×
20.07.2014
216.012.ddf9

Результат интеллектуальной деятельности: СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ВЗРЫВЧАТЫЙ СОСТАВ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к взрывчатым веществам, возбуждаемым когерентным и некогерентным импульсным световым излучением, и может быть использовано в средствах инициирования, в качестве генератора плоских ударных волн, а также в устройствах для обработки металлов энергией взрыва и оптических системах инициирования взрывчатых зарядов. Состав включает, мас.%: светочувствительный комплексный перхлорат металла 60-99,45, оптически прозрачный полимер 0,5-20 и порошок металла 0,05-20%. Изобретение обеспечивает повышение чувствительности состава к световому импульсу и удельной энергии взрывчатого превращения, а также возможность нанесения его в виде покрытия на материалы сложной формы для обработки их профилированными детонационными волнами, формируемыми инициирующими световыми импульсами. 1 табл.
Основные результаты: Светочувствительный взрывчатый состав (СВС), включающий светочувствительный комплексный перхлорат металла и оптически прозрачный полимер, отличающийся тем, что СВС дополнительно включает порошок металла при следующем соотношении компонентов, мас.%:

Изобретение относится к взрывчатым веществам, возбуждаемым когерентным и некогерентным импульсным световым излучением, и может быть использовано в средствах инициирования, в качестве генератора плоских ударных волн, а также в устройствах для обработки металлов энергией взрыва и оптических системах инициирования взрывчатых зарядов.

Перхлоратные металлокомплексы относятся к перспективному классу светочувствительных взрывчатых веществ (восьмому классу инициирующих ВВ), который составляют соли координационных комплексов металлов.

Известен инициирующий взрывчатый состав, чувствительный к лазерному излучению малой мощности, содержащий 5-гидразинотетразол ртути перхлорат (85,7-90,0 мас.%), полимер (поли-2-метил-5-винилтетразол) (9,5-10,0 мас.%) и наноалмазы (0,1-5,0 мас.%) детонационного синтеза (Патент РФ №2 309 139 «Инициирующий взрывчатый состав», MПK9 C06B 45/30, опубл. 27.10.2007, Бюл. №30). Введенные в состав ультрадисперсные частицы алмаза, в условиях взрывчатого превращения, являются температурными концентраторами (так называемыми «горячими точками», повышающими чувствительность состава к инициирующему импульсу («Физика взрыва» под ред. Л.П. Орленко. - М.: ФИЗМАТЛИТ, 2002. - 832 с.)). Недостатком этого инициирующего взрывчатого состава является его относительно малая удельная энергия взрывчатого превращения, что связано с введением во взрывчатый состав инертного компонента - углерода в виде наноалмазов.

Известен светочувствительный инициирующий взрывчатый состав, включающий:

- 5-гидразинотетразол ртути перхлорат (светочувствительный комплексный перхлорат металла, 90 мас.%):

и

- поли-2-метил-5-винилтетразол (ПМВТ) [(CH2-СH)-N4CH3]n[CН3-(CН2-C)-COОН]m (оптически прозрачный полимер, 10 мас.%).

При стабилизации светочувствительного перхлората оптически прозрачным полимером, его чувствительность к световому излучению заметно снижается, что ограничивает эксплуатационные свойства состава. Поэтому для повышения чувствительности энергетических материалов к импульсу к нему добавляют ультрадисперсные алмазы детонационного синтеза (от 0,5 до 5 мас.%). (Монография. М.А. Илюшин, И.В. Целинский, A.M. Судариков. Разработка компонентов высокоэнергетических композиций, Ленинградский государственный университет имени А.С. Пушкина, С.-Пб., 2006, с.80-85, стр.90). Данный состав выбран в качестве прототипа.

Известный состав имеет высокую чувствительность к световому импульсу, но при этом состав демонстрирует неустойчивость инициирования и высокую чувствительность к механическому воздействию, т.е. не обладает необходимой безопасностью. Внутренняя структура состава и его свойства не позволяют использовать его в виде покрытия.

Изобретение направлено на решение задачи разработки светочувствительного взрывчатого состава с более высокой чувствительностью к световому импульсу, повышенной удельной энергией взрывчатого превращения, высокой адгезией с контактной поверхностью.

