Автор РИД: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет)

Изобретение относится к механическим передачам и может быть использовано в составе изделий электронного машиностроения, в других отраслях промышленности, использующих волновые передачи с малыми габаритно-массовыми характеристиками, плавной и бесшумной работой. Волновая зубчатая передача...

Изобретение относится к области создания приемников инфракрасного излучения. В приемнике биматериальная консоль формируется из пленок материалов с разными термическими коэффициентами расширения, поэтому при изменении температуры незакрепленная часть консоли смещается относительно подложки....

Изобретение относится к микроэлектронике, методам и технологическим приемам контроля и анализа структур интегральных схем, к процессам сухого плазменного травления. Сущность изобретения: слой TiN удаляется селективно к Al и SiO при реактивном ионном травлении его в плазме CF+O при соотношении...

Изобретение относится к области туннельной и атомно-силовой микроскопии, а точнее к устройствам, обеспечивающим градуировку сканирующих зондовых микроскопов (СЗМ) на нанометровом уровне. Изобретение представляет собой структуру, состоящую из основания и расположенных на нем нанотрубок с...

Изобретение относится к области измерения оптических характеристик рассеивающих, например биологических, сред. Фотометр состоит из источника оптического излучения, узкой трубки для размещения образца с осью, ориентированной вдоль исходного луча источника оптического излучения, и внутренней...