Автор РИД: Общество с ограниченной ответственностью "КАРСИ" (ООО "КАРСИ")

Изобретение относится к технологии химического осаждения из газовой фазы CVD и может быть использовано для синтеза углеродных наноматериалов, таких как пленки графена, многослойного графена, углеродных нанотрубок. Система химического осаждения из газовой фазы для роста графена содержит...