Автор РИД: Гуревич Владимир Герцевич

Изобретение относится к устройствам для дозирования микропотока газов. Сущность: диффузионный узел источников микропотока газов высокого давления выполнен в виде размещенного внутри газонепроницаемого корпуса (1) заглушенного капилляра (2), полость которого заполнена газопроницаемым...