Автор РИД: Шутаев Вадим Аркадьевич

Изобретение относится к области микроэлектроники и может найти применение при формировании оксидных слоев в технологии МДП-приборов. Электролит для анодного окисления полупроводниковых соединений на основе AB включает ортофосфорную кислоту и глицерин. Дополнительно электролит содержит уксусную...