного документа: 08.11.2017
20.01.2018
№218.016.14f8

Устройство для отвода теплоты от элементов рэа, работающих в режиме повторно-кратковременных тепловыделений

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к области охлаждения элементов радиоэлектронной аппаратуры (РЭА), работающих в режиме повторно-кратковременных тепловыделений. Технический результат - повышение интенсивности отвода теплоты от плавящегося вещества во время паузы в работе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634850
Дата охранного документа: 07.11.2017
20.01.2018
№218.016.1565

Устройство для отвода теплоты от элементов рэа, работающих в режиме повторно-кратковременных тепловыделений

Изобретение относится к радиоэлектронике, в частности к области охлаждения элементов радиоэлектронной аппаратуры (РЭА), работающих в режиме повторно-кратковременных тепловыделений. Технический результат - повышение интенсивности отвода теплоты от плавящегося вещества во время паузы в работе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002634927
Дата охранного документа: 08.11.2017
Showing 161-170 of 223 items.
13.01.2017
№217.015.8c98

Аппарат для высокотемпературной тепловой стерилизации консервируемых продуктов

Изобретение относится к консервной промышленности, а именно к аппаратам для тепловой стерилизации консервов, расфасованных в стеклянную тару. Аппарат состоит из транспортирующего органа, выполненного из двух роликово-втулочных цепей с направляющими для носителей, обеспечивающих механический...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002604919
Дата охранного документа: 20.12.2016
25.08.2017
№217.015.ab04

Термоэлектрическое устройство для проведения тепловых косметологических процедур на лицо человека

Изобретение относится к медицинской технике. Термоэлектрическое устройство для проведения тепловых косметологических процедур на лицо человека содержит теплоконтактную пластину, систему теплоотвода, термоэлементы и подключенный к термоэлементам управляемый источник постоянного тока....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002612310
Дата охранного документа: 06.03.2017
25.08.2017
№217.015.b64e

Способ производства морковного сока

Изобретение предназначено для использования в пищевой промышленности, а именно для производства консервированного сока из моркови. Способ включает предварительный нагрев измельченного сырья в СВЧ-камере в течение 1,0-1,5 мин до 90-95°С, с последующей протиркой, смешиванием с сахарным сиропом,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002614811
Дата охранного документа: 29.03.2017
25.08.2017
№217.015.b666

Способ производства компота из вишни с ксилитом

Изобретение относится к пищевой промышленности, а именно к консервированию компота из вишни с ксилитом. Способ характеризуется тем, что банки с расфасованными и залитые сиропом плодами помещают в СВЧ-камеру и в течение 1,5-2,0 мин нагревают СВЧ-энергией частотой 2400±50 МГц до 82-83°С. После...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002614810
Дата охранного документа: 29.03.2017
25.08.2017
№217.015.b980

Концентратор лучей для солнечной батареи с веерным расположением зеркальных отражающих электродов

Изобретение относится к солнечной энергетике, в частности касается концентраторов для солнечных батарей. Концентратор солнечных лучей для солнечной батареи выполнен в форме полуцилиндра с веерным расположением зеркальных отражающих электродов и прозрачных полупроводниковых солнечных батарей....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002615041
Дата охранного документа: 03.04.2017
25.08.2017
№217.015.bd7f

Кодово-импульсный модулятор сверхвысокочастотных электромагнитных колебаний в виде многослойной поверхности мебиуса с p-i-n-диодами

Изобретение относится к радиотехнике, в частности к конструкции устройств СВЧ диапазона, предназначенных для генерации, преобразования, приема и передачи электромагнитных колебаний с кодово-импульсной модуляцией частоты. Согласно изобретению в кодово-импульсном модуляторе сверхвысокочастотных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002616440
Дата охранного документа: 14.04.2017
25.08.2017
№217.015.bde1

Шарообразная солнечная батарея с многократным преломлением и отражением лучей в концентраторе

Изобретение относится к солнечной энергетике, в частности касается концентраторов для солнечных батарей. Шарообразная солнечная батарея с многократным преломлением и отражением лучей в концентраторе выполнена в виде шара. Роль концентратора играет сама прозрачная шарообразная солнечная батарея,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002616741
Дата охранного документа: 18.04.2017
25.08.2017
№217.015.bdf4

Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для контрастной термоодонтометрии со съемным радиатором

Изобретение относится к медицинской технике и может быть использовано в стоматологии. Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для контрастной термоодонтометрии со съемным радиатором содержит воздействующий элемент с термоэлектрической системой изменения температуры воздействия, блок...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002616999
Дата охранного документа: 19.04.2017
25.08.2017
№217.015.befb

Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для контрастной термоодонтометрии с испарительной системой охлаждения

Изобретение относится к медицинской технике и может быть использовано в стоматологии. Термоэлектрическое полупроводниковое устройство для контрастной термоодонтометрии с испарительной системой охлаждения содержит воздействующий элемент с термоэлектрической системой изменения температуры...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002617002
Дата охранного документа: 19.04.2017
26.08.2017
№217.015.ddc2

Термоэлектрическое устройство для проведения тепловых косметологических процедур

Изобретение относится к медицинской технике. Термоэлектрическое устройство для проведения тепловых косметологических процедур содержит основание из высокотеплопроводного материала в виде маски, повторяющей контуры лица человека с отверстиями в области глаз, носа и рта. Основание со стороны...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002624808
Дата охранного документа: 06.07.2017
+ добавить свой РИД