Автор РИД: Общество с ограниченной ответственностью "Альтернативные Энергетические Технологии" (ООО "АЭТ")

Использование: для создания емкостного датчика давления. Сущность изобретения заключается в том, что высокочастотный тонкопленочный емкостной датчик давления состоит из четырех диэлектрических пленок, на поверхности первой диэлектрической пленки сформирован основной экран, на верхней...