Автор РИД: МОРИНАГА, Хитоси (JP)

Изобретение относится к полирующим составам и может быть использовано при полировке подложек из твердых и хрупких материалов. Полирующий состав содержит, по меньшей мере, воду и диоксид кремния. Удельная площадь поверхности диоксида кремния составляет 30 м/г или более. Используют диоксид...