Автор РИД: Жоглик И.Н.

Способ нанесения защитных покрытий в вакууме на основе соединений титана, включающий ионно-плазменное распыление титана в реакционной среде при давлении в реакционной камере 5·10 - 10 Па и осаждение соединений титана на подложку, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за...

Способ получения покрытий в вакууме, включающий генерирование плазмы наносимого материала вакуумной дугой, фокусировку плазменного потока продольным аксиально-симметричным магнитным полем и конденсацию плазменного потока, отличающийся тем, что, с целью повышения качества покрытий за счет...

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее вакуумную камеру, в которой размещены электродуговой испаритель, подложкодержатель, держатель магнитов с профилированным немагнитным экраном, подключенным к источнику питания, отличающееся тем, что, с целью увеличения производительности и...