Автор РИД: Зачепило П.С.

Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее анод, расходуемый катод с рабочей поверхностью и центральным отверстием, обращенным к аноду, электромагнитную катушку, поджигающий электрод и подложкодержатель, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытий, подложкодержатель...