Автор РИД: Сдобняков Виктор Владимирович

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени из сплава Гейслера CoFeSi. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера CoFeSi с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Порошковую смесь готовят из высокочистых порошков кобальта,...

Изобретение относится к изготовлению распыляемой композитной мишени, содержащей фазу сплава Гейслера CoFeSi, которая может быть использована при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешивание порошков компонентов сплава Гейслера CoFeSi, спекание-прессование полученной...