Автор РИД: Институт ядерной физики СО РАН

Изобретение относится к вакуумной технике, к вакуумным затворам и шиберам и предназначено для использования в высоковакуумных системах, допускающих прогрев до 400°С. Высоковакуумный цельнометаллический шибер содержит механизмы уплотнительного узла и привода, выполненные на разъемном фланце как...

Способ проведения теневой трафаретной рентгеновской литографии, при котором рентгеношаблон, содержащий несущую мембрану со сформированным на ее рабочей поверхности металлическим рентгенопоглощающим топологическим рисунком и обрабатываемую подложку с нанесенным на ее рабочую поверхность слоем...