Автор РИД: Смирнов Г.А.

Способ нанесения покрытий в вакууме, включающий возбуждение дугового разряда в парах наносимого материала, приложение к подложке отрицательного потенциала и осаждение материала покрытия, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности, осаждение материала покрытия осуществляют до...