×
10.11.2013
216.012.7f39

Результат интеллектуальной деятельности: ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СИЛЫ

Вид РИД

Изобретение

Аннотация: Изобретение может быть использовано для измерения малых давлений с повышенной чувствительностью и точностью. Тензорезисторный преобразователь силы содержит упругий элемент, выполненный за одно целое с опорном кольцом. Упругий элемент выполнен с четырьмя сквозными отверстиями с поперечными прорезями в боковой грани. На плоской поверхности упругого элемента над сквозными отверстиями размещены тензорезисторы. Ширина плоской поверхности упругого элемента в местах расположения тензорезисторов выполнена переменной и определяется соответствующим математическим выражением. где b - максимальная ширина плоской поверхности упругого элемента; h - минимальная толщина поверхности упругого элемента над сквозным отверстием; l - длина рабочей части упругого элемента; Х - текущая координата тензорезистора; r - радиус сквозного отверстия. Техническим результатом является увеличение чувствительности тензорезисторного преобразователя силы и повышение точности измерения малых давлений. 3 ил.
Основные результаты: Тензорезисторный преобразователь силы, содержащий упругий элемент с четырьмя сквозными отверстиями с поперечными прорезями в боковой грани и размещенными над ними тензорезисторами, выполненный за одно целое с опорным кольцом, силопередающий элемент, расположенный посередине между парами отверстий, отличающийся тем, что ширина плоской поверхности упругого элемента в местах расположения тензорезисторов выполнена переменной и определяется следующим математическим выражением: где b - максимальная ширина плоской поверхности упругого элемента;h - минимальная толщина поверхности упругого элемента над сквозным отверстием;l - длина рабочей части упругого элемента;х - текущая координата тензорезистора;r - радиус сквозного отверстия.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, в частности к тензорезисторным преобразователям силы, и может быть использовано в разработке и изготовлении датчиков для измерения малых давлений с максимальной чувствительностью и повышенной точностью.

Известен преобразователь силы [1], содержащий упругий элемент- балку прямоугольного сечения с четырьмя сквозными отверстиями и пропилами нижней стороны. Измеряемое усилие передается через силопередающий элемент, расположенный посередине между парами отверстий. Тензорезисторы установлены на верхнюю поверхность упругого элемента над отверстиями.

Недостатками конструкции данного преобразователя силы являются низкая чувствительность в диапазоне малых давлений, невысокая теплоустойчивость и повышенная трудоемкость изготовления, обусловленные низкой жесткостью упругого элемента.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению (прототипом) является тензорезисторный преобразователь силы [2], содержащий упругий элемент, выполненный с четырьмя сквозными отверстиями с поперечными прорезями в боковой грани и размещенными над ними тензорезисторами, силопередающий элемент, расположенный посередине между парами отверстий. Упругий элемент выполнен за одно целое с опорным кольцом.

Недостатком данной конструкции является низкая чувствительность преобразователя, обусловленная неравномерным распределением деформационных напряжений по длине мембраны за счет ее переменной толщины (фиг.1). Максимальная величина деформации находится в месте минимальной толщины мембраны (h). При увеличении толщины мембраны (hx) величина деформации снижается по нелинейному закону практически до нуля. Тензорезистор, размещенный на поверхности над отверстием, воспринимает максимальную деформацию лишь небольшой частью своей длины, а наибольшая часть тензорезистора воспринимает значительно меньшую деформацию.

Цель изобретения - повышение чувствительности тензорезисторного преобразователя силы при минимальном силовом воздействии на упругий элемент.

Поставленная цель достигается тем, что в тензорезисторном преобразователе силы, содержащем упругий элемент с четырьмя сквозными отверстиями с поперечными прорезями в боковой грани и размещенными над ними тензорезисторами, выполненный за одно целое с опорном кольцом, согласно предлагаемому изобретению, ширина плоской поверхности упругого элемента в местах расположения тензорезисторов выполнена переменной и определяется следующим математическим выражением:

где bx - ширина упругого элемента для текущей координаты хT;

b - максимальная ширина упругого элемента;

hmin - минимальная толщина поверхности упругого элемента над сквозным отверстием;

l - длина упругого элемента;

ХT -текущая координата тензорезистора;

r - радиус сквозного отверстия.

Выполнение ширины плоской поверхности упругого элемента в местах расположения тензорезисторов переменной приводит к выравниванию деформационных напряжений по длине тензорезистора и позволяет воспринимать максимальную деформацию по всей его длине, что значительно увеличивает чувствительность тензорезисторного преобразователя силы при минимальном силовом воздействии на упругий элемент и повышает точность измерения малых давлений.

