Автор РИД: Общество с ограниченной ответственностью "Агентство маркетинга научных разработок"

Установка для формирования рисунка на поверхности пластин для расширения функциональных возможностей содержит формирователь матрицы ионных пучков, выполненный с возможностью формирования ленточных ионных пучков, наклонно падающих на поверхность пластины в свободном от электростатических полей...

Способ формирования рисунка на поверхности пластины для повышения качества рисунка заключается в том, что задают распределение потока ионов на основании выбранной длины волны так, чтобы при распылении кремния этим потоком формировалась волнообразная структура при очередном роcте волн. 9 з.п....

Установка для формирования рисунка на поверхности пластин для повышения качества рисунка выполнена с обеспечением возможности перемещения ионного пучка по поверхности пластины с постоянной скоростью в направлении, параллельном плоскости осей колонн ионного и электронного пучков. 3 з.п.ф-лы, 1 ил.