×
20.07.2014
216.012.de67

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ ТЕСТИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ МЕТАЛЛОГРАФИЧЕСКОГО АНАЛИЗА НА ОСНОВЕ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к нанотехнологиям и методам проведения металлографического анализа образцов и определения трехмерной топографии их поверхности и структуры с помощью атомно-силовой микроскопии при разрешающей способности в нанометровом диапазоне. Способ тестирования системы металлографического анализа с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) для действующего оборудования в полевых условиях, использующий макет выбранного для анализа конструкционного элемента оборудования. В указанном макете конструкционного элемента выполняют отверстие, в котором устанавливают макетный образец, изготовленный из металла, аналогичного указанному конструкционному элементу, проводят подготовку поверхности полевыми средствами и анализ с помощью полевого варианта СЗМ. Затем сравнивают результаты с результатами анализа этого же макетного образца, полученными лабораторным путем. Техническим результатом является повышение надежности результатов металлографического анализа на действующем оборудовании. 3 з.п. ф-лы, 5 ил.

Область техники, к которой относится изобретение

Заявляемое изобретение относится к нанотехнологиям и методам проведения металлографического анализа образцов и определения трехмерной топографии их поверхности и структуры с помощью атомно-силовой микроскопии при разрешающей способности в нанометровом диапазоне. Предлагаемый способ позволяет имитировать условия работы системы металлографического анализа с использованием сканирующего зондового микроскопа на действующем оборудовании в полевых условиях и проводить сравнение результатов такого анализа с результатами, получаемыми в лаборатории и принимаемыми за эталон.

Уровень техники

Для металлографического анализа действующего оборудования с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) необходимо предварительно отшлифовать, отполировать, протравить поверхность образца, а затем провести ее сканирование с помощью, например, атомно-силового микроскопа (АСМ) в полевых условиях при различных мешающих воздействиях и обстоятельствах (вибрации, вертикальная ориентация поверхностей находящегося в эксплуатации оборудования, запыленность и др.). В этих условиях необходимо, тем не менее, получить изображение с достаточно высоким пространственным разрешением порядка нескольких нанометров. Для этого необходимо разработать специальный способ верификации результатов металлографического анализа с помощью АСМ в подобных полевых условиях.

Известен эталон для анализа структуры сварного металлического шва (заявка на изобретение РФ №94036576), который позволяет провести контроль строения металла в сравнении с эталоном в полевых условиях на действующем оборудовании. К недостаткам указанного технического решения относится невысокое пространственное разрешение, связанное с использованием радиографических средств наблюдения структуры анализируемого объекта.

Известен способ подготовки поверхности металла и проведения металлографического анализа (патенты РФ №2273014 и 2301981), пригодный для работы на действующем оборудовании. Общим с заявляемым изобретением признаком является то, что шлифуют, полируют и протравливают поверхность образца, а затем получают изображение поверхности с помощью микроскопа. К недостаткам указанного способа относится невозможность сравнительного контроля результатов металлографического анализа действующего оборудования и эталонных образцов в лаборатории, чтобы убедиться в работоспособности методики в полевых условиях.

Известен способ (заявка на изобретение РФ №2003104759) определения причины разрушения, проявляющегося при изготовлении, испытаний, сборке, эксплуатации в составе изделий металлических деталей, включающий определение металлографических признаков необратимой водородной хрупкости. К недостаткам указанного способа относится невозможность сравнительного контроля результатов металлографического анализа действующего оборудования и эталонных образцов в лаборатории, чтобы убедиться в работоспособности методики в полевых условиях.

Известен способ (патент РФ №2344402) металлографического определения магния или его сплавов в солевой смеси отходов магниевого производства. Общим с заявляемым изобретением признаком является то, что шлифуют, полируют и протравливают поверхность образца, а затем получают изображение поверхности с помощью микроскопа. Недостатком данного способа является невозможность анализа неотделяемых образцов действующего оборудования.

Наиболее близким по решению технической задачи к настоящему изобретению является патент РФ 2341589, выбранный за прототип. Согласно прототипу, проводят металлографический анализ модельного образца после искусственного ускоренного старения и определяют наличие и число микротрещин. Общим с заявляемым изобретением признаком является то, что шлифуют, полируют и протравливают поверхность образца, а затем получают изображение поверхности с помощью металлографического микроскопа. К недостаткам прототипа относятся невозможность анализа структуры и состояния границ между зернами из-за ограниченной разрешающей способности использовавшейся оптической микроскопии, что снижает информативность и результативность металлографического анализа и не позволяет проводить сравнительный контроль результатов металлографического анализа действующего оборудования и эталонных образцов в лаборатории.

