×

Автор РИД: Российская Федерация, от имени которой выступает Государственная корпорация по атомной энергии (Росатом)

Показаны записи 1-1 из 1.
29.04.2019
№219.017.40e6

Способ получения тетрафторида кремния

Изобретение может быть использовано в электронной промышленности при производстве солнечных батарей. Кремнефторид натрия предварительно сушат при температуре до 300°С и остаточном давлении до 2 мм рт.ст. На первой стадии терморазложения кремнефторид натрия нагревают до 620-650°С с постоянным...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002399583
Дата охранного документа: 20.09.2010
+ добавить свой РИД