Автор РИД: Кудякова Валерия Сергеевна

Изобретение относится к составным частям устройств для получения полупроводниковых материалов, а именно дисперсного нитрида алюминия. Реакционная камера выполнена из жаропрочной стали, футерована нитридом алюминия, снабжена герметично соединенными с корпусом камеры средством для отвода газов и...

Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов для производства металлокерамики, керамики и композитов. Установка для получения дисперсного нитрида алюминия включает трёхсекционную реакционную камеру с цилиндрическим корпусом, выполненным из жаропрочного материала, внутренняя...