Автор РИД: Акционерное Общество "Производственное Объединение "Электрохимический завод" (АО "ПО ЭХЗ")

Изобретение относится к способу синтеза перфторированных алкоксидов лантаноидов, которые могут быть использованы в технологиях химического осаждения из газовой фазы при нанесении покрытий со специальными свойствами, при легировании полупроводников и синтезе сверхпроводниковых материалов, при...