×
27.01.2013
216.012.2191

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА

Вид РИД

Изобретение

Юридическая информация Свернуть Развернуть
Краткое описание РИД Свернуть Развернуть
Аннотация: Устройство для получения высокочастотного емкостного газового разряда относится к плазменной технике и может быть использовано для возбуждения высокочастотного емкостного газового разряда, применяемого для обработки различных изделий высокочастотной низкотемпературной плазмой пониженного давления и в качестве активного элемента газового лазера. Заявленное устройство представляет собой диэлектрическую газонаполненную камеру, вблизи или внутри которой размещены, по меньшей мере, две пары параллельных проволочных электродов, часть которых подключена к ВЧ-генератору, оставшиеся заземлены, при этом подключение электродов к ВЧ-генератору и подключение оставшихся электродов к заземлению осуществлено параллельным способом, причем подключенные к ВЧ-генератору электроды чередуются через один с заземленными электродами. Каждый проволочный электрод выполнен в виде петли и размещен по периметру на внешней стороне диэлектрической газонаполненной камеры. Внутри диэлектрической газонаполненной камеры коаксиально установлен дополнительный проволочный электрод на диэлектрических опорах. Техническим результатом является обеспечение пространственной однородности и устойчивости горения высокочастотного емкостного газового разряда во всем объеме диэлектрической газонаполненной камеры. 3 ил.
Основные результаты: Устройство для получения высокочастотного емкостного газового разряда, представляющее собой диэлектрическую газонаполненную камеру, вблизи или внутри которой размещены, по меньшей мере, две пары параллельных проволочных электродов, часть которых параллельным способом подключена к ВЧ-генератору, а оставшиеся заземлены параллельным способом, причем подключенные к ВЧ-генератору электроды чередуются через один с заземленными электродами, отличающееся тем, что каждый проволочный электрод выполнен в виде петли и размещен по периметру на внешней стороне диэлектрической газонаполненной камеры, а внутри диэлектрической газонаполненной камеры коаксиально установлен на диэлектрических опорах дополнительный проволочный электрод.
Реферат Свернуть Развернуть

Изобретение относится к плазменной технике и может быть использовано для возбуждения высокочастотного емкостного газового разряда (ВЧЕ-разряда), применяемого для обработки различных изделий высокочастотной низкотемпературной плазмой пониженного давления и в качестве активного элемента газового лазера.

Прототипом является устройство для получения ВЧЕ-разряда, представляющее собой диэлектрическую газонаполненную камеру, внутри которой размещены, по меньшей мере, две пары параллельных проволочных электродов, часть которых подключена к ВЧ-генератору, а оставшиеся заземлены, при этом все электроды находятся в одной плоскости в ряд, причем подключенные к ВЧ-генератору электроды чередуются через один с заземленными электродами, а подключение электродов к ВЧ-генератору и подключение оставшихся электродов к заземлению осуществлено параллельным способом (пат. RU №2187217, МПК7 Н05Н 1/30, опубл. 10.08.2002).

Основным недостатком известного устройства является то, что устройство формирует плазму в виде листа, однородного только вдоль своей поверхности и прилегающего к плоскости диэлектрической газонаполненной камеры, вблизи которой все проволочные электроды расположены в одной плоскости в ряд.

Задачей изобретения является обеспечение пространственной однородности и устойчивости горения ВЧЕ-разряда во всем объеме диэлектрической газонаполненной камеры.

Технический результат достигается тем, что в устройстве для получения ВЧЕ-разряда, представляющем собой диэлектрическую газонаполненную камеру, вблизи или внутри которой размещены, по меньшей мере, две пары параллельных проволочных электродов, часть которых параллельным способом подключена к ВЧ-генератору, а оставшиеся заземлены параллельным способом, причем подключенные к ВЧ-генератору электроды чередуются через один с заземленными электродами, согласно изобретению каждый проволочный электрод выполнен в виде петли и размещен по периметру на внешней стороне диэлектрической газонаполненной камеры, а внутри диэлектрической газонаполненной камеры коаксиально установлен на диэлектрических опорах дополнительный проволочный электрод.

Техническим результатом при использовании изобретения является возможность получения устойчивого, однородного высокочастотного ВЧЕ-разряда, заполняющего весь объем диэлектрической газонаполненной камеры.

