Автор РИД: Гужов Василий Юрьевич

Способ изготовления дифракционной решетки включает в себя вакуумное нанесение алюминиевого покрытия и формирование штрихов треугольного микропрофиля алмазным резцом делительной машины. Дополнительно дифракционную решетку помещают в вакуумную камеру для ионно-лучевого травления, при котором...

Изобретение относится к области технологии нанесения вакуумных покрытий на оптические детали. Способ диагностики присутствия паров масла в объеме вакуумной камеры перед нанесением вакуумного покрытия на оптические детали включает помещение перед загрузкой оптических деталей в вакуумную камеру...