Автор РИД: Четвертухин Артем Вячеславович

Изобретение относится к области литографии и касается устройства для изготовления периодических микроструктур методом лазерной интерференционной литографии. Устройство включает в себя лазерный источник излучения, щелевую диафрагму, расширитель пучка и держатель образца с закрепленным на нем...

Группа изобретений относится к способам и устройствам для измерения и анализа концентраций газообразных и жидких сред. Сенсорный элемент для детектирования изменения состава исследуемой жидкой или газообразной среды представляет собой многослойный наноструктурированный материал с сенсорной...