Технический результат заключается в создании светочувствительного взрывчатого состава, в котором обеспечено повышение чувствительности к инициирующему импульсу, в том числе, когерентным и некогерентным импульсным световым излучениям и удельной энергии взрывчатого превращения, а также в обеспечении возможности нанесения состава в виде покрытия на материалы сложной формы для обработки их профилированными детонационными волнами, формируемыми инициирующими световыми импульсами.

Технический результат достигается за счет того, что заявляемый светочувствительный взрывчатый состав (СВС), включающий светочувствительный комплексный перхлорат металла и оптически прозрачный полимер, в отличие от прототипа дополнительно включает порошок металла при следующем соотношении компонентов, мас.%:

светочувствительный комплексный перхлорат металла: 60-99,45;

оптически прозрачный полимер: 0,5-20;

порошок металла: 0,05-20.

Предложенный состав отличается от известных решений тем, что вместо порошка алмазов используется порошок металла в количестве 0,05-20 мас.% и для повышения безопасности другое содержание комплексного перхлората металла и полимера.

Экспериментальное исследование показало, что в отличие от прототипа в предложенных составах устраняется неустойчивость инициирования, имевшая место при возбуждении детонации при передаче инициирующего импульса через световод диаметром меньше 200 мкм. Применение указанных добавок меняет внутреннюю структуру состава. Рост объемной освещенности внутри заряда, улучшение условий создания «горячих точек» из-за большого показателя преломления с одновременным снижением чувствительности к механическому воздействию позволяет создать как новый безопасный светодетонатор, инициируемый импульсным излучателем широкого спектрального диапазона через световоды диаметром 0,1-1 мм, так и реализовать одновременное инициирование на большой площади, покрытой таким составом. Это позволило использовать состав в виде покрытия на материалы сложной формы.

Изобретение поясняется следующим примером приготовления 10 г твердого светочувствительного состава, содержащего в данном случае (мас.%): ди(3-гидразино-4-амино-1,2,4-триазол) медь (II) перхлорат [Cu(C2H6N6)2](ClO4)2 90%; оптически прозрачного полимера, полиметилметакрилата СH3-(СH2-C)n-COОСH3 5% и мелкодисперсного порошка алюминия 5%:

1 этап - приготовление раствора оптически прозрачного полимера

В колбу, снабженную механической мешалкой, загружают органический растворитель - дихлорэтан, включают мешалку и при перемешивании присыпают порошок полиметилметакрилата, из расчета получения 3%-го раствора. После окончания дозировки полимера дают выдержку до полного его растворения. Полученный раствор сливают в стеклянную емкость и используют по мере необходимости.

2 этап - приготовление светочувствительного взрывчатого состава

Для получения 10 г твердого взрывчатого состава, содержащего 5% полимера и 5% мелкодисперсных частиц алюминия, смешивают 9 г ди(3-гидразино-4-амино-1,2,4-триазол) медь (II) перхлората, 16,5 г раствора оптически прозрачного полимера и 0,5 г мелкодисперсного порошка алюминия марки УДКА.

После испарения растворителя получается твердое покрытие массой 10 г из взрывчатого состава, содержащего 9 г взрывчатого вещества, 0,5 г полимера и 0,5 г порошка алюминия.

Были испытаны составы (соотношения компонентов, мас.%, приводятся в таблице 1), приготовленные по следующей рецептуре:

в светочувствительный комплексный перхлорат металла: ди(3-гидразино-4-амино-1,2,4-триазол) меди (II) перхлорат [Cu(C2H6N6)2](ClO4)2, с добавкой оптически прозрачного полимера (полиметилметакрилат), вводили порошок металла (мелкодисперсный порошок алюминия марки УДКА).