В отличие от прототипа в предлагаемом изобретении проволочные электроды выполнены в форме петли и размещены на внешней стороне диэлектрической газонаполненной камеры по ее периметру, что обеспечивает распределение ВЧЕ-разряда по всему объему диэлектрической газонаполненной камеры. Предлагаемая конфигурация электродов при синфазном подключении проволочных электродов к ВЧ-генератору и к заземлению выравнивает электромагнитную составляющую поля и не создает во всем объеме диэлектрической газонаполненной камеры точек с нулевым значением поля, что обеспечивает однородность горения ВЧЕ-разряда по всему объему диэлектрической газонаполненной камеры. Дополнительный электрод, коаксиально установленный на диэлектрических опорах внутри диэлектрической газонаполненной камеры, обеспечивает устойчивость горения ВЧЕ-разряда.

Пример конструкции устройства для получения ВЧЕ-разряда показан на чертежах, где

на фиг.1 представлен общий вид устройства;

на фиг.2 изображен поперечный разрез устройства в плоскости А-А;

на фиг.3 представлен поперечный разрез устройства в плоскости Б-Б.

Устройство для получения высокочастотного емкостного газового разряда содержит диэлектрическую газонаполненную камеру 1, ВЧ-генератор 2, заземление 3 и систему электродов. Система электродов содержит группу проволочных электродов 4, подключенных к ВЧ-генератору 2, группу проволочных электродов 5, подключенных к заземлению 3, и дополнительный проволочный электрод 6. Проволочные электроды 4 и 5 выполнены в виде петли и размещены по периметру на внешней стороне диэлектрической газонаполненной камеры 1. Подключенные к ВЧ-генератору 2 электроды 4 чередуются через один с заземленными электродами 5. Подключение электродов 4 к ВЧ-генератору 2 и подключение электродов 5 к заземлению 3 осуществлено параллельным способом. Заземление 3 выполнено стандартным способом. Для исключения взаимной связи подводящих шнуров от ВЧ-генератора 2 и заземления 3 петлеобразные проволочные электроды 4 и 5 охватывают газоразрядную камеру 1 с противоположных сторон. Внутри диэлектрической газонаполненной камеры 1 коаксиально установлен дополнительный проволочный электрод 6 на диэлектрических опорах 7. Диэлектрическая газонаполненная цилиндрическая камера 1 имеет средства откачки и напуска газа необходимого давления.

Устройство работает следующим образом.

Сначала проводят вакуумирование диэлектрической газонаполненной камеры 1, а затем подают в нее плазмообразующий газ (например, аргон, азот, углекислый газ или их смесь) при давлении 10-60 Па. После включения ВЧ-генератора 2 в камере 1 зажигается ВЧЕ-разряд и формируется устойчивая плазма 8, заполняющая весь объем диэлектрической газонаполненной камеры 1, с пространственной однородностью горения ВЧЕ-разряда во всем ее объеме.

Были проведены испытания экспериментальной установки для получения высокочастотного емкостного разряда. Диэлектрическая газонаполненная камера была выполнена из кварцевой трубки диаметром 30 мм, толщиной 3 мм и длиной 2000 мм. Частота ВЧ-генератора составляла 13,56 МГц, выходная мощность 1 кВт. Проволочные петлеобразные медные электроды, числом 36 пар, диаметром 2 мм и длиной 100 мм размещали на внешней стороне диэлектрической газонаполненной камеры по ее периметру. Расстояние между соседними проволочными электродами составляло 25 мм. Внутри диэлектрической газонаполненной цилиндрической камеры коаксиально устанавливали дополнительный проволочный медный электрод диаметром 4 мм и длиной 2000 мм на диэлектрических опорах.

Для доказательства образования ВЧЕ-разряда, однородного по всему объему диэлектрической газоразрядной камеры, был проведен следующий эксперимент. Образец лавсановой бумаги размером 10×2000 мм помещали в газоразрядную диэлектрическую камеру и обрабатывали в ВЧЕ-разряде при следующих режимных условиях: напряжение - 2 кВ, ток - 2 А, плазмообразующий газ - аргон, давление в газоразрядной диэлектрической камере - 30 Па, время обработки - 2 мин. Затем измеряли показатель смачиваемости по всей длине образца лавсановой бумаги через каждые 30 мм. В результате эксперимента было установлено, что показатель смачиваемости обработанного ВЧЕ-разрядом образца увеличился на 70% по сравнению с необработанным, при этом величина показателя смачиваемости не изменялась по всей длине обработанного образца. Во время эксперимента визуально было определено устойчивое образование ВЧЕ-разряда, однородно заполняющего весь объем диэлектрической газоразрядной камеры.

Таким образом, предлагаемое изобретение в отличие от прототипа обеспечивает устойчивость и пространственную однородность горения ВЧЕ-разряда во всем объеме диэлектрической газонаполненной камеры.