Раскрытие изобретения

Технический результат, достигаемый предлагаемым изобретением, состоит в повышении надежности результатов металлографического анализа на действующем оборудовании, где необходимо работать в усложненных условиях на поверхностях с фиксированной вертикальной, наклонной или горизонтальной ориентацией, в условиях вибраций, пыли и недостаточной жесткости крепления СЗМ.

Предлагаемое изобретение имеет целью создание такого способа анализа поверхности образца, который позволяет проконтролировать правильность подготовки поверхности и качество изображений, получаемых с помощью СЗМ, в усложненных полевых условиях на действующем оборудовании путем сравнения с результатами анализа эталонных образцов в лабораторных условиях.

Для решения поставленной задачи в известном техническом решении по патенту РФ №2341589 (прототип), согласно которому шлифуют, полируют и протравливают поверхность образца, а затем получают изображение поверхности с помощью металлографического микроскопа, в отличие от прототипа, в качестве образца используют макет выбранного для анализа конструкционного элемента оборудования, в макете конструкционного элемента выполняют отверстие, в котором устанавливают макетный образец, изготовленный из металла указанного конструкционного элемента, закрепляют металлографическое оборудование на макете, проводят необходимый анализ и сравнивают результаты с результатами анализа этого же макетного образца, полученными лабораторным способом.

В частном случае реализации предлагаемого изобретения указанное отверстие и макетный образец выполняют с резьбой, позволяющей ввинчивать макетный образец в макет конструкционного элемента таким образом, чтобы торец макетного образца находился на уровне внешней поверхности указанного макета конструкционного элемента.

В другом частном случае реализации предлагаемого изобретения указанный макетный образец закрепляют стопорным винтом, удерживающим макетный образец в макете конструкционного элемента таким образом, чтобы торец макетного образца находился на уровне внешней поверхности указанного макета конструкционного элемента.

Еще в одном случае реализации предлагаемого изобретения на торцевой поверхности указанного макетного образца наносят острием метку в виде креста и сравнивают изображение области вокруг метки, полученное в сканирующем зондовом микроскопе после указанной обработки поверхности на макете, с изображением этой же области, полученным лабораторным способом.

Краткое описание чертежей

На Фиг.1 изображен макет выбранного для анализа конструкционного элемента оборудования в виде трубы, в котором выполнено резьбовое отверстие, а также макетный образец с резьбой и гайка для фиксации макетного образца.

На Фиг.2 приведен вид сбоку на макет со стороны разреза, показанного на Фиг.1.

На Фиг.3 изображен макет выбранного для анализа конструкционного элемента оборудования в виде трубы, в котором выполнено отверстие под гладкий цилиндрический макетный образец и резьбовое отверстие с фиксирующим винтом под углом к оси макетного образца.

На Фиг.4 приведен результат сканирования в атомно-силовом микроскопе для полевых исследований участка поверхности макетного образца, обработанного полевыми средствами на макете конструкционного элемента действующего оборудования в условиях, максимально приближенных к полевым условиям.

На Фиг.5 приведен результат сканирования в атомно-силовом микроскопе участка поверхности макетного образца, обработанного в лабораторных условиях для проведения сравнения с результатами на Фиг.4.

Осуществление изобретения

Для определения внутренней структуры различных материалов и сплавов, в том числе сталей, в промышленной практике широко используются методы неразрушающего металлографического анализа. Эти методы основаны на изучении картин распределения и конфигурации структурных элементов (кристаллических зерен, переходных элементов между зернами и различных других включений) на поверхности специально приготовленного образца с помощью оптических, электронных и атомно-силовых микроскопов. При этом поверхность образца после шлифования и полирования подвергают химическому или электрохимическому травлению таким образом, чтобы искомые структурные элементы металла были различимы после сканирования. Практически важной задачей является проведение металлографического анализа действующего, зачастую крупногабаритного, оборудования, образцы металла с которого невозможно перенести в лабораторию, ориентация исследуемых металлических поверхностей не может быть изменена, а также присутствуют мешающие факторы в виде вибраций, пыли, параметров жесткости крепления СЗМ на действующем оборудовании, качества шлифовки-полировки-травления полевыми средствами и т.п.

