×

Автор РИД: ВЕЙПОР ТЕКНОЛОДЖИЗ, ИНК. (US)

Показаны записи 1-1 из 1.
27.07.2019
№219.017.b9bb

Плазменно-иммерсионная ионная обработка и осаждение покрытий из паровой фазы при содействии дугового разряда низкого давления

Изобретение относится к системе для плазменного напыления покрытий (варианты) и установке для плазменного напыления покрытий (варианты). Система содержит катод магнетрона с длинной кромкой и короткой кромкой. Магнитный полюс магнетрона обеспечивает создание электромагнитного барьера. По...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002695685
Дата охранного документа: 25.07.2019
+ добавить свой РИД