×
27.07.2014
216.012.e3f9

СПОСОБ ДИФФУЗИИ БОРА ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ Р-ОБЛАСТИ

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Изобретение относится к технологии изготовления кремниевых мощных транзисторов, в частности может быть использовано для формирования активной ρ-области. Техническим результатом изобретения является уменьшение разброса значений поверхностных концентраций и получение равномерного легирования по длине лодочек. В способе диффузии бора процесс проводят с применением газообразного источника - диборана (ВН) при температуре 960°С и времени 35 минут на этапе загонки, при следующем соотношении компонентов: азот N=240 л/ч, кислород O=120 л/ч и водород Н=7,5 л/ч, а на этапе разгонки при температуре 1100°С и времени разгонки - 2 часа. Поверхностное сопротивление равно R=155±5 Ом/см.
Основные результаты: Способ диффузии бора для формирования ρ-области, включающий диффузию бора, отличающийся тем, что процесс проводят с применением газообразного источника - диборана (ВН) при температуре 960°С и времени - 35 минут на этапе загонки при следующем соотношении компонентов: азот - N=240 л/ч, кислород - O=120 л/ч, водород - Н=7,5 л/ч; а на этапе разгонки температура - 1100°С и времени - 2 часа, при этом поверхностное сопротивление равно R=155±5 Ом/см.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к технологии изготовления кремниевых мощных транзисторов, в частности для формирования активной ρ-области.

Известен способ диффузии бора из жидкого источника бора В2O3, при котором образуется ямки травления.

Известен другой способ диффузии бора из газообразного источника - BCL3, при котором значительно сложнее получить равномерное легирование подложек по длине лодочек.

Недостатками этих способов является засорение системы образующейся В2О3, разброс значений поверхностной концентрации, неравномерное легирование подложек по длине лодочек [1].

Целью изобретения является уменьшение разброса значений поверхностной концентраций и получение равномерного легирования по длине лодочек.

Поставленная цель достигается проведением процесса диффузии бора с применением газообразного источника - диборана (В2Н6).

Сущность способа заключается в том, что очень удобным для управления диффузией является - диборан (В2Н6). Диборан взаимодействует с кислородом, образуя борный ангидрид и воду:

В2Н6+3O22O32O

Присутствие воды значительно увеличивает скорость испарения В2O3, что обусловливает хорошее распределение диффузанта вдоль рабочей зоны вследствие образования летучих борных кислот, особенно метаборной кислоты -НВO2.

Предлагаемый способ отличается от известных тем, что на поверхности кремниевой подложки образуется слой боросиликатного стекла при расходе газов: азота N2=240 л/ч, кислорода O2=120 л/ч и водород - Н2=7,5 л/ч, причем температура на этапе загонки равна 960°С и время загонки - 35 минут; а на этапе разгонки - 1100°С и время разгонки - 2 часа.

Таким образом, предлагаемый способ диффузии бора с применением газообразного источника - диборана (В2H6) по сравнению с прототипом позволяет обеспечивать точное регулирование поверхностного сопротивления и уменьшение разброса значений поверхностной концентрации и получения равномерного легирования по длине лодочек.

Контроль процесса проводят путем измерения поверхностного сопротивления (Rs) на установке «FPP-5000». Поверхностное сопротивление для первой базы равно - Rs=155±5 Ом/см.

Сущность изобретения подтверждается следующими примерами:

ПРИМЕР 1: Технологический процесс диффузии бора проводят в однозонной диффузионной печи на установке СДОМ-3/100. Кремниевые подложки размещаются на кварцевых лодочках. Расстояние между подложками и контрольными пластинами равно l=2,4 мм. Кремниевые подложки предварительно нагревают до температуры 850°С, а затем процесс проводят при следующем расходе газов: азот - N2=150 л/ч; кислород - O2=100 л/ч; водород - Н2=7,5 л/ч; с газообразным источником диборана (В2Н6). Время загонки бора - 60 минут при температуре 1000°С, а на этапе разгонки процесс проводят при температуре 1200°С и времени - 3 часа.

Контроль процесса проводят путем измерения поверхностного сопротивления (Rs) на установке «FPP-5000». Поверхностное сопротивление для первой базы равно - Rs=220±5 Ом/см.

ПРИМЕР 2: Способ осуществляют аналогично условию примера 1, при следующем расходе газов: азот - N2=200 л/ч; кислород - O2=120 л/ч; водород - Н2=7,5 л/ч; с газообразным источником диффузанта - диборана (В2Н6). Время загонки бора - 50 минут при температуре 980°С, а на этапе разгонки процесс проводят при температуре 1150°С и времени - 2 часа.

Контроль процесса проводят путем измерения поверхностного сопротивления (Rs) на установке «FPP-5000». Поверхностное сопротивление для первой базы равно - Rs=180±5 Ом/см.