Согласно предлагаемому изобретению, для проверки правильности металлографического анализа поверхности действующего оборудования в полевых условиях при различных мешающих воздействиях и обстоятельствах (вибрации, вертикальная ориентация поверхностей находящегося в эксплуатации оборудования, запыленность и др.) проводят предварительное тестирование системы металлографического анализа на основе СЗМ. Для этого используют макет выбранного для анализа конструкционного элемента 1 оборудования, например в виде трубы, показанный на Фиг.1. В макете конструкционного элемента 1 выполняют резьбовое отверстие 2, в которое завинчивают макетный образец 3, изготовленный из металла, аналогичного указанному конструкционному элементу, и имеющий резьбу, соответствующую резьбе отверстия 2. Предварительно на конце макетного образца 3 фрезеруют четырехгранную головку 4 под ключ и, используя гайку 5, фиксируют положение макетного образца 3 таким образом, чтобы поверхность торца 6 макетного образца 3 была установлена вровень с внешней поверхностью макета конструкционного элемента 1. На Фиг.2 показан вид на описанную конструкцию со стороны разреза А-А со стороны гайки 5.

Далее устанавливают макет конструкционного элемента 1 в той же пространственной ориентации, что и реальный элемент действующего оборудования, который будет подвергаться анализу, обеспечивают условия, близкие к реальным полевым - например, устанавливают на электродинамический вибростенд с программируемыми уровнем и частотным спектром вибраций. Затем обрабатывают поверхность торца 6 макетного образца 3 путем шлифования, полирования и травления переносными полевыми средствами со стороны, показанной стрелкой на Фиг.1, закрепляют металлографический СЗМ на макете конструкционного элемента 1 и проводят необходимый анализ, например, в условиях программируемых вибраций. После этого извлекают макетный образец 3, проводят металлографический анализ его поверхности стационарным лабораторным способом, сравнивают результаты анализа макетного образца 3, полученные двумя указанными способами, и делают заключение о пригодности или непригодности методики металлографического анализа, предназначенной для работы на действующем оборудовании в полевых условиях.

Вариант анализа другого типа макетного образца 7, закрепляемого в макете конструкционного элемента 1, приведен на Фиг.3. В макете конструкционного элемента 1 сверлят отверстие 8, в которое вставляют макетный образец 7, изготовленный из металла, аналогичного указанному конструкционному элементу, и имеющий внешний диаметр, близкий к диаметру отверстия 8. В макете конструкционного элемента 1 также делают наклонное резьбовое отверстие 9 и, используя стопорный винт 10, проходящий через отверстие 9, и шлицевую отвертку со стороны, указанной стрелкой 11, фиксируют положение макетного образца 7 таким образом, чтобы поверхность торца 12 макетного образца 7 была установлена вровень с внешней поверхностью макета конструкционного элемента 1.

На Фиг.4 приведен результат сканирования СЗМ участка поверхности макетного образца, обработанного на макете конструкционного элемента 1 действующего оборудования в условиях, максимально приближенных к полевым условиям.

На Фиг.5 приведен результат сканирования в лабораторном атомно-силовом микроскопе Solver участка поверхности того же самого макетного образца 1, обработанного в лабораторных условиях с помощью шлифовально-полировальной машины Buhler. Видно, что на обоих изображениях в одинаковой мере проявляются различные структурные элементы, имеющие различную глубину в зависимости от присущей им скорости травления (зерна феррита с выходом различных кристаллографических граней на поверхность образца, зерна перлита, межзеренные прослойки и др.), что позволяет сделать вывод о работоспособности системы металлографического анализа действующего оборудования с помощью СЗМ в данных полевых условиях.

В результате в качестве критериев правильности работы АСМ в условиях, близких к реальным полевым на действующем оборудовании, используется сравнение контрастности изображений, полученных на макете и в лабораторных условиях, а также измерений ширины межзеренных границ, как участков поверхности, наиболее чувствительных к условиям измерений.

