×
10.04.2014
216.012.b34d

Результат интеллектуальной деятельности: СПОСОБ СРАВНИТЕЛЬНОЙ ОЦЕНКИ НАДЕЖНОСТИ ПАРТИЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ИЗДЕЛИЙ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий ППИ (транзисторов, интегральных схем (ИС) и т.д.) и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ППИ как в процессе производства, так и при входном контроле на предприятии-изготовителе радиоэлектронной аппаратуры. Сущность изобретения заключается в том, что на произвольных одинаковых выборках из партий полупроводниковых изделий (не менее 25 штук от каждой партии) проводят измерение электрического информативного параметра до и после воздействия пятью импульсами ЭСР обеих полярностей, потенциалом, допустимым по техническим условиям, затем для последнего измерения вычисляют коэффициент конструктивно-технологического запаса для верхней и нижней норм параметра, далее находят среднее значение изменения величины информативного параметра. По значениям коэффициентов запаса и средних значений величин изменения информативного параметра оценивают сравнительную надежность двух партий. Технический результат: повышение функциональных возможностей способа.
Основные результаты: Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий, в соответствии с которым на произвольных одинаковых выборках (не менее 25 изделий) из партий проводят измерение электрического информативного параметра до и после воздействия пятью импульсами электростатического разряда обеих полярностей, отличающийся тем, что после воздействия электростатического разряда вычисляют коэффициент конструктивно-технологического запаса для верхней или нижней норм параметра и среднее значение изменения информативного параметра, по значениям коэффициента конструктивно-технологического запаса и среднего значения изменения параметра делают вывод о сравнительной надежности партий полупроводниковых изделий.

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий ППИ (транзисторов, интегральных схем (ИС) и т.д.) и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ППИ как в процессе производства, так и при входном контроле на предприятии-изготовителе радиоэлектронной аппаратуры.

Известен способ сравнительной оценки надежности партий ИС [1], в соответствии с которым на произвольных выборках интегральных схем из партий проводят измерение значений динамических параметров до и после воздействия различными по полярности напряжениям пяти электростатических разрядов, предельно допустимом по техническим условиям, и температурного отжига при допустимой максимальной температуре кристалла, а электростатические разряды подают на каждую из пар выводов интегральной схемы: вход - общая точка, выход - общая точка, питание - общая точка, вход - выход, количество циклов воздействия электростатических разрядов и температурного отжига составляет не менее трех, по количеству отказавших интегральных схем делают вывод о сравнительной надежности партий интегральных схем.

Недостаток данного способа - испытание является слишком трудоемким. Изобретение направлено на устранение недостатка и повышение функциональных возможностей способа.

Предложенный способ сравнительной оценки надежности партий ППИ по надежности основывается на измерении электрического информативного параметра X до и после воздействия пятью импульсами ЭСР обеих полярностей потенциалом, допустимым по техническим условиям, на выводы ИС в последовательности, оговариваемой в технических условиях на изделие, и сравнении двух величин: коэффициентов конструктивно-технологического запаса КВ для верхнего или КН для нижнего значения нормы информативного параметра и среднего значения изменения величины информативного параметра АХ после воздействия ЭСР.

Способ осуществляется следующим образом: от каждой партии ПЛИ (количество партий не ограничено) методом случайной выборки отбирают одинаковое количество изделий (не менее 25 от каждой партии) и измеряют значении информативного параметра. Затем проводят испытание изделий на чувствительность к ЭСР путем воздействия пятью ЭСР обеих полярностей напряжением, предельно допустимым по техническим условиям, на различные пары выводов. Для транзисторов это выводы: эмиттер-база; коллектор-база. Подача разрядов на выводы ИС осуществляется в последовательности, приведенной в таблице 1 [2].

