×

Автор РИД: Федеральное государственное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований" (ФГУП "ГНЦ РФ ТРИНИТИ")

Показаны записи 1-1 из 1.
09.06.2019
№219.017.7a76

Мощный источник эуф излучения

Использование: для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения. Сущность: заключается в том, что мощный источник ЭУФ излучения с двумя жестко закрепленными на валу вращения дискообразными электродами содержит систему инициирования разряда в периферийной области межэлектродного...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002383074
Дата охранного документа: 27.02.2010
+ добавить свой РИД