Также для сравнительного анализа на поверхности макетного образца с помощью твердого острия под микроскопом может наноситься метка, например в виде креста, имеющая достаточную глубину для того, чтобы остаться видимой после нескольких циклов шлифовки-полировки-травления. Далее проводят подготовку поверхности и получение АСМ-изображения макетного образца вокруг перекрестия метки как при работе на макете, так и в лабораторных условиях. Эта метка позволяет провести привязку изображений на макете и в лабораторных условиях к одной и той же зоне на поверхности образца и провести наиболее достоверный сравнительный анализ работоспособности метода металлографического анализа с помощью АСМ в различных условиях эксплуатации.


СПОСОБ ТЕСТИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ МЕТАЛЛОГРАФИЧЕСКОГО АНАЛИЗА НА ОСНОВЕ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА
СПОСОБ ТЕСТИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ МЕТАЛЛОГРАФИЧЕСКОГО АНАЛИЗА НА ОСНОВЕ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА
СПОСОБ ТЕСТИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ МЕТАЛЛОГРАФИЧЕСКОГО АНАЛИЗА НА ОСНОВЕ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА
СПОСОБ ТЕСТИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ МЕТАЛЛОГРАФИЧЕСКОГО АНАЛИЗА НА ОСНОВЕ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА
СПОСОБ ТЕСТИРОВАНИЯ СИСТЕМЫ МЕТАЛЛОГРАФИЧЕСКОГО АНАЛИЗА НА ОСНОВЕ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 21-28 of 28 items.
20.11.2014
№216.013.0784

Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система

Многофункциональная сенсорная микроэлектромеханическая система (МЭМС) предназначена для использования в газоанализаторах, в медицине в качестве биосенсоров, в микроэлектронике и других высокотехнологичных областях для контроля технологических процессов. Многофункциональная сенсорная...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002533325
Дата охранного документа: 20.11.2014
10.01.2015
№216.013.17ac

Устройство травления поверхности для металлографического анализа

Изобретение относится к устройству травления поверхности для металлографического анализа образцов. Устройство включает ячейку для протравливания и средства, изолирующие протравливаемую зону от окружающих областей поверхности. При этом в ячейку включены средства для крепления к протравливаемому...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002537488
Дата охранного документа: 10.01.2015
10.01.2015
№216.013.1b48

Сканирующий зондовый микроскоп с устройством для функционирования многозондового датчика

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Микроскоп с устройством включает платформу (1), держатель образца (2) с образцом (3), установленные на сканирующем устройстве (4), сопряженном с платформой (1), блок сближения (5), систему регистрации (6), состоящую из источника...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002538412
Дата охранного документа: 10.01.2015
20.08.2015
№216.013.7145

Способ введения целевых молекул в клетки

Изобретение относится к области биохимии. Предложен способ введения целевых молекул в клетки. Способ включает закрепление на культуральной подложке в питательной среде массива рабочих клеток, а также введение целевых молекул в массив рабочих клеток путем прокола клеточной мембраны. Целевые...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002560567
Дата охранного документа: 20.08.2015
27.05.2016
№216.015.422b

Графеновый спиновый фильтр

Использование: для формирования групп поляризованных электронов с заданной ориентацией спина в устройствах твердотельной электроники. Сущность изобретения заключается в том, что графеновый спиновый фильтр содержит монослой графена с двумя ферромагнитными электродами, изолирующий слой,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002585404
Дата охранного документа: 27.05.2016
13.01.2017
№217.015.66db

Многозондовый датчик контурного типа для сканирующего зондового микроскопа

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии и может использоваться в условиях ограниченного доступа к зондам, например, в вакууме или агрессивной среде. Многозондовый датчик контурного типа содержит основание, на котором по внешнему контуру первыми концами закреплены...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002592048
Дата охранного документа: 20.07.2016
13.01.2017
№217.015.688f

Устройство манипулирования

Устройство манипулирования относится к области точной механики и может быть использовано для точного перемещения объектов, например, в зондовой микроскопии. Заявленное устройство манипулирования включает основание (1) с блоком направляющих, на котором установлена подвижная каретка (2),...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002591871
Дата охранного документа: 20.07.2016
19.06.2019
№219.017.8535

Способ извлечения обломка инструмента из корневого канала зуба и экстрактор для его осуществления

