Автор РИД: Павлов Владимир Борисович

Изобретение относится к плазменной технологии нанесения покрытий на металлические и диэлектрические подложки, а более конкретно к технологии плазменной полимеризации, и к процессам генерации плазмы. Способ плазменного осаждения полимерных покрытий включает помещение обрабатываемого образца в...