Автор РИД: Акционерное общество "Инерциальные технологии "Технокомплекса" (АО "ИТТ")

Изобретение относится к области приборостроения и может быть использовано при изготовлении чувствительных элементов, применяемых при изготовлении микромеханических акселерометров, микрогироскопов, интегральных датчиков давления. Способ диффузионной сварки монокристаллического кремния и стекла...

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа и схемам подстройки параметров колебательных контуров подвеса в этих гироскопах. Способ настройки вибрационного кольцевого датчика угловых скоростей (ДУС), в котором вначале измеряют...