Автор РИД: Общество с ограниченной ответственностью Научно-производственное предприятие "Техновак" (ООО НПП "Техновак")

Изобретение относится к технике формирования ионных пучков с широкой апертурой пучка ионов, а именно к источникам ионов на основе основного и вспомогательного разрядов. Широкоапертурный источник газовых ионов содержит средства для формирования основного объемного разряда, включающие полый катод...