Автор РИД: ООО "Инновационные Вакуумные Решения"

Изобретение относится к cпособу управления скоростью распыления материала в геттерном насосе и устройству геттерного насоса. Предусмотрено автоматическое управление распылением геттерного материала в зависимости от текущего давления в камере: чем выше давление, тем меньше период следования...