ПРИМЕР 3: Способ осуществляют аналогично условию примера 1, при следующем расходе газов: азот - N2=240 л/ч; кислород - O2=120 л/ч; водород - Н2=7,5 л/ч; с газообразным источником диффузанта - диборана (В2Н6). Время загонки бора - 40 минут при температуре 980°С, а на этапе разгонки процесс проводят при температуре 1150°С и времени - 2 часа.

Контроль процесса проводят путем измерения поверхностного сопротивления (Rs) на установке «FPP-5000». Поверхностное сопротивление для первой базы равно - Rs=160±5 Ом/см.

ПРИМЕР 4: Способ осуществляют аналогично условию примера 1, при следующем расходе газов: азот - N2=240 л/ч; кислород - O2=120 л/ч; водород - Н2=7,5 л/ч; с газообразным источником диффузанта - диборана (В2Н6). Время загонки бора - 35 минут при температуре 960°С, а на этапе разгонки процесс проводят при температуре 1100°С и времени - 2 часа.

Контроль процесса проводят путем измерения поверхностного сопротивления (Rs) на установке «FPP-5000». Поверхностное сопротивление для первой базы равно - Rs=155±5 Ом/см.

Таким образом, предлагаемый способ диффузии бора с применением газообразного источника - диборана (В2Н6) по сравнению с прототипом позволяет обеспечивать точное регулирование поверхностного сопротивления и уменьшение разброса значений поверхностной концентрации и получения равномерного легирования по длине лодочек.

Источники информации

1. Курносов А.И., Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М: «Высшая школа», 1986, с.158-162.

Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-10 of 134 items.
10.07.2013
№216.012.5549

Светотранзистор

Изобретение относится к электронным компонентам микросхем. В отличие от обычного биполярного транзистора, согласно изобретению, один p-n-переход транзистора сформирован в виде светоизлучающего. Для р-n-р-транзистора излучающим переходом является переход база-эмиттер, а для n-p-n-транзистора -...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002487436
Дата охранного документа: 10.07.2013
10.10.2013
№216.012.7182

Реанимационный комплекс для новорожденных

Изобретение относится к медицине, в частности к неонатологии, и предназначено для проведения мероприятий по восстановлению жизненно важных функций новорожденных. Техническим результатом является повышение эффективности проведения восстановительных процедур новорожденного за счет обеспечения его...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002494715
Дата охранного документа: 10.10.2013
27.01.2014
№216.012.9ccb

Способ изготовления линз для стоматологических очков

Изобретение может быть использовано для создания очков, используемых при работе с ультрафиолетовым излучением и обеспечивающих одновременную защиту от механических и ультрафиолетовых воздействий. Способ включает послойное напыление на линзы металлов. Проводят последовательное магнетронное...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002505845
Дата охранного документа: 27.01.2014
20.02.2014
№216.012.a104

Термоэлектрическое устройство для лечения кисти

Изобретение относится к медицине и медицинской технике и предназначено для температурного воздействия при лечении гнойно-воспалительных и послетравматических заболеваний пальцев кисти. Устройство содержит корпус с выточенными по бокам отверстиями для прохождения потоков воздуха. В корпусе...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002506935
Дата охранного документа: 20.02.2014
20.02.2014
№216.012.a1e2

Устройство для получения талой воды

Изобретение относится к устройствам для получения талой воды, в частности для получения талой воды из морской методом вымораживания. Устройство включает корпус, в котором размещены термостатированная рабочая емкость с крышкой и отверстием для слива воды, внутри рабочей емкости находится сетка с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507157
Дата охранного документа: 20.02.2014
20.02.2014
№216.012.a3a9

Конденсационный термоэлектрический шкаф

Изобретение относится к системе охлаждения для компьютерного оборудования и систем питания. Технический результат - предотвращение выхода из строя дорогостроящего оборудования путем поддержания оптимальной температуры. Достигается тем, что в устройстве, состоящем из плотно упакованного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507612
Дата охранного документа: 20.02.2014
20.02.2014
№216.012.a3aa

Каскадное светоизлучающее термоэлектрическое устройство

Изобретение относится к системам охлаждения и теплоотвода, например к устройствам для охлаждения компьютерного процессора. Технический результат - получение сверхнизких температур в процессе охлаждения и теплоотвода. Это достигается тем, что применяются светоизлучающие термомодули....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507613
Дата охранного документа: 20.02.2014
20.02.2014
№216.012.a3bd

Светотранзистор с высоким быстродействием

Изобретение относится к электронным компонентам микросхем. Светотранзистор с высоким быстродействием, выполненный в виде биполярного транзистора с p-n-p или n-p-n-структурой, согласно изобретению в нем p-n-переход, на котором электроны переходят из p зоны в n зону, сформирован в виде...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507632
Дата охранного документа: 20.02.2014
27.07.2014
№216.012.e3eb

