Автор РИД: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный исследовательский университет" "МИЭТ" (МИЭТ)

Применение: микро- и наноэлектроника, где упорядоченные наноструктуры могут использоваться в качестве эмиссионных катодов, штампов наноимпринтлитографии, калибраторов атомных силовых микроскопов, катализаторов для выращивания углеродных наноструктур и т.д. Сущность изобретения: в способе...