Изобретение относится к области медицины, а именно к стоматологии, и предназначено для извлечения из корневого канала зуба обломка металлического инструмента. Способ включает введение в корневой канал двух изолированных друг от друга металлических электродов. В собранном виде электроды имеют...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002257868
Дата охранного документа: 10.08.2005
Showing 21-30 of 30 items.
10.01.2015
№216.013.1b48

Сканирующий зондовый микроскоп с устройством для функционирования многозондового датчика

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Микроскоп с устройством включает платформу (1), держатель образца (2) с образцом (3), установленные на сканирующем устройстве (4), сопряженном с платформой (1), блок сближения (5), систему регистрации (6), состоящую из источника...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002538412
Дата охранного документа: 10.01.2015
20.08.2015
№216.013.7145

Способ введения целевых молекул в клетки

Изобретение относится к области биохимии. Предложен способ введения целевых молекул в клетки. Способ включает закрепление на культуральной подложке в питательной среде массива рабочих клеток, а также введение целевых молекул в массив рабочих клеток путем прокола клеточной мембраны. Целевые...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002560567
Дата охранного документа: 20.08.2015
27.05.2016
№216.015.422b

Графеновый спиновый фильтр

Использование: для формирования групп поляризованных электронов с заданной ориентацией спина в устройствах твердотельной электроники. Сущность изобретения заключается в том, что графеновый спиновый фильтр содержит монослой графена с двумя ферромагнитными электродами, изолирующий слой,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002585404
Дата охранного документа: 27.05.2016
13.01.2017
№217.015.66db

Многозондовый датчик контурного типа для сканирующего зондового микроскопа

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии и может использоваться в условиях ограниченного доступа к зондам, например, в вакууме или агрессивной среде. Многозондовый датчик контурного типа содержит основание, на котором по внешнему контуру первыми концами закреплены...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002592048
Дата охранного документа: 20.07.2016
13.01.2017
№217.015.688f

Устройство манипулирования

Устройство манипулирования относится к области точной механики и может быть использовано для точного перемещения объектов, например, в зондовой микроскопии. Заявленное устройство манипулирования включает основание (1) с блоком направляющих, на котором установлена подвижная каретка (2),...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002591871
Дата охранного документа: 20.07.2016
20.03.2019
№219.016.e5ff

Способ регистрации и идентификации макромолекул при помощи сопряженной системы на основе сканирующей пробной микроскопии и масс-спектрометрии

Изобретение относится к медицинской диагностике. Предложен способ регистрации специфических макромолекул в биологической пробе с использованием комбинации двух методов: сканирующей зондовой микроскопии и масс-спектрометрии, что позволяет проводить регистрацию макромолекул в растворе аналита...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002351932
Дата охранного документа: 10.04.2009
24.05.2019
№219.017.5ff0

Способ регистрации специфических макромолекул в биологической пробе и устройство для его осуществления

Изобретение относится к медицине, а именно к медицинской диагностике. Предложен способ регистрации специфических макромолекул в биологической пробе с применением устройства, использующего в качестве чувствительного элемента оптический диск (лазерный компакт-диск) с нанесенными на него...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002338199
Дата охранного документа: 10.11.2008
12.07.2019
№219.017.b323

Способ измерения рельефа поверхности объекта с использованием сканирующего зондового микроскопа

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Способ включает первое сканирование поверхности объекта с регистрацией сигнала вертикальных перемещений сканера и сигнала взаимодействия зонда с объектом, второе сканирование поверхности объекта в обратном направлении с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002329465
Дата охранного документа: 20.07.2008
21.01.2020
№220.017.f7bd

Способ дезактивации элемента конструкции ядерного реактора

Изобретение относится к ядерной технике. Способ дезактивации элемента конструкции ядерного реактора включает обработку элемента конструкции ядерного реактора низкотемпературной плазмой при подаче потока химически инертного газа. К выбранной площадке на поверхности элемента конструкции подводят...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002711292
Дата охранного документа: 16.01.2020
14.05.2023
№223.018.5726

Устройство для плазменной дезактивации элементов конструкции ядерного реактора

Устройство относится к области ядерной техники и может быть использовано для очистки и дезактивации металлических конструкционных элементов ядерных энергетических установок и облученной графитовой кладки реакторов. Устройство содержит корпус, диэлектрическую крышку и сменный анод, имеющий форму...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002771172
Дата охранного документа: 28.04.2022
+ добавить свой РИД