Способ химического травления полупроводников

Использование: для изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем (ИС). Сущность изобретения заключается в том, что химическое травление поверхности полупроводников проводят в травителе, состоящем из следующих компонентов: фтористоводородной (HF), азотной (HNO) и уксусной (CHCOOH)...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002524137
Дата охранного документа: 27.07.2014
27.07.2014
№216.012.e3ee

Диффузия фосфора из нитрида фосфора (pn)

Изобретение относится к технологии получения мощных кремниевых транзисторов, в частности к способам получения фосфоросиликатного стекла для формирования p-n-переходов. Изобретение обеспечивает получение равномерного значения поверхностной концентрации по всей поверхности кремниевой пластины и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002524140
Дата охранного документа: 27.07.2014
Showing 1-10 of 147 items.
20.09.2013
№216.012.6c07

Способ протравного крашения шерстяной ткани растительным красителем чертополоха поникающего

Изобретение относится к красильному производству, в частности к способу протравного крашения шерстяной ткани растительным красителем чертополоха поникающего. Способ включает обработку шерстяной ткани в красильной ванне на основе комплексообразователя из группы, включающей соль алюминия, меди,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002493306
Дата охранного документа: 20.09.2013
10.10.2013
№216.012.7182

Реанимационный комплекс для новорожденных

Изобретение относится к медицине, в частности к неонатологии, и предназначено для проведения мероприятий по восстановлению жизненно важных функций новорожденных. Техническим результатом является повышение эффективности проведения восстановительных процедур новорожденного за счет обеспечения его...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002494715
Дата охранного документа: 10.10.2013
27.01.2014
№216.012.9a71

Способ получения купажированного сублимированного сока из овощей

Изобретение относится к консервной и овощесушильной промышленности и может быть применено при получении диетического купажированного сока из белокочанной капусты, столовой свеклы и моркови. Способ заключается в том, что капусту, свеклу и морковь после сортировки, инспекции, мойки, очистки,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002505243
Дата охранного документа: 27.01.2014
27.01.2014
№216.012.9bc8

Малотоннажная установка по утилизации ресурсов малых месторождений природного газа

Изобретение относится к технологиям малотоннажной утилизации непромышленных газов в газовой промышленности. Изобретение касается малотоннажной установки по утилизации ресурсов малых месторождений природного газа, состоящей из последовательно соединенных очистительного модуля, теплообменника...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002505586
Дата охранного документа: 27.01.2014
27.01.2014
№216.012.9ccb

Способ изготовления линз для стоматологических очков

Изобретение может быть использовано для создания очков, используемых при работе с ультрафиолетовым излучением и обеспечивающих одновременную защиту от механических и ультрафиолетовых воздействий. Способ включает послойное напыление на линзы металлов. Проводят последовательное магнетронное...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002505845
Дата охранного документа: 27.01.2014
27.01.2014
№216.012.9d0b

Конструкция статора трехфазного асинхронного двигателя малой мощности

Изобретение относится к области электротехники, в частности к конструкции статора трехфазного асинхронного двигателя (АД) малой мощности с круговым магнитным полем. Технический результат - улучшение электрических и магнитных свойств статора АД и повышение за счет этого его энергетических...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002505909
Дата охранного документа: 27.01.2014
20.02.2014
№216.012.a1e2

Устройство для получения талой воды

Изобретение относится к устройствам для получения талой воды, в частности для получения талой воды из морской методом вымораживания. Устройство включает корпус, в котором размещены термостатированная рабочая емкость с крышкой и отверстием для слива воды, внутри рабочей емкости находится сетка с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507157
Дата охранного документа: 20.02.2014
20.02.2014
№216.012.a23e

Наливка "рубин дагестана"

Наливка, для получения 1000 дал которой используют в л: вишневый морс 1 и 2 слива - 2500-2550, вишневый спиртованный сок - 2500-2550, вишневый сброженно-спиртованный сок, полученный с использованием штамма дрожжей Saccharomyces cerevisiae ВКПМ Y-3587 - 950-1150, ароматный спирт персиков -...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507249
Дата охранного документа: 20.02.2014
20.02.2014
№216.012.a23f

Наливка "пурпурная фантазия"

Наливка, для получения 1000 дал которой используют в л: земляничный морс 1 и 2 слива - 1250-1260, малиновый морс 1 и 2 слива - 1250-1260, земляничный спиртованный сок - 1250-1260, малиновый спиртованный сок - 1250-1260, земляничный сброженно-спиртованный сок, полученный с использованием штамма...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507250
Дата охранного документа: 20.02.2014
20.02.2014
№216.012.a3a9

Конденсационный термоэлектрический шкаф

Изобретение относится к системе охлаждения для компьютерного оборудования и систем питания. Технический результат - предотвращение выхода из строя дорогостроящего оборудования путем поддержания оптимальной температуры. Достигается тем, что в устройстве, состоящем из плотно упакованного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002507612
Дата охранного документа: 20.02.2014
+ добавить свой РИД