Таблица 1
Состав и результаты испытаний СВС
№ состава ди(3-гидразино-4-амино-1,2,4-триазол) меди (II) перхлорат[Cu(C2H6N6)2](ClO4)2, мас.% полиметилметакрилат CH3-(CH2-C)n-COОСН3, мас.% мелкодисперсный порошок алюминия, марка УДКА, мас.% инициирование световым импульсом (да/нет)
1 99,45 0,5 0,05 да
2 90 7,5 2,5 да
3 90 2,5 7,5 да
4 90 5 5 да
5 80 5 15 да
6 80 15 5 да
7 80 10 10 да
8 70 10 20 да
9 70 20 10 да
10 70 15 15 да
11 60 10 30 нет
12 60 30 10 нет
13 60 20 20 да
14 55 20 25 нет
15 55 25 20 нет
16 55 22,5 22,5 нет

Изготовленные СВС обеспечивали одновременное повышение чувствительности к действию импульса света за счет формирования частицами порошка металла «горячих точек» в массиве СВС при облучении последнего световым импульсом, и высокую удельную энергию взрывчатого превращения при заданных соотношениях компонент.

Испытания полученных СВС показали, что их чувствительность, например, к лазерному импульсу равна 400 Дж/м2, то есть превышает чувствительность исходного инициирующего вещества ди(3-гидразино-4-амино-1,2,4-триазол) меди (II) перхлората.

Кроме этого, испытания показали, что уменьшение содержания полимера в составе до уровня менее 0,5% приводит к значительному снижению адгезии. С течением времени происходит отслоение от материала, на который оно нанесено. При увеличении суммарного количества оптически прозрачного полимера и металлического порошка свыше 40% в составе СВС, существенно понижается чувствительность заряда к действию импульса света - вплоть до отсутствия факта инициирования.

Наряду с этим, нами определено, что оптически прозрачные полимеры и порошки металлов обладают высокой химической совместимостью со светочувствительными комплексными перхлоратами металлов. Это позволяет хранить готовые изделия, содержащие СВС на протяжении достаточно длительного срока (до одного года).

Оптимальное содержание активного компонента ди(3-гидразино-4-амино-1,2,4-триазол) меди (II) перхлората в СВС находится в пределах 99,45-60%. При значениях выше 99,45 мас.% - состав экстремально чувствителен к внешним воздействиям и чрезвычайно опасен в эксплуатации. При значениях менее 60% - чувствительность состава падает ниже границы инициирования световым импульсом.

Оптимальное содержание инертных компонентов (полимера и металла) в инициирующем составе, имеющем высокую чувствительность к световому излучению и высокую адгезию к контактной поверхности, находится, соответственно, в диапазоне 0,55-40%.

В качестве светочувствительного комплексного перхлората металла в составе заявляемого светочувствительного взрывчатого состава были также использованы:

перхлорат (5-цианотетразолато-N2)пентаамминкобальта(III) (вещество СР)

;

- перхлорат тетраамин-цис-бис(5-нитротетразолато-N2)кобальта(III) (вещество BNCP)

;

перхлорат тетрааминбис(1-метил-5-аминотетразол-N3,N4)кобальта(III)

,

который также обладает участком перехода горения в детонацию и может быть заместителем вещества BNCP.

Подтверждено опытным путем возникновение детонации заявляемого светочувствительного взрывчатого состава с использованием перхлората тетрааминбис(5-нитротетразолато) кобальта(III), перхлората тетрааминбис(1-метил-5-аминотетразол) кобальта(III) и перхлората тетрааминбис(5-аминотетразол)кобальта(III). Заявляемый светочувствительный состав с этими соединениями демонстрирует экстремально высокую восприимчивость к лазерному моноимпульсу (λ=1,06 мкм, τ=30 нс).

Для заявляемого светочувствительного взрывчатого состава с использованием перхлората (5-гидразо-1Н-тетразол)ртути(II) пороговая энергия инициирования составляет около 5 мДж/см2, с использованием соединения серебра, являющегося первым представителем нового класса координационных соединений - комплексных перхлоридамидов и перхлората ди-(3-гидразино-4-амино-1,2,3-триазол)меди(II) она несколько выше.

Исследования чувствительности к лазерному моноимпульсу проводились с использованием неодимового лазера (λ=1,06 мкм, τ=30 нс, d=0,48 мм). Образцы были запрессованы в медные капсюли диаметром 5 мм и высотой 2 мм под давлением 400 кг/см2. Критические энергии, вызывающие детонацию образцов, составили для заявляемого светочувствительного состава, включающего комплексные перхлораты меди, кадмия, никеля и кобальта соответственно 1,1·10-5 Дж, 5,03·10-4 Дж, 5,75·10-4 Дж, 1,36·10-3 Дж.

