Автор РИД: Клецков Е.Л.

Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий возбуждение дугового разряда между рабочими электродами в импульсном режиме с ионизацией продуктов распыления материала катода, фокусирование плазменного потока импульсным магнитным полем, возбуждаемым с задержкой во времени по отношению к моменту...

Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий ионную очистку, диффузионное насыщение подложки материалом катода и осаждение материала катода на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытия за счет снижения уровня остаточных напряжений и повышения адгезии переходного...