Автор РИД: Меркулов Валентин Григорьевич

Изобретение относится к точному машиностроению и приборостроению и может быть использовано в высокоточных приводах в оптических и лазерных приборах, а также в механизмах ультрапрецизионных перемещений и позиционирования (МУПП) в нанотехнологиях, например, для покадровых перемещений зондовых...