Взрывчатые составы готовились в виде мелкодисперсной суспензии кристаллов комплексного перхлората металла в растворе полиметилметакрилата. Для облучения использовался неодимовый лазер (λ=1,06 мкм, τ=10 нс) с энергией в импульсе до 200 мДж. Изучение влияния концентрации оптически прозрачного для излучения полимера на чувствительность состава определяли при диаметре лазерного пятна 2,8 мм. Влияние диаметра пятна облучения изучали в диапазоне 0,5-1,5 мм. При уменьшении диаметра пятна облучения энергия инициирования уменьшалась, а ее плотность немного увеличивалась. Экстраполяция этих результатов на диаметр 200 мкм, соответствующий диаметру оптического волоконного световода, дает для энергии инициирования значение, меньшее 1 мДж. Увеличение плотности энергии излучения приводило к закономерному снижению времени задержки инициирования. Минимальные времена задержки были отмечены для состава с концентрацией связки 20%.

Светочувствительные взрывчатые составы готовились в виде пластичных композиций со связующим полимером полиметилвинилтетразолом. Проводились исследования с другими прозрачными полимерными связующими, например, с искусственным воском.

Заявляемый светочувствительный состав исследовался как с мелкодисперсным порошком алюминия, марки УДКА, так и с порошком магния и его сплавами.

Полученные результаты исследования свойств и лазерного инициирования заявляемых взрывчатых составов на основе перхлората (5-гидразо-1Н-тетразол)ртути(II) подтверждают обеспечение повышения чувствительности к световому импульсу и удельной энергии взрывчатого превращения, высокой адгезии с контактной поверхностью: расчетная скорость детонации - около 6,0 км/с, температура начала интенсивного разложения - 175°C, температура вспышки - 186°C, кислородный баланс - 12,8%. Энергия инициирования состава при воздействии лазерного моноимпульса (λ=1,06 мкм, τ=30 нс, d=0,48 мм) составляет 5 мДж/см2.

Оптимальное содержание активного компонента комплексного перхлората в СВС находится в пределах 99,45-60%. При значениях выше 99,45 мас.% - состав экстремально чувствителен к внешним воздействиям и чрезвычайно опасен в эксплуатации. При значениях менее 60% - чувствительность состава падает ниже границы инициирования световым импульсом. Оптимальное содержание инертных компонентов (полимера и металла) в инициирующем составе, имеющем высокую чувствительность к световому излучению и высокую адгезию к контактной поверхности, находится, соответственно, в диапазоне 0,55-40%.

Использование заявляемого светочувствительного взрывчатого состава позволяет, по сравнению с известными инициирующими взрывчатыми веществами, наносить его на различные материалы с большой площадью поверхности, обладающие различной конфигурацией. Увеличение прозрачности взрывчатого материала за счет полимера и образование в массиве взрывчатого состава зон с благоприятными условиями инициирования состава («горячих точек») за счет металлического порошка повышает его чувствительность к световому импульсу, что позволяет генерировать детонационные волны сложного профиля, воздействуя на СВС инициирующими световыми импульсами, в соответствии с выбранным алгоритмом.

Светочувствительный взрывчатый состав (СВС), включающий светочувствительный комплексный перхлорат металла и оптически прозрачный полимер, отличающийся тем, что СВС дополнительно включает порошок металла при следующем соотношении компонентов, мас.%:
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 291-300 of 558 items.
10.05.2016
№216.015.3d05

Гидропривод механизма поворота платформы стрелового самоходного крана

Изобретение относится к подъемно-транспортному машиностроению. Гидропривод механизма поворота платформы стрелового самоходного крана содержит насос, бак, гидромотор, гидролинии, односторонние гидрозамки, трехпозиционный кран с электромагнитным управлением, клапан ИЛИ, гидроцилиндр тормоза,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002583820
Дата охранного документа: 10.05.2016
20.05.2016
№216.015.3e7b

