Автор РИД: Акционерное общество открытого типа "НИИ молекулярной электроники и завод "МИКРОН"

Использование: микроэлектроника, технология изготовления интегральных схем на биполярных транзисторах, изготовленных с использованием методов самосовмещенной технологии. Сущность изобретения: в способе изготовления биполярного транзистора, включающем нанесение на подложку кремния первого слоя...