Автор РИД: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технологический университет" СТАНКИН" (ФГБОУ ВО "МГТУ "СТАНКИН")

Изобретение относится к устройствам для осаждения покрытий на изделия в вакуумной камере и предназначено для получения изделий со сверхтвердыми покрытиями с улучшенной адгезией и низким коэффициентом трения за счет добавления к осаждаемым на изделии атомам распыляемой магнетронной мишени атомов...