Способ контроля качества слоев многослойного ленточного сверхпроводника

Изобретение используется для контроля качества многослойных сверхпроводников в процессе изготовления. Сущность изобретения заключается в том, что в процессе изготовления ленточного сверхпроводника исследуемые поверхности облучают световым потоком и регистрируют параметры отраженного светового...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002584340
Дата охранного документа: 20.05.2016
10.06.2016
№216.015.4511

Замедляющая система

Изобретение относится к электронной технике, в частности к замедляющим системам для СВЧ приборов с длительным взаимодействием. Технический результат - расширение полосы пропускания, увеличение сопротивления связи и расширение функциональных возможностей. Замедляющая система содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586075
Дата охранного документа: 10.06.2016
10.06.2016
№216.015.454c

Защищенная волоконно-оптическая система передачи с селекцией и локализацией аварийных ситуаций

Изобретение относится к волоконно-оптическим системам передачи (ВОСП) с селекцией и локализацией аварийных ситуаций и может быть использовано в качестве защищенной системы передачи информации ограниченного доступа за пределами контролируемой зоны. Защищенная волоконно-оптическая система...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586074
Дата охранного документа: 10.06.2016
10.06.2016
№216.015.45f1

Способ имитации радиолокационных сигналов радиолокационных систем навигации летательных аппаратов

Изобретение относится к области радиолокационной техники и может быть использовано для имитации сигналов различных радиолокационных систем, предназначенных для управления движением летательных аппаратов. Достигаемый технический результат - повышение достоверности имитации радиолокационных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586966
Дата охранного документа: 10.06.2016
10.06.2016
№216.015.46ae

Многоканальная защищенная волоконно-оптическая система передачи со спектральным разделением сигналов

Изобретение относится к защищенным волоконно-оптическим системам передачи и может быть использовано в качестве дуплексной многоканальной волоконно-оптической системы передачи (ВОСП) информации ограниченного доступа по неконтролируемой территории. Технический результат состоит в уменьшении...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586105
Дата охранного документа: 10.06.2016
10.07.2016
№216.015.4a6d

Способ оценки совместимости взрывчатых веществ с конструкционными материалами и устройство для его реализации

Группа изобретений относится к исследованию изменения свойств взрывчатых веществ (ВВ) с помощью воздействия тепловых средств, а также закономерностей процессов термического разложения ВВ в присутствии конструкционных материалов. В способе оценки совместимости взрывчатых веществ с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002589708
Дата охранного документа: 10.07.2016
20.08.2016
№216.015.4a94

Бесчехловая тепловыделяющая сборка ядерного реактора с жидкометаллическим теплоносителем

Изобретение относится к области ядерной техники. Тепловыделяющая сборка для ядерного реактора с жидкометаллическим теплоносителем содержит тепловыделяющие элементы, которые установлены в каркасе, состоящем из направляющих труб, дистанционирующих решеток и хвостовика. Сборка содержит цанговый...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002594357
Дата охранного документа: 20.08.2016
20.08.2016
№216.015.4b7c

Устройство для крепления модуля бланкета на вакуумном корпусе термоядерного реактора

Изобретение относится к области термоядерного синтеза. Устройство для крепления модуля бланкета на вакуумном корпусе термоядерного реактора содержит гибкую полую опору с фланцами, одним из которых опора установлена в посадочное гнездо вакуумного корпуса с образованием резьбового соединения с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002594490
Дата охранного документа: 20.08.2016
27.08.2016
№216.015.4fa1

Устройство ионного распыления (варианты)

Изобретение относится к области ионно-плазменного распыления, в частности к ионно-лучевому распылению мишеней для получения тонкопленочных проводящих, полупроводниковых и диэлектрических покрытий на движущихся или вращающихся подложках большой площади. Устройство ионного распыления содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002595266
Дата охранного документа: 27.08.2016
Showing 291-300 of 422 items.
10.05.2016
№216.015.3d05