Устройство для получения высокочастотного емкостного газового разряда, представляющее собой диэлектрическую газонаполненную камеру, вблизи или внутри которой размещены, по меньшей мере, две пары параллельных проволочных электродов, часть которых параллельным способом подключена к ВЧ-генератору, а оставшиеся заземлены параллельным способом, причем подключенные к ВЧ-генератору электроды чередуются через один с заземленными электродами, отличающееся тем, что каждый проволочный электрод выполнен в виде петли и размещен по периметру на внешней стороне диэлектрической газонаполненной камеры, а внутри диэлектрической газонаполненной камеры коаксиально установлен на диэлектрических опорах дополнительный проволочный электрод.
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ЕМКОСТНОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА
Источник поступления информации: Роспатент

Showing 1-10 of 39 items.
20.02.2013
№216.012.2728

Способ гидрофобизации кожевенно-меховых материалов

Изобретение относится к кожевенной промышленности. Способ гидрофобизации кожевенно-мехового материала, который включает его обработку, причем обработку осуществляют путем воздействия на кожевенно-меховой материал низкотемпературной плазмой высокочастотного разряда при давлении в рабочей камере...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475544
Дата охранного документа: 20.02.2013
27.02.2013
№216.012.2ceb

Высокочастотный плазмотрон

Изобретение относится к области плазменной техники и касается конструкции высокочастотного проточного индукционного плазмотрона атмосферного давления, в частности к плазмотронам для разогрева задымленных продуктов сгорания топлива, отходов, в том числе медицинских, и воздуха. Техническим...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002477026
Дата охранного документа: 27.02.2013
27.06.2013
№216.012.4ee2

Способ производства кондитерской кремово-сбивной массы и кондитерская кремово-сбивная масса, полученная этим способом

Изобретение относится к кондитерской промышленности, а именно к производству кондитерской массы, используемой для изготовления сахаристых изделий, таких как кремовые конфеты, так и для приготовления кремовой массы, используемой для отделки мучных кондитерских изделий. Способ характеризуется...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002485787
Дата охранного документа: 27.06.2013
10.09.2013
№216.012.670c

Плазмохимический способ получения модифицированного ультрадисперсного порошка

Изобретение относится к плазменной технологии и может быть использовано для получения модифицированных ультрадисперсных порошков в едином технологическом цикле. Способ включает получение в едином технологическом цикле сначала ультрадисперсного порошка путем воздействия на сырье плазмой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492027
Дата охранного документа: 10.09.2013
27.09.2013
№216.012.6f69

Способ получения износостойкого покрытия

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на рабочие элементы технологического оборудования и может быть использовано в металлообработке, в медицинском инструментарии, в инструментальном и ремонтном производствах для получения покрытий инструмента. Покрытие наносят...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002494172
Дата охранного документа: 27.09.2013
10.05.2014
№216.012.c0ea

Полимерная композиция, стойкая к воздействию ионизирующего излучения.

Изобретение относится к полимерным композициям на основе полиолефинов и может быть использовано в производстве волокон и нетканых материалов для изготовления изделий медицинского назначения. Композиция содержит сополимер пропилена с от 3 до 11 мас.% этилена и показателем текучести расплава от...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515135
Дата охранного документа: 10.05.2014
10.05.2014
№216.012.c291

Полимерная композиция, стойкая к воздействию ионизирующего излучения.

Изобретение относится к полимерным композициям на основе полиолефинов и может быть использовано в производстве волокон и нетканых материалов для изготовления изделий медицинского назначения. Полимерная композиция содержит сополимер пропилена с этиленом, содержит от 3 до 11 мас.% этилена и с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515558
Дата охранного документа: 10.05.2014
20.05.2014
№216.012.c2c1

Полимерная композиция, стойкая к воздействию ионизирующего излучения.

Изобретение относится к полимерным композициям на основе полиолефинов и может быть использовано в производстве волокон и нетканых материалов для изготовления изделий медицинского назначения. Композиция содержит сополимер пропилена с 3 до 11 мас.% этилена и показателем текучести расплава от 25...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515616
Дата охранного документа: 20.05.2014
10.11.2014
№216.013.04eb

Способ заточки режущей кромки микрохирургических ножниц

Изобретение относится к производству медицинской техники и может быть использовано при заточке микрохирургических ножниц, предназначенных для рассечения мягких тканей сосудов, требующих особой точности. Способ заточки включает предварительную механическую заточку режущей кромки заготовки ножниц...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002532657
Дата охранного документа: 10.11.2014
10.12.2014
№216.013.0d9b

