Автор РИД: АСМЛ Недерландс Б.В. (NL)

Изобретение относится к способу коррекции эффекта близости, например, который можно выполнить в системе для литографии пучками заряженных частиц. Технический результат – выполнение улучшенного способа коррекции эффекта близости пучка заряженных частиц. Достигается тем, что в способе, содержащем...

Изобретение относится к катодному устройству. Катодное устройство (20) содержит: тело (22) катода, вмещающее эмиссионную поверхность (32) для эмиссии электронов в продольном направлении (Z), причем эмиссионная поверхность ограничена периметром (35) эмиссии; фокусирующий электрод (40) по меньшей...