Гидропривод механизма поворота платформы стрелового самоходного крана

Изобретение относится к подъемно-транспортному машиностроению. Гидропривод механизма поворота платформы стрелового самоходного крана содержит насос, бак, гидромотор, гидролинии, односторонние гидрозамки, трехпозиционный кран с электромагнитным управлением, клапан ИЛИ, гидроцилиндр тормоза,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002583820
Дата охранного документа: 10.05.2016
20.05.2016
№216.015.3e7b

Способ контроля качества слоев многослойного ленточного сверхпроводника

Изобретение используется для контроля качества многослойных сверхпроводников в процессе изготовления. Сущность изобретения заключается в том, что в процессе изготовления ленточного сверхпроводника исследуемые поверхности облучают световым потоком и регистрируют параметры отраженного светового...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002584340
Дата охранного документа: 20.05.2016
10.06.2016
№216.015.4511

Замедляющая система

Изобретение относится к электронной технике, в частности к замедляющим системам для СВЧ приборов с длительным взаимодействием. Технический результат - расширение полосы пропускания, увеличение сопротивления связи и расширение функциональных возможностей. Замедляющая система содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586075
Дата охранного документа: 10.06.2016
10.06.2016
№216.015.454c

Защищенная волоконно-оптическая система передачи с селекцией и локализацией аварийных ситуаций

Изобретение относится к волоконно-оптическим системам передачи (ВОСП) с селекцией и локализацией аварийных ситуаций и может быть использовано в качестве защищенной системы передачи информации ограниченного доступа за пределами контролируемой зоны. Защищенная волоконно-оптическая система...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586074
Дата охранного документа: 10.06.2016
10.06.2016
№216.015.45f1

Способ имитации радиолокационных сигналов радиолокационных систем навигации летательных аппаратов

Изобретение относится к области радиолокационной техники и может быть использовано для имитации сигналов различных радиолокационных систем, предназначенных для управления движением летательных аппаратов. Достигаемый технический результат - повышение достоверности имитации радиолокационных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586966
Дата охранного документа: 10.06.2016
10.06.2016
№216.015.46ae

Многоканальная защищенная волоконно-оптическая система передачи со спектральным разделением сигналов

Изобретение относится к защищенным волоконно-оптическим системам передачи и может быть использовано в качестве дуплексной многоканальной волоконно-оптической системы передачи (ВОСП) информации ограниченного доступа по неконтролируемой территории. Технический результат состоит в уменьшении...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002586105
Дата охранного документа: 10.06.2016
10.07.2016
№216.015.4a6d

Способ оценки совместимости взрывчатых веществ с конструкционными материалами и устройство для его реализации

Группа изобретений относится к исследованию изменения свойств взрывчатых веществ (ВВ) с помощью воздействия тепловых средств, а также закономерностей процессов термического разложения ВВ в присутствии конструкционных материалов. В способе оценки совместимости взрывчатых веществ с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002589708
Дата охранного документа: 10.07.2016
20.08.2016
№216.015.4a94

Бесчехловая тепловыделяющая сборка ядерного реактора с жидкометаллическим теплоносителем

Изобретение относится к области ядерной техники. Тепловыделяющая сборка для ядерного реактора с жидкометаллическим теплоносителем содержит тепловыделяющие элементы, которые установлены в каркасе, состоящем из направляющих труб, дистанционирующих решеток и хвостовика. Сборка содержит цанговый...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002594357
Дата охранного документа: 20.08.2016
20.08.2016
№216.015.4b7c

Устройство для крепления модуля бланкета на вакуумном корпусе термоядерного реактора

Изобретение относится к области термоядерного синтеза. Устройство для крепления модуля бланкета на вакуумном корпусе термоядерного реактора содержит гибкую полую опору с фланцами, одним из которых опора установлена в посадочное гнездо вакуумного корпуса с образованием резьбового соединения с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002594490
Дата охранного документа: 20.08.2016
27.08.2016
№216.015.4fa1

Устройство ионного распыления (варианты)

Изобретение относится к области ионно-плазменного распыления, в частности к ионно-лучевому распылению мишеней для получения тонкопленочных проводящих, полупроводниковых и диэлектрических покрытий на движущихся или вращающихся подложках большой площади. Устройство ионного распыления содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002595266
Дата охранного документа: 27.08.2016
+ добавить свой РИД