Полимерная композиция, стойкая к воздействию ионизирующего излучения

Изобретение относится к стойким к воздействию ионизирующего излучения полимерным композициям на основе полиолефинов и может быть использовано в производстве волокон и нетканых материалов для изготовления изделий медицинского назначения. Полимерная композиция содержит сополимер пропилена с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534900
Дата охранного документа: 10.12.2014
Showing 1-10 of 20 items.
20.02.2013
№216.012.2728

Способ гидрофобизации кожевенно-меховых материалов

Изобретение относится к кожевенной промышленности. Способ гидрофобизации кожевенно-мехового материала, который включает его обработку, причем обработку осуществляют путем воздействия на кожевенно-меховой материал низкотемпературной плазмой высокочастотного разряда при давлении в рабочей камере...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002475544
Дата охранного документа: 20.02.2013
27.02.2013
№216.012.2ceb

Высокочастотный плазмотрон

Изобретение относится к области плазменной техники и касается конструкции высокочастотного проточного индукционного плазмотрона атмосферного давления, в частности к плазмотронам для разогрева задымленных продуктов сгорания топлива, отходов, в том числе медицинских, и воздуха. Техническим...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002477026
Дата охранного документа: 27.02.2013
27.06.2013
№216.012.4ee2

Способ производства кондитерской кремово-сбивной массы и кондитерская кремово-сбивная масса, полученная этим способом

Изобретение относится к кондитерской промышленности, а именно к производству кондитерской массы, используемой для изготовления сахаристых изделий, таких как кремовые конфеты, так и для приготовления кремовой массы, используемой для отделки мучных кондитерских изделий. Способ характеризуется...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002485787
Дата охранного документа: 27.06.2013
10.09.2013
№216.012.670c

Плазмохимический способ получения модифицированного ультрадисперсного порошка

Изобретение относится к плазменной технологии и может быть использовано для получения модифицированных ультрадисперсных порошков в едином технологическом цикле. Способ включает получение в едином технологическом цикле сначала ультрадисперсного порошка путем воздействия на сырье плазмой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002492027
Дата охранного документа: 10.09.2013
27.09.2013
№216.012.6f69

Способ получения износостойкого покрытия

Изобретение относится к способам нанесения износостойких покрытий на рабочие элементы технологического оборудования и может быть использовано в металлообработке, в медицинском инструментарии, в инструментальном и ремонтном производствах для получения покрытий инструмента. Покрытие наносят...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002494172
Дата охранного документа: 27.09.2013
10.05.2014
№216.012.c0ea

Полимерная композиция, стойкая к воздействию ионизирующего излучения.

Изобретение относится к полимерным композициям на основе полиолефинов и может быть использовано в производстве волокон и нетканых материалов для изготовления изделий медицинского назначения. Композиция содержит сополимер пропилена с от 3 до 11 мас.% этилена и показателем текучести расплава от...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515135
Дата охранного документа: 10.05.2014
10.05.2014
№216.012.c291

Полимерная композиция, стойкая к воздействию ионизирующего излучения.

Изобретение относится к полимерным композициям на основе полиолефинов и может быть использовано в производстве волокон и нетканых материалов для изготовления изделий медицинского назначения. Полимерная композиция содержит сополимер пропилена с этиленом, содержит от 3 до 11 мас.% этилена и с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515558
Дата охранного документа: 10.05.2014
20.05.2014
№216.012.c2c1

Полимерная композиция, стойкая к воздействию ионизирующего излучения.

Изобретение относится к полимерным композициям на основе полиолефинов и может быть использовано в производстве волокон и нетканых материалов для изготовления изделий медицинского назначения. Композиция содержит сополимер пропилена с 3 до 11 мас.% этилена и показателем текучести расплава от 25...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002515616
Дата охранного документа: 20.05.2014
10.11.2014
№216.013.04eb

Способ заточки режущей кромки микрохирургических ножниц

Изобретение относится к производству медицинской техники и может быть использовано при заточке микрохирургических ножниц, предназначенных для рассечения мягких тканей сосудов, требующих особой точности. Способ заточки включает предварительную механическую заточку режущей кромки заготовки ножниц...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002532657
Дата охранного документа: 10.11.2014
10.12.2014
№216.013.0d9b

Полимерная композиция, стойкая к воздействию ионизирующего излучения

Изобретение относится к стойким к воздействию ионизирующего излучения полимерным композициям на основе полиолефинов и может быть использовано в производстве волокон и нетканых материалов для изготовления изделий медицинского назначения. Полимерная композиция содержит сополимер пропилена с...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002534900
Дата охранного документа: 10.12.2014
+ добавить свой РИД