Автор РИД: Храмов Валерий Юрьевич

Дифракционный способ измерения линейного размера объекта включает в себя получение дифракционной картины от объекта, её сканирование, преобразование распределения интенсивности в электрический сигнал. Поставленная задача решается на этапе выделения измерительной информации, за счет...