Таблица 1
№ воздействия Наименование выводов ИС
цифровых аналоговых
1 Вход - общая точка Вход - общая точка
2 Выход - общая точка Вход - выход
3 Вход - выход Выход - общая точка
4 Питание - общая точка Питание - общая точка

У каждого изделия вновь измеряют значение информативного параметра в нормальных условиях (при давлении 760 мм рт.ст. и температуре 15-30°C), затем для последнего измерения (т.е. для значений параметра после воздействия ЭСР) вычисляют коэффициент конструктивно-технологического запаса по формуле для верхнего значения нормы параметра, или по формуле для нижнего значения нормы параметра, где ХВ, ТУ - верхнее значение нормы, оговоренное в технических условиях, ХН, ТУ - нижнее значение нормы, оговоренное в технических условиях, ХВ - верхнее значение параметра, определенное экспериментально, ХН - нижнее значение параметра, определенное экспериментально, - среднее значение параметра в выборке [3], и значение изменения информативного параметра для каждого изделия в выборке по формуле ΔXi=|XiiЭСР|, где Хi - значение величины информативного параметра до воздействия ЭСР, ХiЭСР - значение величины информативного параметра после воздействия пятью импульсами ЭСР различной полярности, далее находят среднее значение изменения величины информативного параметра АХ для выборки. По значениям коэффициентов запаса и средних значений величин изменения информативного параметра оценивают сравнительную надежность двух партий.

Способ был опробован на выборках из двух партий цифровых интегральных схем типа 134ЛБ1. От каждой партии было отобрано методом случайной выборки по 25 схем и измерены значения выходного напряжения низкого уровня UOL каждой ИС. После воздействия пятью ЭСР обеих полярностей, величиной 200 В, допустимой техническими условиями, на каждую пару выводов, оговоренных в таблице 1, было вновь измерено значение выходного напряжения низкого уровня UOL каждой ИС. Измеренные значения UOL, а также значения изменения величины после ЭСР ΔUOL представлены в таблице 2.

Таблица 2
Партия 1 Партия 2 Партия 1 Партия 2
№ ИС UOL, В UOL, В
Начало измерений После ЭСР Начало измерений После ЭСР ΔUOL, В ΔUOL, В
1 2 3 4 5 6 7
1 0,19 0,18 0,14 0,11 0,01 0,03
2 0,13 0,12 0,12 0,13 0,01 0,01
3 0,17 0,17 0,12 0,14 0 0,02
4 0,16 0,16 0,15 0,12 0 0,03
5 0,17 0,16 0,16 0,14 0,01 0,02
6 0,16 0,16 0,15 0,14 0 0,01
7 0,18 0,17 0,15 0,14 0,01 0,01
8 0,19 0,18 0,15 0,21 0,01 0,06
9 0,18 0,16 0,17 0,16 0,02 0,01
10 0,14 0,13 0,22 0,16 0,01 0,06
11 0,15 0,11 0,15 0,16 0,04 0,01
12 0,18 0,17 0,17 0,14 0,01 0,03
13 0,19 0,18 0,19 0,20 0,01 0,01
14 0,17 0,16 0,21 0,18 0,01 0,03
15 0,17 0,17 0,19 0,17 0 0,02
16 0,15 0,14 0,18 0,15 0,01 0,03
17 0,14 0,14 0,13 0,12 0 0,01
18 0,14 0,13 0,15 0,14 0,01 0,01
19 0,16 0,15 0,23 0,14 0,01 0,09
20 0,17 0,15 0,16 0,21 0,02 0,05
21 0,18 0,17 0,16 0,15 0,01 0,01
22 0,14 0,14 0,16 0,14 0 0,02
23 0,18 0,18 0,15 0,13 0 0,02
24 0,18 0,16 0,14 0,14 0,02 0
25 0,17 0,16 0,19 0,17 0,01 0,02
0,166 0,158 0,164 0,152 0,0096 0,0248

Из таблицы 2 выбраны наибольшие значения UOL для каждой выборки и посчитаны средние значения этого параметра. Значение параметра, указанное в технических условиях, одинаково для обеих выборок и равно UOLTУ≤0,3 В. Далее были посчитаны коэффициенты запаса для верхней нормы используемого параметра после воздействия ЭСР и средние значения изменения параметра UOL для каждой выборки. Коэффициенты запаса и средние значения изменения величины UOL равны КВ1ЭСР=4,58 и ΔUOL1=0,0096 для первой выборки и КВ2ЭСР=1,25 и ΔUOL2=0,0248 для второй выборки. Из полученного результата можно сделать вывод, что первая партия более надежна, чем вторая, так как коэффициент запаса после воздействия ЭСР для выборки из первой партии больше, чем для выборки из второй партии, а среднее значение изменения величины информативного параметра для выборки из первой партии меньше, чем для выборки из второй партии.