На фиг.2 изображен предлагаемый тензорезисторный преобразователь силы, который содержит: упругий элемент (1) и опорное кольцо (2). Упругий элемент (1) содержит плоскую поверхность (3) с четырьмя установленными тензорезисторами (4), четыре сквозных отверстия (5) и силопередающий элемент (6), расположенный посередине между парами отверстий (5). Длина участков плоской поверхности (3), выполненная с переменной шириной, равна длине размещенных на них тензорезисторов (4).

На фиг.3 представлен график распределения относительной деформации поверхности данного переменного по ширине упругого элемента в пределах одного отверстия.

Преобразователь силы работает следующим образом.

Измеряемое усилие, воздействуя на упругий элемент (1) через силопередающий элемент (6), изменяет напряжение растяжения и сжатия на плоской поверхности (3) над сквозными отверстиями (5), величина и изменение напряжений фиксируется тензорезисторами (4), расположенными непосредственно над сквозными отверстиями (5). Тензорезистор (4), размещенный на плоской поверхности (3) с выравненными деформационными напряжениями, воспринимает максимальную деформацию по всей своей длине. Тензорези-сторы (4) соединены в мостовую измерительную схему, которая преобразует деформационные напряжения в выходной электрический сигнал.

Таким образом, применение данного технического решения позволит увеличить чувствительность тензорезисторного преобразователя силы при минимальном силовом воздействии на упругий элемент и повысить точность измерения малых давлений.

Тензорезисторный преобразователь силы, содержащий упругий элемент с четырьмя сквозными отверстиями с поперечными прорезями в боковой грани и размещенными над ними тензорезисторами, выполненный за одно целое с опорным кольцом, силопередающий элемент, расположенный посередине между парами отверстий, отличающийся тем, что ширина плоской поверхности упругого элемента в местах расположения тензорезисторов выполнена переменной и определяется следующим математическим выражением: где b - максимальная ширина плоской поверхности упругого элемента;h - минимальная толщина поверхности упругого элемента над сквозным отверстием;l - длина рабочей части упругого элемента;х - текущая координата тензорезистора;r - радиус сквозного отверстия.
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СИЛЫ
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СИЛЫ
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СИЛЫ
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СИЛЫ
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СИЛЫ
ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ СИЛЫ
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 31-40 of 48 items.
20.11.2015
№216.013.914c

Способ изготовления тонкопленочных резисторов

Изобретение относится к области электронной техники, а именно к средствам измерения, в конструкции которых применен тензорезистивный элемент на металлической подложке, изготовленный с использованием тонкопленочной технологии. Способ изготовления тонкопленочных резисторов включает...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002568812
Дата охранного документа: 20.11.2015
20.11.2015
№216.013.91d4

Устройство измерения динамического давления

Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам измерения давления, и может быть использовано при измерении динамического давления совместно с пьезоэлектрическими датчиками динамического давления. Устройство измерения динамического давления содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002568948
Дата охранного документа: 20.11.2015
27.11.2015
№216.013.939e

Камертонный измерительный преобразователь механических напряжений и деформаций

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых преобразователей силы, механических напряжений и деформаций, работоспособных при повышенных и пониженных температурах. Кремниевый камертонный...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569409
Дата охранного документа: 27.11.2015
20.12.2015
№216.013.9b8f

Микромеханический волоконно-оптический датчик давления

Изобретение относится к измерительной технике. Микромеханический волоконно-оптический датчик давления выполнен на основе оптического волокна, содержащего участки ввода и вывода излучения, а также участок, размещенный в пропускном канале корпуса. При этом пропускной канал включает участок для...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002571448
Дата охранного документа: 20.12.2015
27.12.2016
№216.013.9de5

Способ изготовления интегрального микромеханического реле

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении приборов микроэлектромеханических систем, в частности интегральных микромеханических реле и устройств на их основе. Технический результат: повышение надежности и временной стабильности интегрального...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002572051
Дата охранного документа: 27.12.2015
10.01.2016
№216.013.9ecb

Способ изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур

Изобретение относится к приборостроению и может применяться при изготовлении кремниевых микромеханических датчиков, таких как датчики давления и акселерометры. Сущность изобретения: в способе изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур на кремниевой пластине создают защитный слой,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002572288
Дата охранного документа: 10.01.2016
11.03.2019
№219.016.da9b

