Автор РИД: Мухаммедзянов Тимур Равильевич

Изобретение относится к газоразрядным электронным приборам с ионным пучком и может использоваться при обработке материалов, в частности при ионной полировке оптических деталей до дифракционного качества поверхности. Ионный источник содержит магнитную систему под потенциалом катода с кольцевым...