×

Автор РИД: Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный ордена Трудового Красного Знамени научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" (ФГУП ГНИИЭТЭОС)

Показаны записи 1-1 из 1.
20.03.2019
№219.016.e500

Способ выделения высокочистого трихлорсилана из реакционной смеси метилхлорсиланов

Изобретение относится к химической промышленности и может применяться в производстве полупроводникового кремния. Выделение трихлорсилана из реакционной смеси, полученной гидрохлорированием технического кремния, осуществляется ректификацией в двух колоннах с боковым отбором продукта. В первой...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002341457
Дата охранного документа: 20.12.2008
+ добавить свой РИД