Источники информации

1. Патент РФ №2386975 G01R 31/26, опубл. 20.04.2010.

2. Горлов М.И., Ануфриев А.В., Воронцов И.В. Воздействие электростатических зарядов на изделия полупроводниковой электроники и радиоэлектронной аппаратуры // Воронеж: Воронежский государственный университет. 1987. - 160 с.

3. Горлов М.И., Ануфриев Л.И. Обеспечение и повышение надежности полупроводниковых изделий в процессе серийного производства // Мн.: Бестпринт, 2003. - 202 с.

Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий, в соответствии с которым на произвольных одинаковых выборках (не менее 25 изделий) из партий проводят измерение электрического информативного параметра до и после воздействия пятью импульсами электростатического разряда обеих полярностей, отличающийся тем, что после воздействия электростатического разряда вычисляют коэффициент конструктивно-технологического запаса для верхней или нижней норм параметра и среднее значение изменения информативного параметра, по значениям коэффициента конструктивно-технологического запаса и среднего значения изменения параметра делают вывод о сравнительной надежности партий полупроводниковых изделий.
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 11-17 of 17 items.
10.09.2014
№216.012.f197

Способ испытания на коррозионную стойкость интегральных схем

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам испытаний интегральных схем (ИС) на коррозионную стойкость. Сущность: перед испытанием ИС проводят проверку внешнего вида, электрических параметров и проверку герметичности, нагревают до температуры плюс 125°С со скоростью не более...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002527669
Дата охранного документа: 10.09.2014
27.09.2014
№216.012.f95e

Способ разделения интегральных схем "по надежности"

Изобретение относится к контролю качества и надежности интегральных схем (ИС), как логических, так и аналоговых, и может быть использовано как в процессе производства, так и при входном контроле на предприятиях-изготовителях радиоэлектронной аппаратуры. Сущность: на представительной выборке ИС...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002529675
Дата охранного документа: 27.09.2014
27.12.2014
№216.013.1630

Способ разделения интегральных схем по надежности

Изобретение относится к электротехнике, а именно к способам обеспечения качества и надежности интегральных схем (ИС) как логических, так и аналоговых. Сущность изобретения заключается в том, что на представительной выборке проводят измерение критического напряжения питания (КНП) до и после...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002537104
Дата охранного документа: 27.12.2014
10.01.2015
№216.013.19cc

Способ сравнительной оценки надежности партий полупроводниковых изделий

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых изделий ППИ (транзисторов и интегральных схем), и может быть использовано для сравнительной оценки надежности партий ППИ как на этапе производства, так и на входном контроле на...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002538032
Дата охранного документа: 10.01.2015
10.04.2015
№216.013.3c96

Способ сравнительных испытаний по надежности партий интегральных схем

Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к способам обеспечения качества и надежности полупроводниковых интегральных схем (ИС). Сущность: из партий ИС методом случайной выборки отбирают одинаковое количество изделий (не менее 10 от каждой партии) и измеряют значение информативного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002546998
Дата охранного документа: 10.04.2015
10.07.2015
№216.013.5c35

Вертикальный конвейер дроссельных растилен пищевых, пастбищных и фармацевтических растений, осетров, креветок, спирулины

Изобретение относится к растениеводству и животноводству. Предложенный вертикальный конвейер дроссельных растилен пищевых, пастбищных и фармацевтических растений, осетров, креветок и спирулины содержит станину с вертикальными возвратно-поступательного движения конвейером пищевых и пастбищных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002555146
Дата охранного документа: 10.07.2015
19.01.2018
№218.016.0e64

Система пассивной локации для определения координат летательного аппарата в ближней зоне аэродрома и на этапе захода на посадку с резервным каналом определения дальности

Изобретение относится к радиотехнике, а именно к методам и системам пассивной радиолокации, и может быть использовано для определения местоположения в трехмерном пространстве источника радиоизлучения (ИРИ), размещенного на летательном аппарате (ЛА) (самолет, вертолет и т.п.), за счет приема и...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002633380
Дата охранного документа: 12.10.2017
Showing 181-190 of 285 items.
27.11.2015
№216.013.93d5

