Автор РИД: Общество с ограниченной ответственностью "Группа СТР"

Изобретение может быть использовано в производстве поликристаллического кремния Сименс-процессом. Газовую смесь на основе хлорсиланов или их смесей подают в, по крайней мере, два связанных единым технологическим циклом реактора, соединенные между собой последовательно системой патрубков. На...