Преобразователь линейных перемещений

Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники Сущность: преобразователь содержит дифференциально-трансформаторный датчик 3, который состоит из первичной питающей обмотки 2, двух вторичных полуобмоток 4, 5, подвижного якоря 15, закрепленного на объекте измерения. Блок питания...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002366892
Дата охранного документа: 10.09.2009
11.03.2019
№219.016.dc14

Многофункциональный измерительный модуль

Изобретение относится к измерительной технике. Техническим результатом изобретения является расширение собственной частоты и диапазона измерения ускорения, расширение температурного диапазона, а также обеспечение одновременного измерения давления, ускорения, температуры. Сущность изобретения:...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002457577
Дата охранного документа: 27.07.2012
19.04.2019
№219.017.2e39

Способ стабилизации упругого элемента датчика давления с тензорезисторами под давлением

Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления датчиков, преимущественно тонкопленочных тензометрических датчиков давления. Техническим результатом изобретения является повышение качества и надежности упругого элемента датчика давления (УЭ ДД), повышение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002399894
Дата охранного документа: 20.09.2010
19.04.2019
№219.017.33f4

Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (НиМЭМС), предназначенным для использования при воздействии нестационарных температур и повышенных виброускорений. Технический результат: уменьшение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002463570
Дата охранного документа: 10.10.2012
Showing 31-39 of 39 items.
20.11.2015
№216.013.914c

Способ изготовления тонкопленочных резисторов

Изобретение относится к области электронной техники, а именно к средствам измерения, в конструкции которых применен тензорезистивный элемент на металлической подложке, изготовленный с использованием тонкопленочной технологии. Способ изготовления тонкопленочных резисторов включает...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002568812
Дата охранного документа: 20.11.2015
20.11.2015
№216.013.91d4

Устройство измерения динамического давления

Предлагаемое изобретение относится к измерительной технике, в частности к средствам измерения давления, и может быть использовано при измерении динамического давления совместно с пьезоэлектрическими датчиками динамического давления. Устройство измерения динамического давления содержит...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002568948
Дата охранного документа: 20.11.2015
27.11.2015
№216.013.939e

Камертонный измерительный преобразователь механических напряжений и деформаций

Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых преобразователей силы, механических напряжений и деформаций, работоспособных при повышенных и пониженных температурах. Кремниевый камертонный...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002569409
Дата охранного документа: 27.11.2015
20.12.2015
№216.013.9b8f

Микромеханический волоконно-оптический датчик давления

Изобретение относится к измерительной технике. Микромеханический волоконно-оптический датчик давления выполнен на основе оптического волокна, содержащего участки ввода и вывода излучения, а также участок, размещенный в пропускном канале корпуса. При этом пропускной канал включает участок для...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002571448
Дата охранного документа: 20.12.2015
27.12.2016
№216.013.9de5

Способ изготовления интегрального микромеханического реле

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении приборов микроэлектромеханических систем, в частности интегральных микромеханических реле и устройств на их основе. Технический результат: повышение надежности и временной стабильности интегрального...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002572051
Дата охранного документа: 27.12.2015
10.01.2016
№216.013.9ecb

Способ изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур

Изобретение относится к приборостроению и может применяться при изготовлении кремниевых микромеханических датчиков, таких как датчики давления и акселерометры. Сущность изобретения: в способе изготовления глубокопрофилированных кремниевых структур на кремниевой пластине создают защитный слой,...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002572288
Дата охранного документа: 10.01.2016
19.04.2019
№219.017.2dd7

Датчик давления

Изобретение может быть использовано для измерения давления с повышенной точностью в широком диапазоне рабочих температур. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения давления за счет линеаризации температурной характеристики начального выходного сигнала датчика во...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002342642
Дата охранного документа: 27.12.2008
19.04.2019
№219.017.33f4

Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к датчикам давления с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой (НиМЭМС), предназначенным для использования при воздействии нестационарных температур и повышенных виброускорений. Технический результат: уменьшение...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002463570
Дата охранного документа: 10.10.2012
29.04.2019
№219.017.46a0

Датчик давления

Изобретение относится к измерительной технике. Сущность: датчик давления содержит корпус, мембрану (1) радиуса r, выполненную с жестким центром (2) радиуса r и утолщенным периферийным основанием (3). На мембране сформированы тензорезисторы (R1-R8), выполненные в виде соединенных низкоомными...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002464538
Дата охранного документа: 20.10.2012
+ добавить свой РИД