Ветроколесо сегментного ветроэлектрогенератора

Изобретение относится к ветроэнергетике, а именно к ветроколесам ветроустановок с горизонтальной осью вращения, преимущественно предназначенным для работы с электрогенераторами сегментного типа. Ветроколесо сегментного ветроэлектрогенератора содержит ступицу, спицы, обод, лопасти с лонжеронами,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569464
Дата охранного документа: 27.11.2015
27.11.2015
№216.013.93d8

Статор электрогенератора

Изобретение относится к области ветроэнергетики, в частности к статорам электрогенератора, входящего в состав ветроагрегата. Cтатор электрогенератора содержит магнитопроводы, перемычки, установленные между ними, рабочие и возбуждающие катушки и крепежные элементы. Магнитопроводы выполнены в...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569467
Дата охранного документа: 27.11.2015
27.11.2015
№216.013.93d9

Вертикальный ветродвигатель

Изобретение относится к области ветроэнергетики, в частности к ветродвигателям с вертикальной осью вращения. Вертикальный ветродвигатель содержит вертикальный вал с радиальными перекладинами и чашечными лопастями. Чашечные лопасти снабжены турбулизаторами. Турбулизаторы выполнены в виде...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569468
Дата охранного документа: 27.11.2015
27.11.2015
№216.013.93da

Роторный ветродвигатель

Изобретение относится к области ветроэнергетики. Роторный ветродвигатель содержит вращающиеся основания с приемниками энергии, центральную стойку с поворотным основанием. На поворотном основании укреплены вращающиеся основания. Приемники энергии выполнены в виде Λ-образных стоек. Между нижними...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569469
Дата охранного документа: 27.11.2015
27.11.2015
№216.013.93fa

Ротор ветроэлектрогенератора с вертикальной осью

Изобретение относится к области ветроэнергетики, в частности к ветроэлектрогенераторам сегментного типа. Технический результат заключается в повышении технологичности изготовления ротора. Ротор сегментного ветроэлектрогенератора содержит вал, ступицу, основание, П-образные магнитопроводы. При...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569501
Дата охранного документа: 27.11.2015
27.11.2015
№216.013.93fb

Генератор индукторный

Изобретение относится к индукторным сегментным генераторам, а более конкретно к генераторам, содержащим радиальные спицеобразные роторные элементы, т.е. таким, в качестве роторных элементов которого выступает спицованное колесо, например генератором велосипедов, мотоциклов, автомобилей и т.д....
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569502
Дата охранного документа: 27.11.2015
27.11.2015
№216.013.9429

Способ получения массивов углеродных нанотрубок с управляемой поверхностной плотностью

Изобретение может быть использовано при изготовлении сорбентов и армирующих добавок. Сначала подготавливают ростовую подложку путем нанесения на ее поверхность нанодисперсных частиц катализатора конденсацией микрокапель коллоидного раствора, находящегося под воздействием ультразвука. Во время...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569548
Дата охранного документа: 27.11.2015
27.11.2015
№216.013.942a

Разнотемпературная конденсационная камера

Изобретение относится к оборудованию для пылеулавливания. Разнотемпературная конденсационная камера с газовым трактом преимущественно прямоугольного сечения содержит нижнее днище, верхнее днище, холодную и горячую боковые стенки с устройствами обеспечения разности температур их наружных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569549
Дата охранного документа: 27.11.2015
27.11.2015
№216.013.942b

Способ очистки воздуха в разнотемпературной конденсационной камере

Изобретение относится к процессам пылеулавливания и может быть использовано в любой отрасли народного хозяйства, где требуется улавливание высокодисперсных аэрозолей из воздушного протока, в частности, в пищевой промышленности. Способ очистки воздуха заключается в том, что очищаемый поток...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569550
Дата охранного документа: 27.11.2015
27.11.2015
№216.013.942c

Способ получения отверстий в монокристаллических пластинах кремния

Изобретение относится к полупроводниковой технике, а именно к области создания микроструктурных элементов электронных устройств. Способ получения отверстий в монокристаллических пластинах кремния включает подготовку полупроводниковой пластины путем нанесения на ее поверхность мелкодисперсных...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569551
Дата охранного документа: 27.11.2015
+ добавить свой РИД