×

Автор РИД: Федеральное государственное бюджетное учреждение науки ИНСТИТУТ РАДИОТЕХНИКИ И ЭЛЕКТРОНИКИ им. В.А. КОТЕЛЬНИКОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК

Показаны записи 1-1 из 1.
10.05.2018
№218.016.4f57

Способ изготовления матрицы многоострийного автоэмиссионного катода на монокристаллическом кремнии

Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано при изготовлении изделий светоиндикаторной техники и эмиссионной электроники на основе автоэлектронной эмиссии матрицы многоострийных эмиттеров на пластинах монокристаллического кремния. Изготовление матрицы...
Тип: Изобретение
Номер охранного документа: 0002652651
Дата охранного документа: 28.04.2018
+ добавить свой РИД